掩膜版及其組件、曝光機和檢測測試窗口遮擋效果的方法技術

本發明專利技術公開了一種掩膜版，包括對位標記測試窗口和間距測量測試窗口，所述掩膜版上還設置有第一檢測標記和/或第二檢測標記；所述第一檢測標記，與所述對位標記測試窗口和/或間距測量測試窗口的靠近掩膜版內部的邊框齊平；所述第二檢測標記，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓與所述對位標記測試窗口之間，和/或，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓間距測量測試窗口之間。本發明專利技術還公開了一種掩膜版組件、曝光機和采用所述掩膜版檢測測試窗口遮擋效果的方法。本發明專利技術提出的掩膜版及其組件、曝光機和檢測測試窗口遮擋效果的方法，能夠用于監控測試窗口的遮擋不良問題。

【技術實現步驟摘要】
掩膜版及其組件、曝光機和檢測測試窗口遮擋效果的方法
本專利技術涉及測試
，特別是指一種掩膜版及其組件、曝光機和檢測測試窗口遮擋效果的方法。
技術介紹
彩色濾光片(ColorFilter，CF)作為LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶顯示器)實現彩色顯示的關鍵零部件，其性能(主要為開口率、色純度、色差)直接影響到液晶面板的色彩還原性、亮度、對比度。目前，彩色濾光片一般的層次結構基本為玻璃基板、BM(黑矩陣，BlackMatrix)、彩色光阻(RGB)、保護層(OC，OverCoat)、ITO(IndiumTinOxides，銦錫氧化物)透明導電膜等。現有技術中，曝光機在進行制作彩色光阻層的過程中的曝光工序時，需要采用遮板(Shade)對掩膜版上面用于間距控制的間距測量窗口(GapWindow)和用于對位的對位標記測試窗口(AlignmentMarkWindow)進行遮擋，避免其在多個工序中連續被曝光。但是，在實現本專利技術的過程中，專利技術人發現，目前在ColorFilter工藝制作上存在以下問題：1、在R/G/B/PS工藝中由于曝光機設備的遮板存在一定的不穩定性，經常性發生對位標記測試窗口和/或間距測量窗口的遮擋不嚴(即窗口沒有完全被遮板所遮蓋)，造成對位標記測試窗口和/或間距測量窗口對應于基板上的位置存在PR膠殘留，由于殘留PR膠具有一定高度，疊加后會造成顯示面板在對盒后出現液晶外漏的不良情況。2、在R/G/B/PS工藝中由于曝光機設備的遮板存在一定的不穩定性，經常性發生對位標記測試窗口和/或間距測量窗口遮擋過大(即遮板過于靠近可視區)，造成可視區范圍內出現CD(圖形尺寸)變小的情況，造成一定程度上的RGBCD和PSCD過小問題。
技術實現思路
有鑒于此，本專利技術的目的在于提出一種掩膜版及其組件、曝光機和檢測測試窗口遮擋效果的方法，能夠實現監控不良發生的作用。基于上述目的本專利技術提供的掩膜版，包括對位標記測試窗口和間距測量測試窗口，所述掩膜版上還設置有第一檢測標記和/或第二檢測標記；所述第一檢測標記，與所述對位標記測試窗口和/或間距測量測試窗口的靠近掩膜版內部的邊框齊平；所述第二檢測標記，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓與所述對位標記測試窗口之間，和/或，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓與所述間距測量測試窗口之間。可選的，所述第一檢測標記設置在所述對位標記測試窗口和/或間距測量測試窗口的一側。可選的，所述第一檢測標記包括第一子標記和第二子標記；所述第一子標記設置在所述對位標記測試窗口的一側；所述第二子標記設置在所述間距測量測試窗口的一側。可選的，所述第二檢測標記的整體呈條狀且長度大于所述對位標記測試窗口與間距測量測試窗口的相互遠離的兩個側邊之間的距離。可選的，所述第二檢測標記的整體呈條狀且長度大于所述掩膜版的透光區整體輪廓的長度。可選的，所述第二檢測標記的寬度小于所述掩膜版的透光區整體輪廓朝向所述對位標記測試窗口的邊緣與所述對位標記測試窗口朝向所述掩膜版的透光區整體輪廓的邊緣之間的距離，和/或，所述第二檢測標記的寬度小于所述掩膜版的透光區整體輪廓的朝向所述間距測量測試窗口的邊緣與所述間距測量測試窗口朝向所述掩膜版的透光區整體輪廓的邊緣之間的距離。本專利技術實施例的第二個方面，提供了一種掩膜版組件，包括多個如上任一項所述的掩膜版；所述第一檢測標記包括第一紅色檢測標記、第一綠色檢測標記、第一藍色檢測標記和第一隔墊物檢測標記；所述第一紅色檢測標記、第一綠色檢測標記、第一藍色檢測標記和第一隔墊物檢測標記分別設置在所述掩膜版組件的不同的掩膜版上；且所述第一紅色檢測標記、第一綠色檢測標記、第一藍色檢測標記和第一隔墊物檢測標記在各自掩膜版上所處位置各不相同；和/或，所述第二檢測標記包括第二紅色檢測標記、第二綠色檢測標記、第二藍色檢測標記和第二隔墊物檢測標記；所述第二紅色檢測標記、第二綠色檢測標記、第二藍色檢測標記和第二隔墊物檢測標記分別設置在所述掩膜版組件的不同的掩膜版上，且所述第二紅色檢測標記、第二綠色檢測標記、第二藍色檢測標記和第二隔墊物檢測標記在各自掩膜版上所處位置各不相同。可選的，所述第二紅色檢測標記、第二綠色檢測標記、第二藍色檢測標記和第二隔墊物檢測標記的數量均為多個；多個所述第二紅色檢測標記等間隔排列，且距離最遠的兩個第二紅色檢測標記之間的距離大于所述對位標記測試窗口與間距測量測試窗口的相互遠離的兩個側邊之間的距離；多個所述第二綠色檢測標記等間隔排列，且距離最遠的兩個第二綠色檢測標記之間的距離大于所述對位標記測試窗口與間距測量測試窗口的相互遠離的兩個側邊之間的距離；多個所述第二藍色檢測標記等間隔排列，且距離最遠的兩個第二藍色檢測標記之間的距離大于所述對位標記測試窗口與間距測量測試窗口的相互遠離的兩個側邊之間的距離；多個所述第二隔墊物檢測標記等間隔排列，且距離最遠的兩個第二隔墊物檢測標記之間的距離大于所述對位標記測試窗口與間距測量測試窗口的相互遠離的兩個側邊之間的距離。本專利技術實施例的第三個方面，提供了一種采用如上任一項所述掩膜版或者采用如上任一項所述掩膜版組件檢測測試窗口遮擋效果的方法，其特征在于，包括：利用所述掩膜版或掩膜版組件完成彩色濾光片中紅色著色層、綠色著色層、藍色著色層和/或隔墊物層的制作；對所述彩色濾光片的基板進行光學檢測；若檢測到所述第一檢測標記在所述彩色濾光片的基板上形成的第一記號，則判定為出現第一遮擋缺陷；和/或，若檢測到所述第二檢測標記在所述彩色濾光片的基板上形成的第二記號為不完整的第二檢測標記圖案，則判定為出現第二遮擋缺陷。可選的，所述光學檢測采用的是自動光學檢測技術。本專利技術實施例的第四個專利技術，提供了一種曝光機，采用如上任一項所述掩膜版或者采用如上任一項所述掩膜版組件完成曝光。從上面所述可以看出，本專利技術實施例提供的掩膜版及其組件、曝光機和檢測測試窗口遮擋效果的方法，通過在掩膜版上設置第一檢測標記和/或第二檢測標記，在使用所述掩膜版進行彩色濾光片的R/G/B/PS工藝處理后，若彩色濾光片的基板上能夠通過光學檢測到相應的記號，則說明出現了遮擋效果不良的問題，從而能夠進行遮擋效果的監控。附圖說明圖1為本專利技術提供的掩膜版的第一個實施例的俯視結構示意圖；圖2a為本專利技術提供的掩膜版的第一個實施例的測試窗口被遮板適當遮擋的俯視示意圖；圖2b為本專利技術提供的掩膜版的第一個實施例的測試窗口被遮板遮擋過小的俯視示意圖；圖2c為本專利技術提供的掩膜版的第一個實施例的測試窗口被遮板遮擋過大的俯視示意圖；圖3a為經過圖2a中所示位置的遮板遮擋后的彩色濾光片的基板的俯視結構示意圖；圖3b為經過圖2b中所示位置的遮板遮擋后的彩色濾光片的基板的俯視結構示意圖；圖3c為經過圖2c中所示位置的遮板遮擋后的彩色濾光片的基板的俯視結構示意圖；圖4為本專利技術提供的掩膜版的第二個實施例的俯視結構示意圖；圖5為本專利技術提供的掩膜版組件的第一個實施例中，在所述掩膜版組件的4張掩膜版上，以所述掩膜版的第一個實施例的設置方式，分別在不同位置設置4種檢測標記時，4張掩膜版對齊重疊時的俯視投影示意圖；圖6為本專利技術提供的掩膜版組件的第二個實施例中，在所述掩膜版組件的4張掩膜版上，以所述掩膜版的第二個實施例的設置方式，分別在不同位置設置本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種掩膜版，包括對位標記測試窗口和間距測量測試窗口，其特征在于，所述掩膜版上還設置有第一檢測標記和/或第二檢測標記；所述第一檢測標記，與所述對位標記測試窗口和/或間距測量測試窗口的靠近掩膜版內部的邊框齊平；所述第二檢測標記，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓與所述對位標記測試窗口之間，和/或，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓與所述間距測量測試窗口之間。

【技術特征摘要】
1.一種掩膜版，包括對位標記測試窗口和間距測量測試窗口，其特征在于，所述掩膜版上還設置有第一檢測標記和/或第二檢測標記；所述第一檢測標記，與所述對位標記測試窗口和/或間距測量測試窗口的靠近掩膜版內部的邊框齊平；所述第二檢測標記，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓與所述對位標記測試窗口之間，和/或，設置在所述掩膜版的透光區整體輪廓與所述間距測量測試窗口之間。2.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一檢測標記設置在所述對位標記測試窗口和/或間距測量測試窗口的一側。3.根據權利要求1或2所述的掩膜版，其特征在于，所述第一檢測標記包括第一子標記和第二子標記；所述第一子標記設置在所述對位標記測試窗口的一側；所述第二子標記設置在所述間距測量測試窗口的一側。4.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二檢測標記的整體呈條狀且長度大于所述對位標記測試窗口與間距測量測試窗口的相互遠離的兩個側邊之間的距離。5.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二檢測標記的整體呈條狀且長度大于所述掩膜版的透光區整體輪廓的長度。6.根據權利要求4或5所述的掩膜版，其特征在于，所述第二檢測標記的寬度小于所述掩膜版的透光區整體輪廓朝向所述對位標記測試窗口的邊緣與所述對位標記測試窗口朝向所述掩膜版的透光區整體輪廓的邊緣之間的距離，和/或，所述第二檢測標記的寬度小于所述掩膜版的透光區整體輪廓的朝向所述間距測量測試窗口的邊緣與所述間距測量測試窗口朝向所述掩膜版的透光區整體輪廓的邊緣之間的距離。7.一種掩膜版組件，其特征在于，包括多個如權利要求1-6任一項所述的掩膜版；所述第一檢測標記包括第一紅色檢測標記、第一綠色檢測標記、第一藍色檢測標記和第一隔墊物檢測標記；所述第一紅色檢測標記、第一綠色檢測標記、第一藍色檢測標記和第一隔墊物檢測標記分別設置在所述掩膜版組件的不同的掩膜版上；且所述第一紅色檢測標記、第一綠色檢測標記、第一藍色檢測標記和第一隔墊物檢測標記在各自掩膜版上所處位置各不相同；和/或，所述第二檢測標記包括第二...

【專利技術屬性】
技術研發人員：崔家賓，王麗，李志賓，梁鵬飛，劉暢，陳鵬，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司，
類型：發明
國別省市：北京,11