濺射成膜夾具制造技術

本實用新型專利技術公開了一種結構簡單、產能高和成膜后銀片批次良品率高的濺射成膜夾具，旨在提供一種結構簡單、產能高和成膜后銀片批次良品率高的濺射成膜夾具。本實用新型專利技術包括鍍膜夾具外框板，所述鍍膜夾具外框板上陣列有若干個矩形狀鍍膜夾具，所述鍍膜夾具陣列有若干組鍍膜電極孔組，所述鍍膜夾具上設置有若干個磁鐵孔，所述磁鐵孔均勻排布于所述鍍膜電極孔組的四周。本實用新型專利技術應用于晶體生產工裝夾具的技術領域。

Sputtering film forming jig

The utility model discloses a simple structure, high production capacity and the film silver batch high yield sputtering fixture, which aims to provide a simple structure, high production capacity and the film silver batch high yield sputtering jig. The utility model comprises a frame plate coating fixture, the fixture frame plate coated with a plurality of rectangular array coating fixture, the fixture is coated with a plurality of groups of holes array coated electrode group, the coating fixture is provided with a plurality of holes around the magnet, the magnet holes are uniformly distributed in the coating electrode hole group the. The utility model is applied to the technical field of crystal production jigs and fixtures.

【技術實現步驟摘要】
濺射成膜夾具
本技術涉及晶體生產工裝夾具的
,特別涉及一種濺射成膜夾具。
技術介紹
目前在生產車間的濺射成膜的產線大都使用366工位成膜夾具，如圖1所示為現有的366工位成膜夾具，其存在著以下方面的不足：1.成膜工序使用366工位夾具生產的制品不能滿足后工序產能的需求，造成整條產線產能低及生產成本高；2.成膜后銀片批次頻率FL值：-500~2000PPM良品率約為97%，其良品率不高。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供了一種結構簡單、產能高和成膜后銀片批次良品率高的濺射成膜夾具。本技術所采用的技術方案是：本技術包括鍍膜夾具外框板，所述鍍膜夾具外框板上陣列有若干個矩形狀鍍膜夾具，所述鍍膜夾具上陣列有若干組鍍膜電極孔組，所述鍍膜夾具上設置有若干個磁鐵孔，所述磁鐵孔均勻排布于所述鍍膜電極孔組的四周。進一步的，所述鍍膜電極孔組均陣列有若干個鍍膜電極孔，所述鍍膜電極孔呈三行十三列排布于所述鍍膜夾具上，每組所述鍍膜電極孔組的兩個上下相鄰的所述鍍膜電極孔的中間位置的距離為3.85mm，每組所述鍍膜電極孔組的兩個左右相鄰的所述鍍膜電極孔的中間位置的距離為2.60mm。進一步的，所述鍍膜夾具的四端中間部分均設置有鍍膜夾具定位孔一，所述鍍膜夾具外框板設有與所述鍍膜夾具定位孔一相適配的所述鍍膜夾具定位孔二。進一步的，所述鍍膜夾具外框板的一端兩側各設置有一個外框定位孔一，所述鍍膜夾具外框板的兩側中間部分各設置有一個外框定位孔二。進一步的，所述鍍膜夾具外框板的外形為矩形，且所述鍍膜夾具外框板的四邊設有倒圓角。進一步的，所述鍍膜夾具長為121.50mm，所述鍍膜夾具寬為79.19mm，所述鍍膜夾具的四邊設有倒圓角。本技術的有益效果是：由于本技術包括鍍膜夾具外框板，所述鍍膜夾具外框板上陣列有若干個矩形狀鍍膜夾具，所述鍍膜夾具陣列有若干組鍍膜電極孔組，所述鍍膜夾具上設置有若干個磁鐵孔，所述磁鐵孔均勻排布于所述鍍膜電極孔組的四周,所以本技術利用矩形狀的所述鍍膜夾具，且此設計的所述鍍膜電極孔組的排布方式使本技術具有產能高和成膜后銀片批次良品率高的優點。附圖說明圖1是366工位成膜夾具的示意圖；圖2是本技術的示意圖；圖3是鍍膜夾具的示意圖。具體實施方式如圖1至圖3所示，在本實施例中，本技術包括矩形狀的鍍膜夾具外框板1，所述鍍膜夾具外框板1上陣列有四個矩形狀鍍膜夾具2，所述鍍膜夾具2上均陣列有八行兩列的鍍膜電極孔組3，所述鍍膜夾具2上設置有若干個磁鐵孔4，所述磁鐵孔4均勻排布于所述鍍膜電極孔組3的四周；所述鍍膜夾具外框板1的長為342mm，且所述鍍膜夾具外框板1的四邊設有倒圓角，所述鍍膜夾具外框板1的寬為342mm，且所述鍍膜夾具2長為121.50mm，所述鍍膜夾具2寬為79.19mm，且所述鍍膜夾具2的四邊設有倒圓角，相鄰的兩個所述鍍膜夾具之間的距離為1.5mm。在本實施例中，所述鍍膜電極孔組3均陣列有三行十三列的鍍膜電極孔5，每組所述鍍膜電極孔組3的兩個上下相鄰的所述鍍膜電極孔5的中間位置的距離為3.85mm，每組所述鍍膜電極孔組3的兩個左右相鄰的所述鍍膜電極孔5的中間位置的距離為2.60mm。在本實施例中，所述鍍膜夾具2的四端中間部分均設置有鍍膜夾具定位孔一6，所述鍍膜夾具2的上下兩端中間部分的兩個所述鍍膜夾具定位孔一6的圓心之間的距離為113.94mm，所述鍍膜夾具2的左右兩端中間部分的兩個所述鍍膜夾具定位孔一6的圓心之間的距離為73.20mm，所述鍍膜夾具外框板1設有與所述鍍膜夾具定位孔一6相適配的所述鍍膜夾具定位孔二；位于所述所述鍍膜夾具2的上下兩端中間部分的兩個所述鍍膜夾具定位孔一6處的所述鍍膜電極孔組3比其它所述鍍膜電極孔組3少一個所述鍍膜電極孔5，這是為了騰出空間給所述鍍膜夾具2的上下兩端中間部分的兩個所述鍍膜夾具定位孔一6，使所述鍍膜夾具2能定位于所述鍍膜夾具外框板1。在本實施例中，所述鍍膜夾具外框板1的一端兩側各設置有一個外框定位孔一7，所述鍍膜夾具外框板1的兩側中間部分各設置有一個外框定位孔二8。此設計利用所述濺射成膜夾具代替366工位夾具，此設計使濺射成膜的產線產能高，同時也降低了生產成本；也使成膜后銀片頻率良品率進一步提升。本技術應用于晶體生產工裝夾具的
雖然本技術的實施例是以實際方案來描述的，但是并不構成對本技術含義的限制，對于本領域的技術人員，根據本說明書對其實施方案的修改及與其他方案的組合都是顯而易見的。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種濺射成膜夾具，其特征在于：它包括鍍膜夾具外框板（1），所述鍍膜夾具外框板（1）上陣列有若干個矩形狀鍍膜夾具（2），所述鍍膜夾具（2）上陣列有若干組鍍膜電極孔組（3），所述鍍膜夾具（2）上設置有若干個磁鐵孔（4），所述磁鐵孔（4）均勻排布于所述鍍膜電極孔組（3）的四周。

【技術特征摘要】
1.一種濺射成膜夾具，其特征在于：它包括鍍膜夾具外框板（1），所述鍍膜夾具外框板（1）上陣列有若干個矩形狀鍍膜夾具（2），所述鍍膜夾具（2）上陣列有若干組鍍膜電極孔組（3），所述鍍膜夾具（2）上設置有若干個磁鐵孔（4），所述磁鐵孔（4）均勻排布于所述鍍膜電極孔組（3）的四周。2.根據權利要求1所述的濺射成膜夾具，其特征在于：所述鍍膜電極孔組（3）均陣列有若干個鍍膜電極孔（5），所述鍍膜電極孔（5）呈三行十三列排布于所述鍍膜夾具（2）上，每組所述鍍膜電極孔組（3）的兩個上下相鄰的所述鍍膜電極孔（5）的中間位置的距離為3.85mm，每組所述鍍膜電極孔組（3）的兩個左右相鄰的所述鍍膜電極孔（5）的中間位置的距離為2.60mm。3.根據權利要求1所述的濺...

【專利技術屬性】
技術研發人員：趙建鋒，
申請(專利權)人：珠海東精大電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：廣東,44