一種真空腔室物料轉送裝置制造方法及圖紙

一種真空腔室物料轉送裝置，其包括固定在所述預真空室中的至少一個第一導軌，與所述第一導軌可滑動連接的第一安裝座，所述第一安裝座設置有與所述第一導軌垂直的第二導軌，所述第二導軌可滑動連接有第二滑塊，所述第二滑塊與轉臂可旋轉連接，所述轉臂與固定在所述預真空室中的轉軸可旋轉連接，所述第一安裝座設置有向所述真空功能室方向延伸的板狀托架，所述板狀托架上放置有一塊可分離的物料托板，所述預真空室中固定設置有可升降的用于頂起并旋轉所述物料托板的轉盤。本發明專利技術所提供的一種真空腔室物料轉送裝置，結構緊湊，密封性好，可實現設備對物料處理的連續性，大大提高生產效率。

Material transfer device for vacuum chamber

A vacuum chamber material transfer device, which comprises at least a first guide rail is fixed in the vacuum chamber, and the first track sliding connected to the first mounting seat, the first installation seat is provided with second guide rail of the first vertical guide rail, the guide rail is connected with a sliding second the second block, the second block and the rotary arm rotatably connected, the rotary arm and is fixed in the vacuum chamber in the shaft rotatably connected, the first installation seat is provided with a board shaped bracket extending into the vacuum chamber function direction, there is a separate plate for placing the material the plate bracket, the pre vacuum chamber is fixedly provided with a lifting turntable for lifting and rotating the plate material. The invention provides a vacuum chamber material transfer device, which has compact structure and good sealing performance, and can realize the continuity of material treatment by the equipment, and greatly improve the production efficiency.

【技術實現步驟摘要】
一種真空腔室物料轉送裝置
本專利技術涉及真空設備
，特別涉及一種用于在相鄰的真空腔室之間傳送物品的裝置。
技術介紹
真空設備都存在抽真空時間比較長，實驗及生產效率比較低的問題，某些應用領域涉及到需要在真空功能室中通入危險氣體、遇到某些氣體導致工藝原料變質問題、某些工作氣體遇到空氣中的水會會變質問題等，為此需要配合真空功能室再做一個預真空室，使得樣品從預真空室進出，而真空功能室不暴露大氣，保持良好真空環境。這樣，在預真空室與真空功能室間需要一個閥門，這個閥門可以開閉，打開時在保證樣品有效在預真空室與真空功能室間傳遞的前提下，連接空間需要盡可能小，以減少氣體擴散，并保證兩個腔體連接尺寸盡可能小，有利于真空腔體設計，不至于因連接空間太大帶來真空室的無效增大。此外，當需要在預真空室與真空功能室之間進行物品傳送時，如果采用直線形式傳送，則機械手的行程不得小于預真空室的樣品中心位置到真空功能室的樣品放置位置的距離，由于真空功能室的樣品多放置在中心位置上，加上預真空室與真空功能室之間必須具有真空隔斷作用的真空鎖，這個行程就會比較長，這樣預真空室外就需要設置有一個直線長桿，從而造成設備整體就比較長，比較笨拙。
技術實現思路
本專利技術要解決的技術問題是提供一種真空腔室物料轉送裝置，以減少或避免前面所提到的問題。為解決上述技術問題，本專利技術提出了一種真空腔室物料轉送裝置，其安裝在預真空室中，用于向相鄰的真空功能室進行物品傳送，所述預真空室與所述真空功能室之間設置有真空鎖，其包括固定在所述預真空室中的至少一個第一導軌，與所述第一導軌可滑動連接的第一安裝座，所述第一安裝座設置有與所述第一導軌垂直的第二導軌，所述第二導軌可滑動連接有第二滑塊，所述第二滑塊與轉臂可旋轉連接，所述轉臂與固定在所述預真空室中的轉軸可旋轉連接，所述第一安裝座設置有向所述真空功能室方向延伸的板狀托架，所述板狀托架上放置有一塊可分離的物料托板，所述預真空室中固定設置有可升降的用于頂起并旋轉所述物料托板的轉盤。優選地，所述轉盤包括一個支撐框架，所述支撐框架設置有一個帶有從動齒輪的升縮桿，所述伸縮桿頂部設置有一個圓盤體，所述從動齒輪與一個主動齒輪嚙合，所述主動齒輪連接有步進電機。優選地，所述真空鎖包括一個殼體，所述殼體兩側設置有用于與所述預真空室和所述真空功能室連通的通孔，所述殼體內設置有可上下滑動的鎖身，所述鎖身包括一塊頂板，所述頂板兩側對稱設置有密封板，所述頂板設置有多個凸出所述頂板表面的滾珠，所述密封板對應所述滾珠設置有多個圓錐形凹槽。優選地，兩個所述密封板之間設置有彈簧。優選地，所述鎖身設置有與所述殼體可滾動連接的導向軸承。優選地，所述通孔和所述密封板、所述頂板均為矩形。優選地，所述頂板的側壁沿長度方向均布有四對所述滾珠，所述密封板的側壁沿長度方向均布有四對所述圓錐形凹槽。優選地，所述密封板設置有密封圈。本專利技術所提供的一種真空腔室物料轉送裝置，結構緊湊，密封性好，能對相鄰的兩個真空腔室提供有效密封，并且對真空腔室的開口形狀適應性強，此外，所述板狀托架可以是很薄且長的片狀結構，因此可以通過窄長的真空鎖縫隙將物品送入或取出真空功能室，這樣就可以減少對整個設備的尺寸要求。附圖說明以下附圖僅旨在于對本專利技術做示意性說明和解釋，并不限定本專利技術的范圍。其中，圖1為根據本專利技術的一個具體實施例的一種真空腔室物料轉送裝置的立體結構原理示意圖；圖2為圖1的另一個視角的部分立體結構原理示意圖；圖3為圖1的真空腔室物料轉送裝置的應用環境的部分剖視原理示意圖；圖4為圖3的真空鎖的立體分解結構原理示意圖。具體實施方式為了對本專利技術的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖說明本專利技術的具體實施方式。其中，相同的部件采用相同的標號。圖1為根據本專利技術的一個具體實施例的一種真空腔室物料轉送裝置的立體結構原理示意圖；圖2為圖1的另一個視角的部分立體結構原理示意圖；圖3為圖1的真空腔室物料轉送裝置的應用環境的部分剖視原理示意圖；參見圖1-3所示，本專利技術提供了一種真空腔室物料轉送裝置，其安裝在預真空室101中，用于向相鄰的真空功能室102進行物品傳送，所述預真空室101與所述真空功能室102之間設置有真空鎖，其包括固定在所述預真空室101中的至少一個第一導軌41，與所述第一導軌41可滑動連接的第一安裝座42，所述第一安裝座42設置有與所述第一導軌41垂直的第二導軌51，所述第二導軌可滑動連接有第二滑塊52，所述第二滑塊52與轉臂53可旋轉連接，所述轉臂53與固定在所述預真空室101中的轉軸54可旋轉連接，所述第一安裝座42設置有向所述真空功能室102方向延伸的板狀托架43，所述板狀托架43上放置有一塊可分離的物料托板44，所述預真空室101中固定設置有可升降的用于頂起并旋轉所述物料托板44的轉盤6。參見圖1、2所示，其中圖2中省略了物料托板44和轉盤6；當所述第一安裝座42位于所述第一導軌41的左側時，所述板狀托架43收于所述第一導軌41的長度范圍內，因此，所述預真空室101與所述真空功能室102之間的真空鎖可有效封閉。當需要向所述真空功能室102傳送樣片等物品時，可先打開所述預真空室101，將物品放置在所述板狀托架43的所述物料托板44的兩端(即可在所述物料托板44一次性放置兩件處于對稱位置的物料)，然后關閉所述預真空室101，使所述預真空室101抽取真空，之后即可打開所述真空鎖，然后驅動轉臂53旋轉，所述轉臂53旋轉過程中會帶動所述第二滑塊52沿所述第二導軌51移動，從而帶動所述第一安裝座42沿所述第一導軌41移動，這樣就會使得所述板狀托架43向所述真空功能室102移動，并最終將放置在所述物料托板44的物品送入所述真空功能室102，當所述物料托板44進入所述真空功能室102的相應位置后，位于所述物料托板44右側(即靠近所述真空功能室102一側)的物料會被所述真空功能室102中的機構(圖中未示出)取下以進行后繼刻蝕等工程操作。之后，所述轉臂53反向旋轉即可帶動所述板狀托架43返回至所述預真空室101(位于所述物料托板44左側的物料同時被帶回)，之后即可使用真空鎖封閉隔離所述預真空室101與所述真空功能室102。當第一塊物料被處理完成后，所述真空鎖打開，所述轉臂53帶動所述物料托板44進入所述真空功能室102，將處理完成的第一塊物料承載在所述物料托板44右側，然后所述轉臂53將所述物料托板44帶回至所述預真空室101，之后所述轉盤6升起，頂住所述物料托板44并將其旋轉180°，從而使得處理完成的第一塊物料被換位至所述物料托板44左側，未被處理的物料被換位至所述物料托板44右側，之后所述轉臂53帶動所述物料托板44進入所述真空功能室102，使所述真空功能室102中的機構(圖中未示出)將該未被處理的物料取下以進行后繼刻蝕等工程操作。之后，所述轉臂53反向旋轉即可帶動所述板狀托架43返回至所述預真空室101(位于所述物料托板44左側的處理完成的物料同時被帶回)，之后即可使用真空鎖封閉隔離所述預真空室101與所述真空功能室102。在所述真空功能室102中對未被處理的物料進行處理，而所述預真空室101被打開，解除真空，將已完成處理的物料取出，放入新的未處理的物料在所述物料托板44左側，之后關本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空腔室物料轉送裝置，其特征在于，其安裝在預真空室中，用于向相鄰的真空功能室進行物品傳送，所述預真空室與所述真空功能室之間設置有真空鎖，其包括固定在所述預真空室中的至少一個第一導軌，與所述第一導軌可滑動連接的第一安裝座，所述第一安裝座設置有與所述第一導軌垂直的第二導軌，所述第二導軌可滑動連接有第二滑塊，所述第二滑塊與轉臂可旋轉連接，所述轉臂與固定在所述預真空室中的轉軸可旋轉連接，所述第一安裝座設置有向所述真空功能室方向延伸的板狀托架，所述板狀托架上放置有一塊可分離的物料托板，所述預真空室中固定設置有可升降的用于頂起并旋轉所述物料托板的轉盤。

【技術特征摘要】
1.一種真空腔室物料轉送裝置，其特征在于，其安裝在預真空室中，用于向相鄰的真空功能室進行物品傳送，所述預真空室與所述真空功能室之間設置有真空鎖，其包括固定在所述預真空室中的至少一個第一導軌，與所述第一導軌可滑動連接的第一安裝座，所述第一安裝座設置有與所述第一導軌垂直的第二導軌，所述第二導軌可滑動連接有第二滑塊，所述第二滑塊與轉臂可旋轉連接，所述轉臂與固定在所述預真空室中的轉軸可旋轉連接，所述第一安裝座設置有向所述真空功能室方向延伸的板狀托架，所述板狀托架上放置有一塊可分離的物料托板，所述預真空室中固定設置有可升降的用于頂起并旋轉所述物料托板的轉盤。2.根據權利要求1所述的真空腔室物料轉送裝置，其特征在于，所述轉盤包括一個支撐框架，所述支撐框架設置有一個帶有從動齒輪的升縮桿，所述伸縮桿頂部設置有一個圓盤體，所述從動齒輪與一個主動齒輪嚙合，所述主動齒輪連接有步進電機。3.根據權利要求1所述的真空腔室物料轉...

【專利技術屬性】
技術研發人員：關江敏，徐波，
申請(專利權)人：北京創世威納科技有限公司，
類型：發明
國別省市：北京,11