The utility model provides a novel silicon rod rod fixture includes a movable door frame fixed door frame, door frame and fixed connection, the arm assembly is connected with moving door frame, the lifting arm assembly comprises a lifting arm with beams and stringers, the crane beam is arranged below there are slide, also includes a bracket assembly, a bracket assembly includes a bracket, roller mounting plate, roller, supporting guide rail, the wheel mounting plate is fixedly connected to the bracket two relative frame, the roller is fixedly connected with the roller mounting plate, the roller and the crane beam below the slide is matched with the the support rail is also fixedly connected on the bracket two relative frame. Rolling bracket assembly for mobile bracket assembly on the slide rails in the slide arm through the roller, change the traditional bar tooling sliding friction to rolling friction, reduce friction resistance, easy to clamp the workpiece smoothly push and pull, so as to ensure the quality of silicon wafers.
【技術實現步驟摘要】
一種新型硅棒上下棒工裝
本技術屬于晶硅切片
,具體涉及一種新型硅棒上下棒工裝。
技術介紹
目前,切片機在切割硅片時,需要將硅棒放入切片機里面,切割完成后將硅片取下進入下道工序。硅棒上下切片機需要使用硅棒上下棒工裝,本專利申請針對現有硅棒上下棒工裝存在的各種問題進行創新性改進。傳統切片機存在如下問題:比如專利文獻(CN205043987U)公開了一種硅棒上下棒裝置,其包括固定架,移動支架,移動支架可滑動地連接與所述固定架上。從說明書附圖中不難看出移動支架的滑臺其一滑動面與夾板為面接觸,滑動摩擦很大,會導致夾持硅棒推拉困難。再比如專利文獻(CN204844535U)公開了一種切片機自動上下硅棒的智能運輸裝置,其夾持硅棒的工裝與懸臂梁之間使用萬向聯軸器連接,雖然使用萬向聯軸器在一定范圍內能使工裝活動,但不能依靠工裝夾持著硅棒將硅棒送入切割位置,這樣的上下棒工裝在上下棒時還需支撐柱輔助,導致上下棒操作困難。除所述萬向聯軸器的連接方式,市面上還有一些工裝和懸臂梁之間是滑動摩擦的,使用時,因滑動阻力大,夾持工件推拉困難,切割好的硅片會因為突然的加減速產生晃動,造成硅片崩邊、亮邊等,影響硅片質量。該專利文獻雖然也公開了廢料槽,用于盛接切削液,但該廢料槽安裝位置固定,如果離工裝太近會影響硅棒上下棒操作,安裝位置太遠,切削液落入廢料槽也會存在往外飛濺的可能,操作使用不方便。
技術實現思路
本技術提供了一種新型硅棒上下棒工裝,克服現有技術的上下棒工裝存在的粘貼硅棒的夾持工件與工裝之間存在較大的滑動摩擦阻力,硅片下片時易因工裝突然的加減速造成崩邊、亮邊的問題,以及現有工裝沒有設計 ...
【技術保護點】
一種新型硅棒上下棒工裝,包括固定門架、與固定門架活動連接的活動門架,與活動門架活動連接的吊臂組件,所述吊臂組件包括具有橫梁和縱梁的吊臂,所述吊臂橫梁下面設有滑軌,其特征在于:還包括托架組件,所述托架組件包括托架、滾輪安裝板、滾輪、支撐導軌,所述滾輪安裝板固定連接在托架兩相對邊框上,所述滾輪固定連接在滾輪安裝板上,所述滾輪與吊臂橫梁下面的滑軌相適配,所述支撐導軌也固定連接在托架兩相對邊框上。
【技術特征摘要】
1.一種新型硅棒上下棒工裝,包括固定門架、與固定門架活動連接的活動門架,與活動門架活動連接的吊臂組件,所述吊臂組件包括具有橫梁和縱梁的吊臂,所述吊臂橫梁下面設有滑軌,其特征在于:還包括托架組件,所述托架組件包括托架、滾輪安裝板、滾輪、支撐導軌,所述滾輪安裝板固定連接在托架兩相對邊框上,所述滾輪固定連接在滾輪安裝板上,所述滾輪與吊臂橫梁下面的滑軌相適配,所述支撐導軌也固定連接在托架兩相對邊框上。2.根據權利要求1所述的新型硅棒上下棒工裝,其特征在于:所述固定門架和活動門架上分別固定連接有安裝座,一絲杠通過所述固定門架和活動門架上的安裝座將活動門架與固定門架連接起來。3.根據權利要求1所述的新型硅棒上下棒工裝,其特征在于:還包括接水盤組件,所述接水盤組件位于托架組件的下方,具有可抽拉嵌套式接水盤,所述接水盤組件還具有安裝座,所述接水盤與安裝座可拆卸式連接,所述安裝座與所述吊臂縱梁活動連接。4.根據權利要求1所述的新型硅棒上下棒工裝,其特征在于:所述吊臂縱梁通過吊臂支...
【專利技術屬性】
技術研發人員:張璐,張秀濤,宮云慶,
申請(專利權)人:青島高測科技股份有限公司,
類型:新型
國別省市:山東,37
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