質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺制造技術

本發明專利技術質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺，質子透射顯微功能；質子掃描顯微功能；質子能譜分析功能；質子衍射譜功能；質子對原子核沖擊能譜分析功能：利用質子束對樣品原子核轟擊，使原子核發生穆斯堡爾譜線，測量穆斯堡爾譜線的波長，反射、透射質子的能量，分析原子核的成分、含量，同位素元素的成分、含量；質子定向與樣品分子結合可在樣品分子外延或分子內部添加氫原子：利用質子獲得一個電子轉變為氫原子，在樣品分子外延或分子內部添加氫原子，生成新的物質；質子束對樣品的微納加工功能：質子的質量大，質子束聚焦系統控制下利用質子束持續轟擊樣品，對樣品進行微納加工；質子束光刻功能。

Proton microscope, spectrometer, spectrometer, micro nano machining platform

The invention of proton microscopy, spectroscopy, EDS, micro nano processing platform, micro proton transmission function; proton scanning function; proton spectrum analysis; proton diffraction function; proton impact on nuclear energy spectrum analysis: the use of proton beam on the sample of nuclear bombardment, the atomic nucleus Mossbauer spectrum Mossbauer, spectral line measurement of wavelength, reflection and transmission of proton energy, chemical composition analysis, the content of nucleus, composition and content of isotopes; proton orientation and sample molecules with hydrogen atoms can be added inside the sample molecules or molecular epitaxy: using proton to obtain an electron into a hydrogen atom, adding hydrogen atoms in the interior the extension of sample molecules or molecules, formation of new substances; proton beam on the sample micro nano processing function: the mass of the proton, proton beam focusing control system The samples were bombarded with proton beams, and the micro - processing of the samples was performed.

【技術實現步驟摘要】
質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺一、
本專利技術涉及質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺，特別涉及帶等離子質子發生、電磁篩選的質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺。二、
技術介紹
現有光學顯微鏡，分辨率大約200nm；15KV加速電壓的電子掃描顯微鏡，分辨率10nm；300KV加速電壓帶球差校正的透射電子顯微鏡，分辨率0.074nm；由于相對論效應再增加加速電壓對透射電子顯微鏡分辨率增加有限；實際上由于其它因素的影響，分辨率更低。三、
技術實現思路
要解決的問題：用更低的加速電壓，更小的體積實現質子透射顯微功能；質子掃描顯微功能；質子能譜分析功能；質子衍射譜功能；質子對原子核沖擊能譜分析功能；質子定向與樣品分子結合可在樣品分子外延或分子內部添加氫原子；質子對樣品的微納加工功能；質子束光刻功能；實現多種功能集成于同一平臺。技術方案：關鍵詞：質子透射顯微功能；質子掃描顯微功能；質子能譜分析功能；質子衍射譜功能；質子對原子核沖擊穆斯堡爾譜線及原子核能譜分析功能；穆斯堡爾譜線；質子可控與樣品分子結合可在樣品分子外延或分子內部添加一個氫原子或多個氫原子；質子束對樣品的微納加工功能；質子束光刻功能。質子透射顯微功能；質子掃描顯微功能；質子能譜分析功能；質子衍射譜功能；質子對原子核沖擊穆斯堡爾譜線及原子核能譜分析功能；質子可控與樣品分子結合可在樣品分子外延或分子內部添加一個氫原子或多個氫原子；質子束對樣品的微納加工功能；質子束光刻功能。創新點：1)本平臺利用質子束完成的微納加工；納米、亞納米光刻；樣品定性、定量成分分析；同位素定性、定量分析；樣品微觀顯微分析；樣品可控添加氫原子進行樣品改造的完整系統。2)利用電子轟擊氫氣產生質子流，利用電場、磁場、電磁透鏡控制質子束；質子實物粒子的質量比電子大，同樣的運行速度下質子實物粒子的德意羅布波長更短，從而提高掃描質子顯微鏡、透射質子顯微鏡的分辨率，降低顯微鏡的加速電壓，降低成本，減小顯微鏡的體積、同時降低顯微鏡的運營費用；3)利用氫氣產生質子流，利用電場、磁場控制質子束；實現質子的加速，質子速度篩選；4)質子透射顯微功能：質子透過樣品利用電磁透鏡的放大作用，實現樣品透射顯微分析；5)質子掃描顯微功能：利用質子束掃描樣品表面實現質子掃描顯微圖像顯示；6)質子能譜分析功能：利用反射質子能譜分析，定量、定性對樣品的成分進行測量和分析，利用質子流于轟擊樣品上的電子實現樣品的成分分析；7)質子衍射譜功能：利用質子束透過樣品晶體，在顯示屏或CCD上顯示衍射圖樣，對晶體的結構進行分析；8)質子對原子核沖擊能譜分析功能：利用質子束對樣品原子核轟擊，使原子核發出穆斯堡爾譜線，測量穆斯堡爾譜線的波長，分析物質的成分與結構，分析同位素的定性、定量分析；反射、透射質子的能量，分析原子核的成分、含量，分析同位素元素的成分、含量；9)質子可控與樣品分子結合可在樣品分子外延或分子內部添加一個氫原子或多個氫原子：利用質子獲得一個電子轉變為氫原子，在樣品分子外延或分子內部添加氫原子，生成新的物質；生成新物質，同時對本完成加氫前后各種譜線的變化、顯微結構的變化，分析添加的氫原子對物質的影響；10)質子束對樣品的微納加工功能：質子的質量大，質子束在聚焦系統控制下，利用質子束持續轟擊樣品，對樣品進行微納加工；11)質子束光刻功能：現在集成電路的加工線寬越來越小，質子束實物粒子的波長短，可用于集成電路的光刻，實現納米級、亞納米級的集成電路的光刻加工；工作原理：根據德布羅意波粒二相性原理；當質子運行的速度，v＜＜C(光速)時，即相對論效應忽略不計時，對于一般顯微鏡質子、可不用考慮相對論效應；mv2/2＝eUλ＝h/p＝h/(m0v)(1)對于電子m電子＝9.1*10-31λ電子＝h/(2em電子U)1/2＝1.225/U1/2(nm)，U為加速電壓(2)對于質子m質子＝1.67×10-27λ質子＝h/(2em質子U)1/2＝0.0286/U1/2(nm)，U為加速電壓對于同樣的波長質子顯微鏡的加速電壓只需要電子顯微鏡1/43的加速電壓就可以達到同樣的效果；對于同樣的加速電壓，質子顯微鏡比電子顯微鏡的分辨率提高43倍；氫原子實即為質子，體積小，比氫原子的體積小得多，帶有電荷，便于電場、磁場對質子進行控制，如質子束的聚集、電磁透鏡對質子束的調制，實現對樣品進行放大。平臺包括：氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)、質子發生器(102)、質子束加速部件(103)、質子篩選部件(115)、聚焦掃描部件(104)、光闌(105)、二次背射探測器(106)、樣品桿(107)、電磁放大透鏡1(108)、電磁放大透鏡2(109)、球差校正部件(110)、成像板或CCD或能譜探測器(111)、質子回收部件(112)、圖像處理部件或計算機(113)、真空系統(114)；本優選實例僅畫了電磁放大透鏡1(108)、電磁放大透鏡2(109)兩級透鏡；對質子進行放大可以是只有一級放大透鏡，即只有電磁放大透鏡1(108)；也可以有二級放大、三級放大、四級、五級放大、…、多級放大透鏡構成；氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)提供氫氣；氫氣送給質子發生器(102)，質子發生器(102)將氫氣通過輝光放電的高速電子撞擊，形成質子；質子送到加速部件(103)對質子束進行加速；加速后的送給質子篩選部件(115)，質子篩選部件(115)通過電場、磁場篩選質子；加速、篩選后的質子流經過聚焦控制部件(104)，對質子流進行聚焦；加速、篩選、聚焦后的質子束通過光闌(105)；通過光闌(105)的質子束，透過樣片桿上的樣品；經過電磁放大透鏡(108)，將樣品形成一個放大的實像；電磁放大透鏡(108)的放大實像，經過電磁放大透鏡(109)再次放大，形成更大的實像；經過球差校正部件(110)，對圖像進行球差校正，形成更清晰的質子流圖像；質子流圖像在成像板或CCD或能譜探測器(111)成像；質子流圖像經過成像板轉換為可見光圖像，圖像成像板可采用無機晶體感應板，如，摻鈦的碘化鈉晶體感應板、摻鈦的碘化銫晶體感應板、摻銀的硫化鋅晶體感應板，氧化鎵鋇晶體感應板、鍺酸鉍晶體感應板、碘化銫晶體感應板、氟化鋇晶體感應板、摻鈰鋰玻璃晶體感應板；但不限于以上無機晶體感應板；有機晶體感應板：如，蒽晶體感應板、有機液體感應板、塑料感應板，但不限于以上有機晶體感應板；轉換為可見光圖像，由光學系統顯示，光學圖像經過CMOS圖像傳感器或CCD傳感器轉換為視頻流，圖像處理部件或計算機(113)供計算機存儲，顯示，數據處理；或質子流圖像直接在CCD上成像，將圖像視頻流送到圖像處理部件或計算機(113)供計算機進行存儲、顯示、數據處理；或質子流轟擊能譜探測器(111)，利用能譜探測器測試質子的能量；質子回收部件(112)將成像后的質子轉換為氫氣進行回收；真空系統(114)對質子顯微鏡內部抽真空，保證質子在運行過程中受到影響最小，保證質子圖像的清晰，同時減少氣體對平臺部件氧化；二次背射探測器(106)探測從樣品上反射過來的質子，從而構成質子掃描顯微鏡；或二次背射探測器(106)探測質子從樣品上撞擊出來電子的能量，用于過程質子掃描顯微鏡；或二次背射探測器(106)探測質子從樣品上撞擊出來電子的能量本文檔來自技高網...

【技術保護點】
質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺，其特征是：平臺包括：氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)、質子發生器(102)、質子束加速部件(103)、質子篩選部件(115)、聚焦掃描部件(104)、光闌(105)、二次背射探測器(106)、樣品桿(107)、電磁放大透鏡1(108)、電磁放大透鏡2(109)、球差校正部件(110)、成像板或CCD或能譜探測器(111)、質子回收部件(112)、圖像處理部件或計算機(113)、真空系統(114)；電磁放大透鏡1(108)、電磁放大透鏡2(109)兩級透鏡；對質子進行放大可以是只有一級放大透鏡，即只有電磁放大透鏡1(108)；也可以有二級放大、三級放大、四級、五級放大、…、多級放大透鏡構成；氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)提供氫氣；氫氣送給質子發生器(102)，質子發生器(102)將氫氣通過輝光放電的高速電子撞擊，形成質子；質子送到加速部件(103)對質子束進行加速；加速后的送給質子篩選部件(115)，質子篩選部件(115)通過電場、磁場篩選質子；加速、篩選后的質子流經過聚焦控制部件(104)，對質子流進行聚焦；加速、篩選、聚焦后的質子束通過光闌(105)；通過光闌(105)的質子束，透過樣片桿上的樣品；經過電磁放大透鏡(108)，將樣品形成一個放大的實像；電磁放大透鏡(108)的放大實像，經過電磁放大透鏡(109)再次放大，形成更大的實像；經過球差校正部件(110)，對圖像進行球差校正，形成更清晰的質子流圖像；質子流圖像在成像板或CCD或能譜探測器(111)成像；質子流圖像經過成像板轉換為可見光圖像，圖像成像板可采用無機晶體感應板，如，摻鈦的碘化鈉晶體感應板、摻鈦的碘化銫晶體感應板、摻銀的硫化鋅晶體感應板，氧化鎵鋇晶體感應板、鍺酸鉍晶體感應板、碘化銫晶體感應板、氟化鋇晶體感應板、摻鈰鋰玻璃晶體感應板；但不限于以上無機晶體感應板；有機晶體感應板：如，蒽晶體感應板、有機液體感應板、塑料感應板，但不限于以上有機晶體感應板；轉換為可見光圖像，由光學系統顯示，光學圖像經過CMOS圖像傳感器或CCD傳感器轉換為視頻流，圖像處理部件或計算機(113)供計算機存儲，顯示，數據處理；或質子流圖像直接在CCD上成像，將圖像視頻流送到圖像處理部件或計算機(113)供計算機進行存儲、顯示、數據處理；或質子流轟擊能譜探測器(111)，利用能譜探測器測試質子的能量；質子回收部件(112)將成像后的質子轉換為氫氣進行回收；真空系統(114)對質子顯微鏡內部抽真空，保證質子在運行過程中受到影響最小，保證質子圖像的清晰，同時減少氣體對平臺部件氧化；二次背射探測器(106)探測從樣品上反射過來的質子，從而構成質子掃描顯微鏡；或二次背射探測器(106)探測質子從樣品上撞擊出來電子的能量，用于過程質子掃描顯微鏡；或二次背射探測器(106)探測質子從樣品上撞擊出來電子的能量，用于對樣品物質的定量、定性分析；質子質量較大，利用質子束轟擊樣品，可將樣品刻蝕，將樣品按要求進行加工；質子束波長短，利用質子束刻蝕光刻膠，實現納米和亞納米的集成電路光刻；本平臺利用質子束完成的微納加工；納米、亞納米光刻；樣品定性、定量成分分析；同位素定性、定量分析；樣品微觀顯微分析；樣品可控添加氫原子進行樣品改造的完整系統；利用電子轟擊氫氣產生質子流，利用電場、磁場、電磁透鏡控制質子束；質子實物粒子的質量比電子大，同樣的運行速度下質子實物粒子的德意羅布波長更短，從而提高掃描質子顯微鏡、透射質子顯微鏡的分辨率，降低顯微鏡的加速電壓，降低成本，減小顯微鏡的體積、同時降低顯微鏡的運營費用；利用氫氣產生質子流，利用電場、磁場控制質子束；實現質子的加速，質子速度篩選；質子透射顯微功能：質子透過樣品利用電磁透鏡的放大作用，實現樣品透射顯微分析；質子掃描顯微功能：利用質子束掃描樣品表面實現質子掃描顯微圖像顯示；質子能譜分析功能：利用反射質子能譜分析，定量、定性對樣品的成分進行測量和分析，利用質子流于轟擊樣品上的電子實現樣品的成分分析；質子衍射譜功能：利用質子束透過樣品晶體，在顯示屏或CCD上顯示衍射圖樣，對晶體的結構進行分析；質子對原子核沖擊能譜分析功能：利用質子束對樣品原子核轟擊，使原子核發出穆斯堡爾譜線，測量穆斯堡爾譜線的波長，分析物質的成分與結構，分析同位素的定性、定量分析；反射、透射質子的能量，分析原子核的成分、含量，分析同位素元素的成分、含量；質子可控與樣品分子結合可在樣品分子外延或分子內部添加一個氫原子或多個氫原子：利用質子獲得一個電子轉變為氫原子，在樣品分子外延或分子內部添加氫原子，生成新的物質；生成新物質，同時對本完成加氫前后各種譜線的變化、顯微結構的變化，分析添加的氫原子對物質的影響；質子束對樣品的微納加工功能：質子的質量大，質子束在聚焦系統控制下，利...

【技術特征摘要】
1.質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺，其特征是：平臺包括：氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)、質子發生器(102)、質子束加速部件(103)、質子篩選部件(115)、聚焦掃描部件(104)、光闌(105)、二次背射探測器(106)、樣品桿(107)、電磁放大透鏡1(108)、電磁放大透鏡2(109)、球差校正部件(110)、成像板或CCD或能譜探測器(111)、質子回收部件(112)、圖像處理部件或計算機(113)、真空系統(114)；電磁放大透鏡1(108)、電磁放大透鏡2(109)兩級透鏡；對質子進行放大可以是只有一級放大透鏡，即只有電磁放大透鏡1(108)；也可以有二級放大、三級放大、四級、五級放大、…、多級放大透鏡構成；氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)提供氫氣；氫氣送給質子發生器(102)，質子發生器(102)將氫氣通過輝光放電的高速電子撞擊，形成質子；質子送到加速部件(103)對質子束進行加速；加速后的送給質子篩選部件(115)，質子篩選部件(115)通過電場、磁場篩選質子；加速、篩選后的質子流經過聚焦控制部件(104)，對質子流進行聚焦；加速、篩選、聚焦后的質子束通過光闌(105)；通過光闌(105)的質子束，透過樣片桿上的樣品；經過電磁放大透鏡(108)，將樣品形成一個放大的實像；電磁放大透鏡(108)的放大實像，經過電磁放大透鏡(109)再次放大，形成更大的實像；經過球差校正部件(110)，對圖像進行球差校正，形成更清晰的質子流圖像；質子流圖像在成像板或CCD或能譜探測器(111)成像；質子流圖像經過成像板轉換為可見光圖像，圖像成像板可采用無機晶體感應板，如，摻鈦的碘化鈉晶體感應板、摻鈦的碘化銫晶體感應板、摻銀的硫化鋅晶體感應板，氧化鎵鋇晶體感應板、鍺酸鉍晶體感應板、碘化銫晶體感應板、氟化鋇晶體感應板、摻鈰鋰玻璃晶體感應板；但不限于以上無機晶體感應板；有機晶體感應板：如，蒽晶體感應板、有機液體感應板、塑料感應板，但不限于以上有機晶體感應板；轉換為可見光圖像，由光學系統顯示，光學圖像經過CMOS圖像傳感器或CCD傳感器轉換為視頻流，圖像處理部件或計算機(113)供計算機存儲，顯示，數據處理；或質子流圖像直接在CCD上成像，將圖像視頻流送到圖像處理部件或計算機(113)供計算機進行存儲、顯示、數據處理；或質子流轟擊能譜探測器(111)，利用能譜探測器測試質子的能量；質子回收部件(112)將成像后的質子轉換為氫氣進行回收；真空系統(114)對質子顯微鏡內部抽真空，保證質子在運行過程中受到影響最小，保證質子圖像的清晰，同時減少氣體對平臺部件氧化；二次背射探測器(106)探測從樣品上反射過來的質子，從而構成質子掃描顯微鏡；或二次背射探測器(106)探測質子從樣品上撞擊出來電子的能量，用于過程質子掃描顯微鏡；或二次背射探測器(106)探測質子從樣品上撞擊出來電子的能量，用于對樣品物質的定量、定性分析；質子質量較大，利用質子束轟擊樣品，可將樣品刻蝕，將樣品按要求進行加工；質子束波長短，利用質子束刻蝕光刻膠，實現納米和亞納米的集成電路光刻；本平臺利用質子束完成的微納加工；納米、亞納米光刻；樣品定性、定量成分分析；同位素定性、定量分析；樣品微觀顯微分析；樣品可控添加氫原子進行樣品改造的完整系統；利用電子轟擊氫氣產生質子流，利用電場、磁場、電磁透鏡控制質子束；質子實物粒子的質量比電子大，同樣的運行速度下質子實物粒子的德意羅布波長更短，從而提高掃描質子顯微鏡、透射質子顯微鏡的分辨率，降低顯微鏡的加速電壓，降低成本，減小顯微鏡的體積、同時降低顯微鏡的運營費用；利用氫氣產生質子流，利用電場、磁場控制質子束；實現質子的加速，質子速度篩選；質子透射顯微功能：質子透過樣品利用電磁透鏡的放大作用，實現樣品透射顯微分析；質子掃描顯微功能：利用質子束掃描樣品表面實現質子掃描顯微圖像顯示；質子能譜分析功能：利用反射質子能譜分析，定量、定性對樣品的成分進行測量和分析，利用質子流于轟擊樣品上的電子實現樣品的成分分析；質子衍射譜功能：利用質子束透過樣品晶體，在顯示屏或CCD上顯示衍射圖樣，對晶體的結構進行分析；質子對原子核沖擊能譜分析功能：利用質子束對樣品原子核轟擊，使原子核發出穆斯堡爾譜線，測量穆斯堡爾譜線的波長，分析物質的成分與結構，分析同位素的定性、定量分析；反射、透射質子的能量，分析原子核的成分、含量，分析同位素元素的成分、含量；質子可控與樣品分子結合可在樣品分子外延或分子內部添加一個氫原子或多個氫原子：利用質子獲得一個電子轉變為氫原子，在樣品分子外延或分子內部添加氫原子，生成新的物質；生成新物質，同時對本完成加氫前后各種譜線的變化、顯微結構的變化，分析添加的氫原子對物質的影響；質子束對樣品的微納加工功能：質子的質量大，質子束在聚焦系統控制下，利用質子束持續轟擊樣品，對樣品進行微納加工；質子束光刻功能：現在集成電路的加工線寬越來越小，質子束實物粒子的波長短，可用于集成電路的光刻，實現納米級、亞納米級的集成電路的光刻加工；但本領域普通技術人員可以權利要求的范圍內作出各種變形或修改，也可以本設計中的一部分。2.根據權利要求1所述的質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺，其特征是：質子顯微鏡的放大、球差校正原理框圖；電磁放大透鏡1(201)、球差校正部件1(202)、電磁放大透鏡2(203)、球差校正部件2(204)、電磁放大透鏡n(205)、球差校正部件n(206)；電磁放大透鏡1(201)由球差校正部件1(202)校正，減少放大系統形成的球差失真；電磁放大透鏡2(203)由球差校正部件2(204)校正，減少放大系統形成的球差失真；電磁放大透鏡n(205)由球差校正部件n(206)校正，減少放大系統形成的球差失真；利用氫氣產生質子束，利用氫氣在電子流的轟擊下形成質子和電子，質子在電壓作用下加速，生成質子流；質子發生器(102)由310為質子發生器外殼；輝光電子產生極板1(305)、輝光電子產生極板2(307)；氫氣輸入口(306)；質子流輸出口(308)組成；氫氣輸入口(306)連接氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)；質子輸出口(308)連接質子加速部件(103)；氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)連接氫氣輸入口(306)，為質子發生器(310)提供氫氣；在輝光電子產生極板1(305)、輝光電子產生極板2(307)上加上高壓、在輝光電子產生極板1(305)與輝光電子產生極板2(307)產生輝光放電，輝光放電的電子與306口輸入的氫氣碰撞，將氫氣碰撞為質子和電子；質子在電場的作用下經過質子輸出口(308)輸出，進入質子加速部件(103)進行加速；或質子發生器(102)可使用放射源產生質子束；質子加速部件(103)由質子加速柵1(301)、質子加速柵2(302)、質子加速柵3(303)、質子加速柵n(304)組成；質子加速柵1(301)，質子加速柵2(302)，質子加速柵3(303)、質子加速柵n(304)；加速柵1(301)與加速柵2(302)之間有dV的電勢差(電壓)；加速柵2(302)與加速柵3(303)之間有dV的電勢差(電壓)；加速柵3(303)與加速柵n(304)之間有了(n-3)dV的電勢差(電壓)；將質子加速；質子發生器(310)與加速柵1(301)之間電壓為dV；加速柵之間的加速電壓均相同；或質子發生器外殼(310)與加速柵1(301)之間電壓、加速柵之間的電壓，也可完全不相同；或質子發生器外殼(310)與加速柵1(301)之間電壓、加速柵之間的電壓，也可部分相同，部分不同；加速后的質子流由質子輸出口(309)口射出；進入質子速度篩選，對質子進行篩選；質子速度篩選：質子篩選部件由質子流輸入接口(402)、外加磁場(401)、控制極板(404)、控制極板(405)、質子束輸出接口(403)組成；質子篩選部件(115)連接質子流輸入接口(402)；質子流輸入接口(402)連接質子加速部件(103)的質子輸出口(309)；輸入的質子流在外加磁場(401)作用下會向上運動；控制極板(404)上加正電壓、控制極板(405)上加負電壓，在電場的作用下，質子會向下運動；控制外加磁場(401)，控制極板(404)和控制極板(405)電場強度，一定速度的質子仍將直線運動，其它速度的質子不能穿過質子輸出接口(403)，將由質子和電子復合為氫氣由真空系統(114)抽走；從而將相同速度的質子從質子流中篩選出來；篩選的出來的質子通過質子輸出接口(403)送到聚焦掃描部件(104)；控制外加磁場(401)大小、控制控制極板(404)和控制極板(405)電場強度大小，控制篩選質子的速度；不能平行射出質子，吸收電子轉變為氫氣，由真空系統吸走；質子束匯聚：質子束1(501)、質子束2(502)、質子束n1(503)、聚焦掃描線圈(504)類似CRT的互相垂直的兩組電子偏轉掃描線圈、或加上電磁線圈組成的電磁透鏡、質子束4(505)、質子束5(506)、質子束n2(507)、匯聚點(508)；質子聚焦掃描線圈(504)由水平偏轉線圈，垂直偏轉線圈兩組線圈組成，類似CRT的電子偏轉掃描線圈；將平行的質子束匯聚于一點；且能控制質子束的掃描；通過改變水平線圈、垂直線圈中的電流大小及方向實現對電子束焦距的改變，即利用水平線圈、垂直線圈中的電流大小及方向調節質子焦距的長短；或通過改變水平線圈、垂直線圈中的電流大小及方向，可實現質子束的聚焦，可調節焦距的長短，并能實現質子束聚焦點在平面上任意掃描；實現利用質子束根據要求持續轟擊樣品，將樣品按照要求進行微加工，即實現質子束微加工功能；質子束1(501)經過聚焦掃描線圈(504)將發生偏轉，偏轉為質子束4(505)；質子束2(502)經過聚焦掃描線圈(504)將發生偏轉，偏轉為質子束5(506)；質子束n1(503)經過聚焦掃描線圈(504)將發生偏轉，偏轉為質子束n2(506)；質子束4(505)、質子束5(506)、質子束n2(507)匯聚于匯聚點(508)；通過改變水平線圈、垂直線圈中的電流大小及方向，可實現質子束的聚焦，可調節焦距的長短，并能實現質子束聚焦點在平面上任意掃描。3.根據權利要求1所述的質子顯微鏡、波譜儀、能譜儀、微納加工平臺，其特征是：質子透射顯微功能：質子透過樣品利用電磁透鏡的放大作用，實現樣品的透射顯微分析；利用氫氣存儲罐或氫氣發生器(101)的氫氣，氫氣輸送給質子發生器(102)，質子發生器(...

【專利技術屬性】
技術研發人員：顧士平，顧海濤，
申請(專利權)人：顧士平，
類型：發明
國別省市：江蘇,32