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    一種切割硅的裝置制造方法及圖紙

    技術編號:15775747 閱讀:83 留言:0更新日期:2017-07-08 09:23
    本實用新型專利技術提供了一種切割硅的裝置,其特征在于,它包括下工裝,下工裝上表面上設有上工裝,下工裝上設有定位銷,上工裝的中部設有防松動螺絲孔,防松動螺絲孔的四周設有加緊螺絲孔,上工裝通過防松動螺絲孔和加緊螺絲孔?與下工裝相連接,上工裝的側面設有擋塊,擋塊位于兩個定位銷間,上工裝的上表面上設有緩沖隔板,緩沖隔板上設有載物板,載物板上設有頂蓋板;本實用新型專利技術的優點在于,實用性強,分割精度高,不但大幅度節約了硅料,而且成品率非常的高,因此極大的提高了工作效率,促進了企業的發展;在螺絲孔內壁設計圓柱形凸臺,配合螺絲使用,提高可靠性,凸臺上端位置低于螺絲孔口,螺絲易放入,操作人性化。

    Device for cutting silicon

    The utility model provides a device for cutting silicon, which is characterized in that it includes tooling, under the tooling is arranged on the surface of tooling, lower tooling is provided with a locating pin, central tooling with anti loose screw holes around the anti loosening screw hole is arranged on the screw hole on tooling through the anti loosening screw holes and screw holes to connected with work on tooling packing, the side is provided with a stop block, the block is located in the two positioning pins, tooling is arranged on the upper surface of baffle, baffle is arranged on the loading plate, the top plate is provided with a carrier plate; the the utility model has the advantages of strong practicability, high segmentation accuracy, not only greatly saves the silicon material, and the finished product rate is very high, thus greatly improves the work efficiency, promote the development of enterprises; in the screw hole wall design with cylindrical convex sets The screw is used to improve the reliability, the upper end of the lug boss is lower than the screw orifice, the screw is easy to be put in, and the operation is humanized.

    【技術實現步驟摘要】
    一種切割硅的裝置
    本技術涉及切割設備
    ,尤其涉及一種切割大量高壓硅的裝置。
    技術介紹
    現有的硅堆分割有以下幾種方法:第一、機械劃片分割,這是比較原始的硅片分割方法,最大分割厚度1.2mm,在分割單片硅片時效果還行,但是成品率在85%左右,對于較厚的高壓硅堆圓片來說就不太容易分割,就是分割好的硅堆,邊緣非常不規則,容易磕碰出崩邊,且影響后續的封裝,成品率也只有65-70%;第二、外圓刀片切割,雖然切割的厚度可以達到2cm,但是效率比較低,而且刀縫損失(2-3mm)比較大,每片圓形高壓硅堆有效利用面積減少了約30%,成品率比劃片機略高可達到85%左右;第三、激光切割,效率有所提高,但是切割過程中激光的高溫對高壓硅堆邊緣的兩端的P或N面容易造成燒結坑,而且對硅堆燒結過程中的金屬層造成熔化并在硅堆邊緣形成短路,使硅堆耐壓不夠或被漏電擊穿,因此極大的影響了企業的生產。
    技術實現思路
    為了克服
    技術介紹
    中的不足,解決切割邊緣不規則,容易磕碰出崩邊,燒結過程中易在硅堆邊緣形成短路等問題,本技術公開了一種切割硅的裝置,通過在工裝上設置定位銷、擋塊以及多塊板,再通過將硅堆圓片固定于兩塊板之間,以此來達到高效切割的目的。本技術提供了一種切割硅的裝置,其特征在于,它包括下工裝2,所述下工裝2上表面上設有上工裝1,所述下工裝2上還設有兩個定位銷6,所述上工裝1的中部設有防松動螺絲孔3,所述防松動螺絲孔3的四周設有加緊螺絲孔4,所述上工裝1通過防松動螺絲孔3和加緊螺絲孔4與下工裝2相連接,所述上工裝1的側面設有擋塊5,所述擋塊5位于兩個定位銷6間,所述上工裝1的上表面上設有緩沖隔板7,所述緩沖隔板7上設有載物板8,所述載物板8上設有頂蓋板9。進一步地,所述上工裝1為圓柱型結構,所述防松動螺絲孔3設置在圓柱的中心部,沿所述防松動螺絲孔3四周等間距設有不少于四個加緊螺絲孔4。進一步地,所述防松動螺絲孔3包括螺絲孔口301和螺絲孔內壁302,所述螺絲孔內壁302設有若干凸臺303。進一步地,所述凸臺303呈圓柱形,所述凸臺303與螺絲孔內壁302是一次性成型的連接體。進一步地,所述凸臺303的上端位置低于螺絲孔口301。進一步地,所述緩沖隔板7為樹脂材料制作而成。進一步地,所述定位銷6為圓柱型結構,所述定位銷6設置在上工裝1的外側面上,所述定位銷6與下工裝2固定連接。本技術的優點在于,實用性強,分割精度高,不但大幅度節約了硅料,而且成品率非常的高,因此極大的提高了工作效率,促進了企業的發展;在螺絲孔內壁設計圓柱形凸臺,配合螺絲使用,提高可靠性,柱形凸臺的上端位置低于螺絲孔口,螺絲更易放入,操作更人性化。附圖說明圖1為本技術的整體結構示意圖;圖2為本技術中防松動螺絲孔的結構示意圖。各附圖中的標號表示如下:1.上工裝;2.下工裝;3.防松動螺絲孔;301.螺絲孔口;302螺絲孔內壁;303.凸臺;4.加緊螺絲孔;5.擋塊;6.定位銷;7.緩沖隔板;8.載物板;9.頂蓋板。具體實施方式下面結合附圖和實施例對本技術作進一步的描述。本技術提供了一種切割硅的裝置,其特征在于,它包括下工裝2,所述下工裝2上表面上設有上工裝1,所述下工裝2上還設有兩個定位銷6,所述上工裝1的中部設有防松動螺絲孔3,所述防松動螺絲孔3的四周設有加緊螺絲孔4,所述上工裝1通過防松動螺絲孔3和加緊螺絲孔4與下工裝2相連接,所述上工裝1的側面設有擋塊5,所述擋塊5位于兩個定位銷6間,所述上工裝1的上表面上設有緩沖隔板7,所述緩沖隔板7上設有載物板8,所述載物板8上設有頂蓋板9。進一步地,所述上工裝1為圓柱型結構,所述防松動螺絲孔3設置在圓柱的中心部,沿所述防松動螺絲孔3四周等間距設有不少于四個加緊螺絲孔4。進一步地,所述防松動螺絲孔3包括螺絲孔口301和螺絲孔內壁302,所述螺絲孔內壁302設有若干凸臺303。進一步地,所述凸臺303呈圓柱形,所述凸臺303與螺絲孔內壁302是一次性成型的連接體,一體成型適用于大規模生產,提高生產效率,降低成本;連接體的形狀為菊花型結構,固定作用更好,并且當螺絲稍小時,由于圓柱形凸臺的作用,也不影響固定作用。進一步地,所述凸臺303的上端位置低于螺絲孔口301,便于放入螺絲,安裝操作方便,提高工作效率。進一步地,所述緩沖隔板7為樹脂材料制作而成,具有棱角清、不易磨損、不易刮傷、顏色豐富、效果多樣、環保自然等優點。進一步地,所述定位銷6為圓柱型結構,所述定位銷6設置在上工裝1的外側面上,所述定位銷6與下工裝2固定連接。在使用時,先在頂蓋板9和載物板8直接放上硅圓片,然后通過膠將頂蓋板9、硅圓片、載物板8、緩沖隔板7和上工裝1粘合在一起組成加工件,然后再將加工件放在下工裝2上,并通過螺絲將加工件固定在下工裝2上,然后就可以把下工裝2與多線切割機的燕尾托固定在一起并安裝到多線切割機上了,按照高壓硅堆的尺寸要求,安裝好多線切割機的主輥及合適尺寸的樹脂金剛線就可以對高壓硅堆進行切割了,切割完之后拆下加工件,然后使加工件旋轉90°再用螺絲固定在下工裝2上再進行一次切割就可以了,最后取下工裝2,將下工裝2放入超聲波中清洗15到40分鐘,再放到脫膠液中進行脫膠,脫膠后進行脫膠清洗就可以轉入下一道工序。以上內容是結合具體的優選實施方式對本技術所作的進一步詳細說明,不能認定本技術具體實施只局限于上述這些說明。對于本技術所屬
    的普通技術人員來說,在不脫離本技術構思的前提下,還可以做出若干簡單推演或替換,都應當視為屬于本技術的保護范圍。本文檔來自技高網
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    一種切割硅的裝置

    【技術保護點】
    一種切割硅的裝置,其特征在于,它包括下工裝(2),所述下工裝(2)上表面上設有上工裝(1),所述下工裝(2)上還設有兩個定位銷(6),所述上工裝(1)的中部設有防松動螺絲孔(3),所述防松動螺絲孔(3)的四周設有加緊螺絲孔(4),所述上工裝(1)通過防松動螺絲孔(3)和加緊螺絲孔(4)與下工裝(2)相連接,所述上工裝(1)的側面設有擋塊(5),所述擋塊(5)位于兩個定位銷(6)間,所述上工裝(1)的上表面上設有緩沖隔板(7),所述緩沖隔板(7)上設有載物板(8),所述載物板(8)上設有頂蓋板(9)。

    【技術特征摘要】
    1.一種切割硅的裝置,其特征在于,它包括下工裝(2),所述下工裝(2)上表面上設有上工裝(1),所述下工裝(2)上還設有兩個定位銷(6),所述上工裝(1)的中部設有防松動螺絲孔(3),所述防松動螺絲孔(3)的四周設有加緊螺絲孔(4),所述上工裝(1)通過防松動螺絲孔(3)和加緊螺絲孔(4)與下工裝(2)相連接,所述上工裝(1)的側面設有擋塊(5),所述擋塊(5)位于兩個定位銷(6)間,所述上工裝(1)的上表面上設有緩沖隔板(7),所述緩沖隔板(7)上設有載物板(8),所述載物板(8)上設有頂蓋板(9)。2.根據權利要求1所述的一種切割硅的裝置,其特征在于,所述上工裝(1)為圓柱型結構,所述防松動螺絲孔(3)設置在圓柱的中心部,沿所述防松動螺絲孔(3)四周等間距設有不少于四個加緊螺絲...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:張文凱
    申請(專利權)人:上海麥浦新材料科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:上海,31

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