一種傳送裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術公開了一種傳送裝置，屬于半導體加工技術領域。該傳送裝置包括轉動件和至少一組傳送輪，傳送輪安裝在轉動件上，每組傳送輪包括多個滾輪，每組傳送輪包括多個滾輪，每組傳送輪中的多個滾輪以轉動件的轉動軸線為中心圓周陣列分布，每組傳送輪中的多個滾輪的轉動軸線與轉動件的轉動軸線位于不同的平面，由于多個滾輪以轉動件的轉動軸線為中心線，圍繞轉動件呈圓周布置，因此在進行傳送時，多個滾輪繞轉動件的中心線公轉，可以將玻璃基板沿傳送線的方向傳送。由于滾輪的轉動軸線與轉動件的中心線位于不同的平面上，因此推動玻璃基板在垂直于傳送線方向上移動時，滾輪可以自轉，減小了滾輪與玻璃基板的摩擦力，降低玻璃基板破損的可能。

Conveying device

The invention discloses a transfer device, belonging to the field of semiconductor processing technology. The conveyor includes a rotating member and at least one group of transmission wheel, transmission wheel arranged on the rotating component, each transmission wheel includes a plurality of rollers, each transmission wheel includes a plurality of rollers, each of a plurality of rollers to rotate a transmission wheel in a rotation axis as the center of circle array distribution, the axis of rotation and the axis of rotation of the rotating parts located on a different plane of each group to send round a plurality of rollers, a plurality of rollers to rotate due to the axis of rotation to rotate around the center line, a circle layout, so in the transmission, a plurality of rollers rotate around the center line of the public, can be transmitted along the line direction of the glass substrate transfer. The axis of rotation wheel and the center line of the rotating parts on different planes, thus promoting the glass substrate in a direction perpendicular to the moving conveyor line, roller rotation, friction roller and glass substrate, glass substrate may reduce damage.

【技術實現(xiàn)步驟摘要】
一種傳送裝置
本專利技術涉及半導體加工
，特別涉及一種傳送裝置。
技術介紹
玻璃基板是一種表面極其平整的薄玻璃片，是平板顯示(FlatPaneldisplay,FPD)產業(yè)的關鍵基礎材料之一，通常作為載體，用于制造TFT(英文：ThinFilmTransistor，中文：薄膜晶體管)等。在生產過程中，玻璃基板通常都是放置在傳送線上，通過傳送線送往各個不同的設備進行加工。傳送玻璃基板的傳送線與通常的傳送帶不同，玻璃基板的傳送線包括在傳送方向上間隔平行排列的多根轉軸，在每根轉軸上間隔套裝有多個滾輪，在進行玻璃基板的傳送時，玻璃基板放置在多根轉軸的滾輪上，玻璃基板的板面與滾輪的邊緣接觸，通過驅動滾輪轉動，利用滾輪與玻璃基板之間的摩擦力將玻璃基板沿著傳送線進行傳送。在玻璃基板被送入設備之前，需要對玻璃基板進行對位，將玻璃基板擺正，例如在傳送長方形的玻璃基板時，通過對位使玻璃基板的長度方向與傳送方向平行，且調整玻璃基板在垂直于傳送方向上的位置，使玻璃基板對準設備的入口。玻璃基板的對位通常采用對位夾進行，對位夾成對設置在傳送線的兩側，對位夾可以沿平行于轉軸軸線的方向伸出，通過伸出對位夾推動玻璃基板，使玻璃基板在傳送線上垂直于傳送方向滑動，從而實現(xiàn)對玻璃基板的對位。但是在現(xiàn)有的傳送線中，由于對位夾推動玻璃基板側向滑動時，滾輪會對玻璃基板產生較大的摩擦力，因此對位夾需要產生較大的推力才能推動玻璃基板，而玻璃基板比較脆弱，在對位夾推動玻璃基板的過程中可能出現(xiàn)玻璃基板的破損，玻璃基板的破損不僅會造成大量玻璃基板的報廢，同時還可能需要停機進行碎片清理，降低了生產效率。專利
技術實現(xiàn)思路
為了解決對玻璃基板進行對位時，玻璃基板容易破損的問題，本專利技術實施例提供了一種傳送裝置。所述技術方案如下：本專利技術實施例提供了一種傳送裝置，所述傳送裝置包括至少一個轉動件和用于承載待傳送件的至少一組傳送輪，所述傳送輪安裝在所述轉動件上，所述轉動件用于帶動所述傳送輪轉動，每組所述傳送輪包括多個滾輪，每組所述傳送輪中的多個滾輪以所述轉動件的轉動軸線為中心圓周陣列分布，每組所述傳送輪中的多個滾輪均可轉動地安裝在所述轉動件上，且每組所述傳送輪中的多個滾輪的轉動軸線與所述轉動件的轉動軸線位于不同的平面。優(yōu)選地，每個所述滾輪的中心面和所述轉動件的轉動軸線位于同一平面，所述滾輪的中心面與所述滾輪的轉動軸線垂直且所述滾輪關于所述中心面對稱。進一步地，所述轉動件上設置有以所述轉動件的轉動軸線為中心徑向向外延伸的多根安裝桿，所述多根安裝桿位于同一平面，且所述多根安裝桿以所述轉動件的轉動軸線為中心等角度圓周陣列排布，任意兩根相鄰的安裝桿之間設有一個所述滾輪。優(yōu)選地，每個所述安裝桿的一端均與所述轉動件連接，每個所述安裝桿的另一端均設置有反向延伸的兩根支撐軸，所有的所述支撐軸均位于同一平面內，所述滾輪設置在相鄰兩根所述安裝桿之間的兩根所述支撐軸上。可選地，所述滾輪與對應的所述支撐軸通過軸承連接。優(yōu)選地，所述安裝桿與所述轉動件可拆卸連接。進一步地，所述轉動件為安裝軸套或轉軸。可選地，當所述轉動件為安裝軸套時，所述傳送裝置還包括至少一根驅動軸，每根所述驅動軸上均同軸套設有至少一個所述安裝軸套。可選地，當所述轉動件為轉軸時，所述轉軸上設置有多組所述滾輪，多組所述滾輪沿所述轉軸的長度方向間隔布置。可選地，所述滾輪呈紡錘型。本專利技術實施例提供的技術方案帶來的有益效果是：通過在轉動件上設置至少一組傳送輪，每組傳送輪包括多個滾輪，由于多個滾輪以轉動件的轉動軸線為中心線，圍繞轉動件呈圓周布置，因此在進行傳送時，玻璃基板可以支撐在滾輪上，多個滾輪繞轉動件的中心線公轉，可以將玻璃基板沿傳送線的方向傳送。由于滾輪的轉動軸線與轉動件的中心線位于不同的平面上，因此推動玻璃基板在垂直于傳送線方向上移動時，滾輪可以繞滾輪的轉動軸線自轉，從而可以使用更小的推力推動玻璃基板在傳送線上垂直于傳送方向滑動，減小了滾輪與玻璃基板之間的摩擦力，從而可以降低玻璃基板破損的可能。附圖說明為了更清楚地說明本專利技術實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本專利技術的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本專利技術實施例提供的一種傳送裝置的結構示意圖；圖2是本專利技術實施例提供的一種傳送裝置的正視圖；圖3是本專利技術實施例提供的一種安裝軸套的側視圖；圖4是本專利技術實施例提供的一種傳送裝置的分解示意圖；圖5是本專利技術實施例提供的一種滾輪的剖面圖；圖6是本專利技術實施例提供的一種轉動桿的布局示意圖；圖7是本專利技術實施例提供的一種安裝桿的局部結構示意圖；圖8是本專利技術實施例提供的另一種傳送裝置的結構示意圖；圖9是本專利技術實施例提供的另一種傳送裝置的結構示意圖；圖10是圖9的局部放大示意圖；圖11是本專利技術實施例提供的一種傳送裝置的投影示意圖；圖12是本專利技術實施例提供的一種傳送裝置的工作狀態(tài)示意圖。具體實施方式為使本專利技術的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖對本專利技術實施方式作進一步地詳細描述。圖1是本專利技術實施例提供的一種傳送裝置的結構示意圖，圖2是本專利技術實施例提供的一種傳送裝置的正視圖。結合圖1和圖2，該傳送裝置包括至少一個轉動件10和用于承載待傳送件的至少一組傳送輪，傳送輪安裝在轉動件上，轉動件10用于帶動傳送輪轉動，每組傳送輪包括多個滾輪20，每組傳送輪中的多個滾輪20以轉動件10的轉動軸線為中心圓周陣列分布，每組傳送輪中的多個滾輪20均可轉動地安裝在轉動件10上，且每組傳送輪中的多個滾輪20的轉動軸線(如圖2中的虛線)與轉動件10的轉動軸線位于不同的平面。其中，多個滾輪20圓周陣列分布指多個滾輪20圍繞中心呈圓周分布，并且，每個滾輪20的大小和形狀均相同，各個滾輪20的轉動軸線與轉動件10的轉動軸線之間的相對位置關系均相同，從而將任一滾輪20繞轉動件10的轉動軸線旋轉一定角度時，均能夠與另一滾輪20完全重合。本專利技術實施例通過在轉動件上設置至少一組傳送輪，每組傳送輪包括多個滾輪，由于多個滾輪以轉動件的轉動軸線為中心線，圍繞轉動件呈圓周布置，因此在進行傳送時，玻璃基板可以支撐在滾輪上，多個滾輪繞轉動件的中心線公轉，可以將待傳送件(如玻璃基板)沿傳送線的方向傳送。由于滾輪的轉動軸線與轉動件的中心線位于不同的平面上，因此推動玻璃基板在垂直于傳送線方向上移動時，滾輪可以繞滾輪的轉動軸線自轉，從而可以使用更小的推力推動玻璃基板在傳送線上垂直于傳送方向滑動，減小了滾輪與玻璃基板之間的摩擦力，從而可以降低玻璃基板破損的可能。需要說明的是，在圖1和圖2所示實施例中，轉動件10上設置有一組傳送輪，在其他實施例中，轉動件10上可以沿其軸線方向間隔設置多組傳送輪，例如，兩組、三組等。可選地，轉動件10可以為安裝軸套或轉軸。通過將轉動件10設置為安裝軸套，從而可以使安裝軸套和設置在安裝軸套上的滾輪20構成一個組件，方便將多個組件同軸設置以進行玻璃基板的傳送，在單個組件損壞時，可以對損壞的組件進行更換，維護方便。通過在轉軸上設置滾輪20，可以簡化傳送裝置的結構并減小其體積。在圖1和圖2所示的傳送裝置中，轉動件10為安裝軸套。如圖1或圖2所本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種傳送裝置，其特征在于，所述傳送裝置包括至少一個轉動件和用于承載待傳送件的至少一組傳送輪，所述傳送輪安裝在所述轉動件上，所述轉動件用于帶動所述傳送輪轉動，每組所述傳送輪包括多個滾輪，每組所述傳送輪中的多個滾輪以所述轉動件的轉動軸線為中心圓周陣列分布，每組所述傳送輪中的多個滾輪均可轉動地安裝在所述轉動件上，且每組所述傳送輪中的多個滾輪的轉動軸線與所述轉動件的轉動軸線位于不同的平面。

【技術特征摘要】
1.一種傳送裝置，其特征在于，所述傳送裝置包括至少一個轉動件和用于承載待傳送件的至少一組傳送輪，所述傳送輪安裝在所述轉動件上，所述轉動件用于帶動所述傳送輪轉動，每組所述傳送輪包括多個滾輪，每組所述傳送輪中的多個滾輪以所述轉動件的轉動軸線為中心圓周陣列分布，每組所述傳送輪中的多個滾輪均可轉動地安裝在所述轉動件上，且每組所述傳送輪中的多個滾輪的轉動軸線與所述轉動件的轉動軸線位于不同的平面。2.根據權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，每個所述滾輪的中心面和所述轉動件的轉動軸線位于同一平面，所述滾輪的中心面與所述滾輪的轉動軸線垂直且所述滾輪關于所述中心面對稱。3.根據權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述轉動件上設置有以所述轉動件的轉動軸線為中心徑向向外延伸的多根安裝桿，所述多根安裝桿位于同一平面，且所述多根安裝桿以所述轉動件的轉動軸線為中心等角度圓周陣列排布，任意兩根相鄰的安裝桿之間設有一個所述滾輪。4.根據權利要求3所述的傳...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：謝少華，黃二元，冷金輝，劉祖宏，訾玉寶，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，合肥京東方光電科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：北京,11