冷卻裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種能抑制收納有冷卻對象的空間中的排氣速度下降的冷卻裝置。冷卻裝置具備冷卻部和被冷卻部冷卻的冷卻體。冷卻體包括與冷卻部連接的第1面(12a)和第1面(12a)相反側(cè)的第2面(12b)。冷卻體(12)進(jìn)一步包括使氣體在第1面(12a)與第2面(12b)之間流動的通道(21s)。

Cooling system

The invention provides a cooling device capable of suppressing the exhaust velocity drop in a space containing a cooling object. The cooling device has a cooling part and a cooling body cooled by the cooling part. The cooling body includes first sides (12a) connected with the cooling part and the second side (12b) of the opposite side of the first side (12a). The cooling body (12) further includes a channel (21s) that causes gas to flow between the first sides (12a) and the second sides (12b).

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
冷卻裝置
本專利技術(shù)涉及對冷卻對象進(jìn)行冷卻的冷卻裝置。
技術(shù)介紹
成膜裝置、蒸鍍裝置等真空處理裝置具備低溫機(jī)構(gòu)，低溫機(jī)構(gòu)通過使裝置內(nèi)的氣體凝結(jié)而將其捕捉，從而對真空處理裝置內(nèi)進(jìn)行減壓(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。另外，在真空處理裝置中，使用例如利用熱輻射冷卻作為處理對象的基板的冷卻板(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。冷卻板被在配置于冷卻板的內(nèi)部的配管中流動的冷卻水冷卻，通過與基板相對的冷卻板的相對面從基板吸熱，從而冷卻基板。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-166477號公報專利文獻(xiàn)2：日本特開2005-332619號公報但是，在通過冷卻板冷卻基板時，優(yōu)選將冷卻板的相對面的大小設(shè)定得接近基板的大小，并將基板與相對面之間的距離設(shè)定得小。但是，冷卻板的相對面變得越大，冷卻板與真空處理裝置的內(nèi)周面的間隙變得越小，并且使冷卻板的相對面越接近基板，冷卻板與基板的間隙變得越小。其結(jié)果，表示排氣能力的傳導(dǎo)率(conductance)、即排氣速度下降。另外，這樣的問題不限于冷卻體被冷卻水冷卻的冷卻裝置，即使在利用低溫機(jī)構(gòu)進(jìn)行冷卻的冷卻裝置也同樣會產(chǎn)生。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于，提供一種能抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降的冷卻裝置。根據(jù)一個方式的冷卻裝置包括：冷卻部；以及冷卻體，其包括與所述冷卻部連接的第1面和所述第1面相反側(cè)的第2面，所述冷卻體被所述冷卻部冷卻。所述冷卻體進(jìn)一步包括使氣體在所述第1面與所述第2面之間流動的通道。根據(jù)上述構(gòu)成，由于在冷卻體形成有使氣體在第1面和第2面之間流動的通道，所以與不具有通道的構(gòu)成相比，沿冷卻體的第1面的氣體的流動以及沿第2面的氣體的流動被促進(jìn)。因此，氣體容易向冷卻體流動，其結(jié)果，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。在一個實(shí)施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述通道也可以是沿所述第1方向延伸，并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的狹縫。在該情況下，所述多個冷卻部件也可以具有2種以上的不同的大小。在一個實(shí)施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述冷卻體也可以包括沿所述第1方向延伸，并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的至少兩個狹縫。在該構(gòu)成中，各狹縫作為所述通道發(fā)揮作用。所述多個冷卻部件也可以包括：兩個端部件，其位于所述冷卻體在所述第2方向上的兩端；以及至少一個中間部件，其位于所述兩個端部件之間。在該情況下，所述兩個端部件中的至少一個也可以比所述中間部件小。根據(jù)上述構(gòu)成，由于通道(狹縫)位于冷卻體的兩端附近，所以在冷卻體的周圍流動的氣體容易流入冷卻體的通道中。因此，沿第1面的氣體的流動和沿第2面的氣體的流動被促進(jìn)，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。在一個實(shí)施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述冷卻體包括沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件至少兩個狹縫。在該構(gòu)成中，各狹縫作為所述通道發(fā)揮作用。所述多個冷卻部件也可以包括：兩個端部件，其位于所述冷卻體在所述第2方向上的兩端；以及至少一個中間部件，其位于所述兩個端部件之間。在該情況下，所述至少一個中間部件中的至少1個也可以比所述兩個端部件的每一個小。根據(jù)上述構(gòu)成，由于在冷卻體的周圍流動的氣體流入位于冷卻體的中央附近的通道(狹縫)中，所以沿冷卻體的第1面的氣體的流動和沿第2面的氣體的流動被促進(jìn)。因此，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。在一個實(shí)施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述通道也可以是沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的狹縫。在這種情況下，所述多個冷卻部件也可以具有大致相同的形狀。另外，所述多個冷卻部件也可以在所述第2方向上等間隔地配置。根據(jù)上述構(gòu)成，在整個第1面上的沿第1面的氣體的流動被促進(jìn)。此外，在整個第2面上的沿第2面的氣體的流動也被促進(jìn)。因此，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。在一個實(shí)施方式中，優(yōu)選地，所述多個冷卻部件中的至少一個是相對于由所述第1方向和所述第2方向劃定的基準(zhǔn)面傾斜的傾斜部件。所述傾斜部件在所述第2方向上的一端具有緣。在這種情況下，優(yōu)選地，所述緣與在所述第2方向上相鄰的所述多個冷卻部件中的一個冷卻部件重疊。根據(jù)上述構(gòu)成，由于傾斜部件的緣與相鄰的冷卻部件重疊，所以在從與第2面相對的位置觀察冷卻體時，不能目視確認(rèn)兩個冷卻部件之間的間隙(即，狹縫)。也就是說，第2面的整個面通過多個冷卻部件而在與冷卻卻對象相對的方向上無間隙地形成。其結(jié)果，冷卻裝置對冷卻對象進(jìn)行冷卻的效率提高。附圖說明圖1是示出被搭載于真空處理裝置的冷卻裝置的一個實(shí)施方式的概要框圖。圖2是將冷卻體與基準(zhǔn)面一起示出的立體圖。圖3是示出冷卻體的第2面的俯視圖。圖4是示出冷卻體和冷媒通道的剖視圖。圖5是示出冷卻體的第1面的俯視圖。圖6是示出變形例中的冷卻體的第2面的俯視圖。圖7是將變形例中的冷卻體與基準(zhǔn)面一起示出的立體圖。圖8是將其他變形例中的冷卻體與基準(zhǔn)面一起示出的立體圖。圖9是示出變形例中的冷卻體的第2面的俯視圖。具體實(shí)施方式參照圖1-圖5對冷卻裝置的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在本實(shí)施方式中，冷卻裝置被搭載于作為真空處理裝置的一例的成膜裝置。以下，依次對成膜裝置的概要結(jié)構(gòu)、冷卻裝置的結(jié)構(gòu)以及冷卻裝置的作用進(jìn)行說明。[成膜裝置的概要結(jié)構(gòu)]參照圖1對成膜裝置的概要結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖1是示意性地示出在從上表面觀察成膜裝置時的結(jié)構(gòu)的框圖。如圖1所示，冷卻裝置10具備冷卻部11和被冷卻部11冷卻的冷卻體12，冷卻體12包括與冷卻部11連接的第1面12a和第1面12a相反側(cè)的第2面12b。冷卻裝置10搭載于成膜裝置100。成膜裝置100例如為濺射裝置和蒸鍍裝置中的某一個。成膜裝置100具備：真空槽101，其收納冷卻裝置10的冷卻對象Tg(成膜對象)；成膜部102，其向冷卻對象Tg放出成膜原料；以及支承部103，其支承冷卻對象Tg的下端。在成膜裝置100為濺射裝置時，成膜部102是陰極裝置，在成膜裝置100為蒸鍍裝置時，成膜部102是蒸鍍源。在成膜裝置100中，冷卻裝置10以冷卻體12的第2面12b與成膜部102相對的狀態(tài)配置，在冷卻體12與成膜部102相對的方向上，支承部103位于冷卻體12與成膜部102之間。成膜裝置100具備排氣部104，排氣部104將成膜裝置100的內(nèi)部減壓為規(guī)定的壓力且在成膜裝置100的內(nèi)部形成氣體的流動。在對冷卻對象Tg進(jìn)行成膜處理時，冷卻裝置10對冷卻對象Tg進(jìn)行冷卻。另外，冷卻裝置10通過凝結(jié)真空槽101內(nèi)的氣體，從而降低收納冷卻對象Tg的空間的壓力。冷卻體12的第2面12b與冷卻對象Tg之間的距離定義為第1距離L1。該第1距離L1例如為數(shù)十mm程度。另外，冷卻體12的緣和與該冷卻體12的緣相對的真空槽101的內(nèi)周面的距離定義為第2距離L2。該第2距離L2的最小值例如為數(shù)十mm程度。[冷卻裝置的結(jié)構(gòu)]參照圖2-圖5對冷卻裝置10的構(gòu)成進(jìn)行更詳細(xì)地說明。如圖2所示，冷卻體12具有沿相互交叉的第1方向D1和第2方向D2延伸的板形狀。在本例中，第1方向D1和第2方向D2相互正交。冷卻體12包括使氣體在第1面12a與第本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種冷卻裝置，其具備：冷卻部；以及冷卻體，其包括與所述冷卻部連接的第1面和所述第1面相反側(cè)的第2面，所述冷卻體被所述冷卻部冷卻，所述冷卻體進(jìn)一步包括使氣體在所述第1面與所述第2面之間流動的通道。

【技術(shù)特征摘要】
2015.11.11 JP 2015-2214921.一種冷卻裝置，其具備：冷卻部；以及冷卻體，其包括與所述冷卻部連接的第1面和所述第1面相反側(cè)的第2面，所述冷卻體被所述冷卻部冷卻，所述冷卻體進(jìn)一步包括使氣體在所述第1面與所述第2面之間流動的通道。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其中，所述冷卻體具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀，所述通道是沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的狹縫，所述多個冷卻部件具有2種以上的不同的大小。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其中，所述冷卻體具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀，所述冷卻體包括沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的至少兩個狹縫，各狹縫作為所述通道而設(shè)置，所述多個冷卻部件包括：兩個端部件，其位于所述冷卻體在所述第2方向上的兩端；以及至少一個中間部件，其位于所述兩個端部件之間，所述兩個端部件中的至少一個比所述中間部件...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：安田淳一，村山吉信，降矢新治，
申請(專利權(quán))人：愛發(fā)科低溫泵株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：日本,JP