CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽制造技術

本實用新型專利技術公開了一種CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽，所述隔離槽包括不平行于聲表面波濾波器芯片邊緣的第一類傾斜線條和第二類傾斜線條；所述第一類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成鈍角；所述第二類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成銳角；所述第一類傾斜線條與所述第二類傾斜線條位置交錯且不重疊的排布；在靠近聲表面波濾波器芯片的一側，所述第一類傾斜線條和所述第二類傾斜線條相連接。高溫的條件下，大部分原本有可能流動進入芯片的環氧樹脂材料會進入隔離槽，由于毛細效應，環氧樹脂材料絕大多數都會留在隔離槽內而不會溢出到芯片表面，從而使得聲表面波可以在芯片表面無障礙傳輸，而不會有濾波器性能異常的現象。

【技術實現步驟摘要】
CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽
本技術涉及CSP封裝的聲表面波濾波器，具體涉及一種CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽。
技術介紹
聲表面波濾波器的基本結構是在具有壓電特性的基片材料上通過半導體工藝形成交叉成對的梳狀金屬結構，稱之為叉指換能器，在叉指換能器上施加電信號，壓電材料表面產生機械振動的同時產生聲表面波，這種聲表面波在壓電材料表面傳播。CSP(ChipScalePackage)封裝，是芯片級封裝的意思，此種形式的封裝，具有體積小、性能好、重量輕等優點。圖1是CSP封裝的聲表面波濾波器芯片的示意圖。，CSP模塑包封的環氧樹脂材料具有吸聲效果，但是如圖1所示，這種材料高溫下有一定概率會沿著圖1中的箭頭方向流到芯片表面，將會嚴重影響聲表面波在芯片表面上的傳輸。
技術實現思路
針對現有技術的不足，本技術公開了一種CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽。本技術的技術方案如下：一種CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽，所述隔離槽設置于所述聲表面波濾波器芯片的四周；所述隔離槽包括不平行于聲表面波濾波器芯片邊緣的第一類傾斜線條和第二類傾斜線條；所述第一類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成鈍角；所述第二類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成銳角；所述第一類傾斜線條與所述第二類傾斜線條位置交錯且不重疊的排布；在靠近聲表面波濾波器芯片的一側，所述第一類傾斜線條和所述第二類傾斜線條相連接。其進一步的技術方案為：所述第一類傾斜線條和所述第二類傾斜線條的高度為1.5～3.5μm。其進一步的技術方案為：所述第一類傾斜線條和所述第二類傾斜線條的寬度為1～3μm。本技術的有益技術效果是：加上本技術所述的隔離槽結構后，在高溫的條件下，大部分原本有可能流動進入芯片的環氧樹脂材料會進入隔離槽，而且由于毛細效應，環氧樹脂材料的絕大多數都會留在隔離槽內而不會溢出到芯片表面，從而使得聲表面波可以在芯片表面無障礙傳輸，而不會有濾波器性能異常的現象。附圖說明圖1是CSP封裝的聲表面波濾波器芯片的示意圖。圖2是CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽的示意圖。圖3是圖2的局部放大圖。具體實施方式圖2是CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽的示意圖。圖3是圖2的局部放大圖。如圖2、圖3所示，隔離槽設置于聲表面波濾波器芯片的四周。隔離槽包括不平行于聲表面波濾波器芯片邊緣的第一類傾斜線條1和第二類傾斜線條2。第一類傾斜線條1和第二類傾斜線條2聲表面波濾波器芯片邊緣所成的夾角類型相反。在如圖3所示的角度方向中，第一類傾斜線條1與聲表面波濾波器芯片邊緣成鈍角，第二類傾斜線條2與聲表面波濾波器芯片邊緣成銳角。第一類傾斜線條1和第二類傾斜線條2的方向也可互換。第一類傾斜線條1與第二類傾斜線條2位置交錯且互相不重疊的排布。在靠近聲表面波濾波器芯片的一側，也就是隔離槽的內側，第一類傾斜線條1和第二類傾斜線條2相連接，在遠離聲表面波濾波器芯片的一側，也就是隔離槽的內外側，第一類傾斜線條1與第二類傾斜線條2相分離，并不連接。經多次試驗可知，第一類傾斜線條和第二類傾斜線條的高度在1.5～3.5μm，其中2.5μm為最佳高度。第一類傾斜線條和第二類傾斜線條的寬度為1～3μm，其中2μm為最佳寬度。以上所述的僅是本技術的優選實施方式，本技術不限于以上實施例。可以理解，本領域技術人員在不脫離本技術的精神和構思的前提下直接導出或聯想到的其他改進和變化，均應認為包含在本技術的保護范圍之內。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽，其特征在于：所述隔離槽設置于所述聲表面波濾波器芯片的四周；所述隔離槽包括不平行于聲表面波濾波器芯片邊緣的第一類傾斜線條和第二類傾斜線條；所述第一類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成鈍角；所述第二類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成銳角；所述第一類傾斜線條與所述第二類傾斜線條位置交錯且不重疊的排布；在靠近聲表面波濾波器芯片的一側，所述第一類傾斜線條和所述第二類傾斜線條相連接。

【技術特征摘要】
1.一種CSP封裝的聲表面波濾波器芯片隔離槽，其特征在于：所述隔離槽設置于所述聲表面波濾波器芯片的四周；所述隔離槽包括不平行于聲表面波濾波器芯片邊緣的第一類傾斜線條和第二類傾斜線條；所述第一類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成鈍角；所述第二類傾斜線條與聲表面波濾波器芯片邊緣成銳角；所述第一類傾斜線條與所述第二類傾斜線條位置交錯且不重疊的排布；...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王紹安，陸增天，李壯，孫昭蘇，徐彬，
申請(專利權)人：無錫市好達電子有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇,32