避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置及真空腔室制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置及真空腔室，包括具有線性驅(qū)動軸的線性驅(qū)動部件和接頭部件，接頭部件一端固定于腔門邊緣，接頭部件另一端具有一連接孔；線性驅(qū)動部件的一端活動連接于真空腔的外壁上，另一端和接頭部件另一端通過連接孔進行活動連接；通過線性驅(qū)動部件的旋轉(zhuǎn)來驅(qū)動接頭部件旋轉(zhuǎn)從而打開或關(guān)閉腔門；環(huán)繞在線性驅(qū)動軸的端部的擋板套筒；位于接頭部件的連接孔上的擋板，其具有靠近線性驅(qū)動部件的截止端；一栓銷穿過連接孔，將擋板與擋板套套筒固定連接，且將擋板與接頭部件之間活動連接；位于接頭部件上的擋板阻件，其靠近擋板的截止端設(shè)置，且當擋板的截止端與擋板阻件接觸后，接頭部件被擋板卡住而不能繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。

Opening and closing device and vacuum chamber for avoiding punching of vacuum cavity door

The invention provides a vacuum cavity to avoid the door opening and closing device and vacuum chamber flushing, including linear drive shaft linear drive parts and joint parts, part of the joint end is fixed on the edge part of the joint cavity door, the other end is provided with a connecting hole; the outer wall at one end of the linear driving member is movably connected to the vacuum chamber on the other end and joint part connecting hole are movably connected by the other end; the linear rotation of the driving member to drive the rotating joint component to open or close the door cavity around the baffle plate; drive shaft end of the sleeve in the linear connection; baffle hole located on the part of the joint, its cut-off end is close to the linear drive unit; a bolt passes through the connecting hole, the baffle and the baffle sleeve sleeve is fixedly connected, and the activities between the baffle and the joint part is located in the joint part of the connecting block; The plate blocking member is arranged near the cut-off end of the baffle plate, and when the stop end of the baffle is in contact with the baffle block, the joint member is jammed by the baffle plate and can not continue to rotate.

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置及真空腔室
本專利技術(shù)涉及半導體
，具體涉及一種避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置及真空腔室。
技術(shù)介紹
真空腔在工作或維護時，需要將腔門關(guān)閉或開啟。通常，真空腔腔門邊緣固定連接有接頭部件，真空腔外壁上連接有線性驅(qū)動部件，接頭部件的一端具有連接孔，一栓銷穿過連接孔將接頭部件的一端與線性驅(qū)動裝置的一端活動連接，也即是，在開啟或關(guān)閉腔門的過程中，栓銷抵靠在連接孔的上端，線性驅(qū)動部件通過栓銷推動接頭部件實現(xiàn)腔門打開或閉合，接頭部件可以以該栓銷為支點相對線性驅(qū)動部件而產(chǎn)生一個相對旋轉(zhuǎn)，從而將腔門開啟或關(guān)閉。當腔門關(guān)閉后，對真空腔抽真空，此時，腔門會在真空吸力的作用下進一步向下移動，為避免連接孔中的栓銷與連接孔頂端發(fā)生硬性擠壓，可以設(shè)置連接孔尺寸大于栓銷外徑尺寸。當真空腔門在抽真空過程中進一步向下降落時，采用上述連接孔可以釋放施加于腔門上的力，使腔門在抽真空時可以向下移動，避免腔門向下時與現(xiàn)行驅(qū)動部件沖突干涉，以確保更高的真空度。然而，由于連接孔尺寸大于栓銷外徑尺寸，當需要腔門開啟方向超過豎直方向或腔門重心超過豎直狀態(tài)時，腔門在自身的重力作用下會發(fā)生突然翻轉(zhuǎn)，迫使上述栓銷向連接孔的下端滑行，導致腔門產(chǎn)生相對于開啟方向的相反方向的震動或抖動，特別是，在腔門完全開啟且處于豎直狀態(tài)時，由于腔門自身的重力作用以及腔門旋轉(zhuǎn)的末速度，會使得腔門產(chǎn)生嚴重的過沖，導致腔門運動的不可控，并且，對易碎部件造成震動而使其損壞，還會產(chǎn)生不需要的顆粒物，破壞機械支撐系統(tǒng)。因此，亟需探索如何避免腔門開啟時的過沖問題的解決方案，以減小由于過沖帶來的上述影響和損失。專利
技術(shù)實現(xiàn)思路
為了克服以上問題，本專利技術(shù)旨在提供一種避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置，通過設(shè)置一擋板，來阻擋腔門開啟時沿著連接孔產(chǎn)生相對滑動。為了實現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)提供了避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置，其包括接頭部件(1)和具有線性驅(qū)動軸(6)的線性驅(qū)動部件(202)，所述接頭部件(1)一端固定于所述腔門(201)邊緣，另一端設(shè)置一連接孔(7)；所述線性驅(qū)動部件(202)通過所述連接孔(7)驅(qū)動所述接頭部件(1)轉(zhuǎn)動從而開啟或關(guān)閉所述腔門(201)；所述啟閉裝置還包括：擋板套筒(5)，環(huán)繞在所述線性驅(qū)動軸(6)的端部；擋板(3)，位于所述連接孔(7)一側(cè)，通過一栓銷(4)實現(xiàn)與所述連接孔(7)和所述擋板套筒(5)的依次連接；擋板阻件(8)，位于所述接頭部件(1)上，當所述腔門(201)開啟至豎直方向或腔門(201)重心至豎直方向時，所述擋板(3)與所述擋板組件(8)互相抵靠。優(yōu)選地，所述擋板(3)、所述擋板套筒(5)及所述線性驅(qū)動軸(6)在腔門(201)開啟或關(guān)閉過程中保持同步轉(zhuǎn)動。優(yōu)選地，所述連接孔(7)的尺寸大于所述栓銷(4)的外徑。優(yōu)選地，所述連接孔(7)的形狀為長槽型或橢圓形。優(yōu)選地，所述長槽型連接孔(7)靠近所述線性驅(qū)動部件(202)的一端呈圓弧狀；所述擋板(3)的所述截止端(3a)也呈圓弧狀；當所述腔門(201)處于關(guān)閉狀態(tài)時，所述擋板(3)的所述截止端(3a)的弧線內(nèi)切于所述長槽型連接孔(7)靠近所述線性驅(qū)動部件(202)的一端的弧線；且所述長槽型連接孔(7)的中心線與所述線性驅(qū)動軸(6)的中心線重合。優(yōu)選地，所述擋板(3)靠近所述線性驅(qū)動部件(202)的一端包括一截止端(3a)，所述擋板阻件(8)為一凸起的弧形面；所述弧形面靠近所述擋板的所述截止端(8a)設(shè)置；當所述腔門(201)開啟至豎直方向或腔門(201)重心至豎直方向時，所述擋板(3)的所述截止端(3a)與所述弧形面互相抵靠。優(yōu)選地，所述弧形面為1/4圓。優(yōu)選地，所述擋板阻件(8)與所述接頭部件(1)一體設(shè)置或可拆卸安裝設(shè)置。優(yōu)選地，所述擋板(3)中心位置具有與所述栓銷(4)配合的第一栓銷孔，用于與所述栓銷(4)的一端固定連接；所述擋板套筒(5)上具有與所述栓銷(4)配合的第二栓銷孔，用于與所述栓銷(4)的另一端固定連接。優(yōu)選地，所述啟閉裝置還包括一傳感器(2)；所述傳感器(2)連接于一聯(lián)鎖系統(tǒng)，所述聯(lián)鎖系統(tǒng)用于控制所述線性驅(qū)動部件(202)的運動。優(yōu)選地，所述傳感器(2)的一端活動連接于所述接頭部件(1)上，另一端夾在所述擋板(3)的邊緣兩側(cè)且不與所述擋板(3)接觸。為了實現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)還提供了一種具有防止腔門過沖啟閉裝置的真空腔室，包括圍成真空反應腔的腔門及側(cè)壁，所述真空腔室設(shè)置一防止腔門過沖的啟閉裝置，所述啟閉裝置具有上述特征。本專利技術(shù)的避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置，通過設(shè)置擋板套筒與擋板固定連接，可以使擋板與線性驅(qū)動部件同步旋轉(zhuǎn)；通過將擋板、擋板套筒分別設(shè)置于連接孔兩側(cè)以實現(xiàn)擋板、擋板套筒相對于接頭部件的活動連接，從而使接頭部件產(chǎn)生相對于擋板的旋轉(zhuǎn)而為擋板與擋板阻件相接觸創(chuàng)造了條件；通過擋板以及與擋板相配合的擋板阻件，在腔門開啟時，利用擋板阻件與擋板之間相互接觸且卡住的位置關(guān)系，來阻礙腔門繼續(xù)運動，從而避免了腔門開啟時產(chǎn)生過沖現(xiàn)象。附圖說明圖1為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的啟閉裝置與真空腔、腔門的相對位置關(guān)系示意圖圖2為本專利技術(shù)的上述較佳實施例的接頭部件的結(jié)構(gòu)示意圖圖3為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖圖4為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的保持擋板與擋板套筒位置相對固定的方式的結(jié)構(gòu)關(guān)系示意圖圖5為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的在腔門與垂直方向呈85°時的擋板與圓弧面相接觸時的結(jié)構(gòu)示意圖圖6為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的在腔門與垂直方向呈90°時的擋板與圓弧面相接觸時的結(jié)構(gòu)示意圖圖7為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的在腔門與垂直方向呈120°時的擋板與圓弧面相接觸時的結(jié)構(gòu)示意圖圖8A為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的腔門處于自然關(guān)閉時的結(jié)構(gòu)示意圖圖8B為本專利技術(shù)的一個較佳實施例的腔門處于自然關(guān)閉時的結(jié)構(gòu)示意圖具體實施方式為使本專利技術(shù)的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本專利技術(shù)的內(nèi)容作進一步說明。當然本專利技術(shù)并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本專利技術(shù)的保護范圍內(nèi)。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式、使用非精準的比例，且僅用以方便、清晰地達到輔助說明本實施例的目的。圖1示出本專利技術(shù)的避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置在真空反應腔上的具體安裝示意圖，啟閉裝置包括線性驅(qū)動部件202和接頭部件1。在圖1中，真空腔包括一真空腔腔門201及一反應腔側(cè)壁200。線性驅(qū)動部件202的一端安裝在真空腔的外壁200上，通過一栓銷206實現(xiàn)在外壁200的表面轉(zhuǎn)動；另一端設(shè)置一可伸縮線性驅(qū)動軸6。請結(jié)合圖1和圖2，接頭部件1一端固定于腔門邊緣，另一端設(shè)置一連接孔7；連接孔7內(nèi)設(shè)置一栓銷4，線性驅(qū)動軸6與栓銷4連接，并通過驅(qū)動栓銷4實現(xiàn)對接頭部件1的驅(qū)動。圖2示出接頭部件的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，線性驅(qū)動軸6靠近連接部件1的一端設(shè)置一孔狀結(jié)構(gòu)(圖中未示出)，栓銷4貫穿連接孔7和線性驅(qū)動軸6上的孔狀結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)線性驅(qū)動軸6對接頭部件1的驅(qū)動。為了保證腔門201在完全閉合后由于抽真空吸力的作用腔門201向下移動不受阻礙，連接孔7的尺寸設(shè)置為大于栓銷4的尺寸，使得栓銷4可以在連接孔7內(nèi)發(fā)生位置的移動，釋放施加于腔門201上的真空吸力，一種可選的實施方式中，連接孔7的本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置，其包括接頭部件(1)和具有線性驅(qū)動軸(6)的線性驅(qū)動部件(202)，所述接頭部件(1)一端固定于所述腔門(201)邊緣，另一端設(shè)置一連接孔(7)；所述線性驅(qū)動部件(202)通過所述連接孔(7)驅(qū)動所述接頭部件(1)轉(zhuǎn)動從而開啟或關(guān)閉所述腔門(201)；其特征在于，所述啟閉裝置還包括：擋板套筒(5)，環(huán)繞在所述線性驅(qū)動軸(6)的端部；擋板(3)，位于所述連接孔(7)一側(cè)，通過一栓銷(4)實現(xiàn)與所述連接孔(7)和所述擋板套筒(5)的依次連接；擋板阻件(8)，位于所述接頭部件(1)上，當所述腔門(201)開啟至豎直方向或腔門(201)重心至豎直方向時，所述擋板(3)與所述擋板組件(8)互相抵靠。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種避免真空腔腔門過沖的啟閉裝置，其包括接頭部件(1)和具有線性驅(qū)動軸(6)的線性驅(qū)動部件(202)，所述接頭部件(1)一端固定于所述腔門(201)邊緣，另一端設(shè)置一連接孔(7)；所述線性驅(qū)動部件(202)通過所述連接孔(7)驅(qū)動所述接頭部件(1)轉(zhuǎn)動從而開啟或關(guān)閉所述腔門(201)；其特征在于，所述啟閉裝置還包括：擋板套筒(5)，環(huán)繞在所述線性驅(qū)動軸(6)的端部；擋板(3)，位于所述連接孔(7)一側(cè)，通過一栓銷(4)實現(xiàn)與所述連接孔(7)和所述擋板套筒(5)的依次連接；擋板阻件(8)，位于所述接頭部件(1)上，當所述腔門(201)開啟至豎直方向或腔門(201)重心至豎直方向時，所述擋板(3)與所述擋板組件(8)互相抵靠。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的啟閉裝置，其特征在于，所述擋板(3)、所述擋板套筒(5)及所述線性驅(qū)動軸(6)在腔門(201)開啟或關(guān)閉過程中保持同步轉(zhuǎn)動。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的啟閉裝置，其特征在于，所述連接孔(7)的尺寸大于所述栓銷(4)的外徑。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的啟閉裝置，其特征在于，所述連接孔(7)的形狀為長槽型或橢圓形。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的啟閉裝置，其特征在于，所述長槽型連接孔(7)靠近所述線性驅(qū)動部件(202)的一端呈圓弧狀；所述擋板(3)的所述截止端(3a)也呈圓弧狀；當所述腔門(201)處于關(guān)閉狀態(tài)時，所述擋板(3)的所述截止端(3a)的弧線內(nèi)切于所述長槽型連接孔(7)靠近所述線性驅(qū)動部件(202)的一端的弧線；且所述長槽型連接孔(7)的中心線...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：高穎，雷仲禮，
申請(專利權(quán))人：中微半導體設(shè)備上海有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：上海,31