拋光頭制造技術

本發明專利技術提出一種拋光頭，該拋光頭包括基板、驅動件、上浮動件、下浮動件、傳動件，以及吸附件，其中，驅動件包括：第一連接端，和第一傳動端；上浮動件包括：第二連接端和上浮動端，第二連接端與第一連接端同軸心固定相連，上浮動端為凹球面或者凹圓錐面；下浮動件包括：下浮動端和第三連接端，下浮動端為凸球面；下浮動端的凸球面與上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且上浮動件與下浮動件之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面。通過本發明專利技術能夠減小接觸點變形，減少工件與拋光盤間的偏擺，彌補拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。

Polishing head

The invention relates to a polishing head and the polishing head includes a substrate, a driver, a floating, floating moving parts, transmission parts, and suction accessories, the driving part comprises a first connecting end, and the first driving end; floating device includes a second connecting end and floating end end connected with second the first connecting end is fixedly connected with the axis, floating end is a concave spherical or concave cone surface; downward moving parts include: downward moving end and the third connecting end, downward movable end is convex; convex spherical and floating downward the movable end of the movable end of the concave concave spherical or conical surface fitting, and detachably connected and, on a floating and moving parts between the center of rotation of the workpiece is not higher than the floating floating surface polishing. The invention can reduce the deformation of the contact point, reduce the deflection between the workpiece and the polishing disc, make up the parallelism error between the polishing head and the polishing disc, and make the workpiece fit on the surface of the polishing disc, and improve the polishing effect.

【技術實現步驟摘要】
拋光頭
本專利技術涉及一種拋光頭。
技術介紹
相關技術中，拋光頭設計有浮動結構，在常見的化學機械拋光機的拋光頭，其浮動結構的轉動中心高于工件的拋光表面。這種方式下，工件拋光表面與拋光盤之間的摩擦力，使得拋光頭向拋光盤轉動方向翹起，導致工件邊緣拋光速率快，工件表面平面度差，拋光效果不佳。
技術實現思路
本專利技術旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本專利技術的目的在于提出一種拋光頭，能夠減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，彌補拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。為達到上述目的，本專利技術實施例提出的拋光頭，包括：基板、驅動件、上浮動件、下浮動件、傳動件，以及吸附件，其中，所述驅動件包括：第一連接端，和第一傳動端；所述上浮動件包括：第二連接端和上浮動端，所述第二連接端與所述第一連接端同軸心固定相連，所述上浮動端為凹球面或者凹圓錐面；所述下浮動件包括：下浮動端和第三連接端，所述下浮動端為凸球面；所述下浮動端的凸球面與所述上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且所述上浮動件與所述下浮動件之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面。本專利技術實施例提出的拋光頭，通過拋光頭的下浮動端的凸球面與上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，彌補拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。本專利技術附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本專利技術的實踐了解到。附圖說明本專利技術上述的和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：圖1是根據本專利技術一個實施例的拋光頭的結構示意圖；圖2為本專利技術實施例中驅動件的結構示意圖；圖3為本專利技術實施例中上浮動件的結構示意圖；圖4為本專利技術實施例中下浮動件的結構示意圖；圖5為本專利技術實施例中基板的結構示意圖；圖6為本專利技術實施例中傳動件的結構示意圖。附圖標記：拋光頭100；基板101；驅動件102；上浮動件103；下浮動件104；傳動件105；吸附件106；第四連接端1011；加載端1012；第二傳動端1013；第一連接端1021；第一傳動端1022；驅動端1023；第二連接端1031；上浮動端1032；第一溝槽1033；下浮動端1041；第三連接端1042；第二溝槽1043；傳動側A1051；傳動側B1052。具體實施方式下面詳細描述本專利技術的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本專利技術，而不能理解為對本專利技術的限制。相反，本專利技術的實施例包括落入所附加權利要求書的精神和內涵范圍內的所有變化、修改和等同物。圖1是根據本專利技術一個實施例的拋光頭的結構示意圖。參見圖1，該拋光頭100包括：基板101、驅動件102、上浮動件103、下浮動件104、傳動件105，以及吸附件106，具體而言，驅動件102包括：第一連接端1021，和第一傳動端1022；上浮動件103包括：第二連接端1031和上浮動端1032，第二連接端1031與第一連接端1021同軸心固定相連，上浮動端1032為凹球面或者凹圓錐面；下浮動件104包括：下浮動端1041和第三連接端1042，下浮動端1041為凸球面；下浮動端1041的凸球面與上浮動端1032的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連。在本專利技術的一個實施例中，該拋光頭100包括：基板101、驅動件102、上浮動件103、下浮動件104、傳動件105，以及吸附件106。在本專利技術的一個實施例中，參見圖2，圖2為本專利技術實施例中驅動件的結構示意圖，驅動件102包括：第一連接端1021，和第一傳動端1022。在本專利技術的一個實施例中，參見圖2，驅動件102還包括：與設備驅動軸相連的驅動端1023。在本專利技術的一個實施例中，參見圖3，圖3為本專利技術實施例中上浮動件的結構示意圖，上浮動件103包括：第二連接端1031和上浮動端1032，第二連接端1031與第一連接端1021同軸心固定相連，上浮動端1032為凹球面或者凹圓錐面。通過第二連接端1031與第一連接端1021同軸心固定相連，提高了該拋光頭100的結構強度。其中，上浮動端1032為部分凹球面或者部分凹圓錐面。在本專利技術的一個實施例中，參見圖3，上浮動端1032表面設置有第一溝槽1033，第一溝槽1033用于存儲潤滑脂。本專利技術實施例中的拋光頭100，通過在上浮動端1032的部分凹球面或者部分凹圓錐面上設置環形的溝槽，該溝槽中可以用于存儲潤滑脂，降低了接觸面的磨損，提高了浮動靈活性。在本專利技術的一個實施例中，參見圖4，圖4為本專利技術實施例中下浮動件的結構示意圖，下浮動件104包括：下浮動端1041和第三連接端1042，下浮動端1041為凸球面。其中，下浮動端1041為部分凸球面。在本專利技術的一個實施例中，下浮動端1041的凸球面與上浮動端1032的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且上浮動件103與下浮動件104之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面。本專利技術實施例中的拋光頭100，通過下浮動端1041的凸球面與上浮動端1032的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，能夠減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，。通過上浮動件103與下浮動件104之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面，即，進行浮動的轉動中心或者處于工件拋光表面，或者低于工件拋光表面，浮動結構轉動中心略低于工件拋光表面，拋光頭100向拋光盤轉動方向的反方向翹起，利于拋光液進入拋光表面中心，加快工件中心的去除率，提高拋光表面的平坦度。在本專利技術的一個實施例中，參見圖4，下浮動件104的下浮動端1041表面設置有第二溝槽1043，第二溝槽1043用于存儲潤滑脂。本專利技術實施例中的拋光頭100，通過在下浮動端1041表面設置有環形的溝槽，該溝槽中可以用于存儲潤滑脂，進一步降低了接觸面的磨損，提高了浮動靈活性。在本專利技術的一個實施例中，參見圖5，圖5為本專利技術實施例中基板的結構示意圖，基板101包括：第四連接端1011、加載端1012，以及第二傳動端1013，其中，第四連接端1011與第三連接端1042固定相連，第二傳動端1013通過傳動件105與第一傳動端1022相連。在本專利技術的一個實施例中，加載端1012上設置有吸附件106，吸附件106用于對待拋光工件進行搬運和加載。在本專利技術的一個實施例中，參見圖6，圖6為本專利技術實施例中傳動件的結構示意圖，傳動件105為膜片結構，可發生彈性形變?？蛇x地，膜片結構可以包括傳動側A1051和傳動側B1052，一側與驅動件102相連，另一側與基板101相連，對此不作限制。本實施例中，通過拋光頭的下浮動端的凸球面與上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，能夠減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，彌補拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。需要說明的是，在本專利技術的描述中，術語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。此外，在本專利技術的描述中，除非另有說本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種拋光頭，其特征在于，包括：基板、驅動件、上浮動件、下浮動件、傳動件，以及吸附件，其中，所述驅動件包括：第一連接端，和第一傳動端；所述上浮動件包括：第二連接端和上浮動端，所述第二連接端與所述第一連接端同軸心固定相連，所述上浮動端為凹球面或者凹圓錐面；所述下浮動件包括：下浮動端和第三連接端，所述下浮動端為凸球面；所述下浮動端的凸球面與所述上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且所述上浮動件與所述下浮動件之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面。

【技術特征摘要】
1.一種拋光頭，其特征在于，包括：基板、驅動件、上浮動件、下浮動件、傳動件，以及吸附件，其中，所述驅動件包括：第一連接端，和第一傳動端；所述上浮動件包括：第二連接端和上浮動端，所述第二連接端與所述第一連接端同軸心固定相連，所述上浮動端為凹球面或者凹圓錐面；所述下浮動件包括：下浮動端和第三連接端，所述下浮動端為凸球面；所述下浮動端的凸球面與所述上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且所述上浮動件與所述下浮動件之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面。2.根據權利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述上浮動端表面設置有第一溝槽，所述第一溝槽用于存儲潤滑脂。3.根據...

【專利技術屬性】
技術研發人員：許振杰，鄭家旺，路新春，沈攀，
申請(專利權)人：天津華海清科機電科技有限公司，清華大學，
類型：發明
國別省市：天津,12