一種可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置，主要由氣體混合腔、噴淋板、噴淋管和可拆頂板組成，其特征在于在現(xiàn)有噴淋裝置基礎(chǔ)上加一層可拆卸頂板，該頂板通過(guò)熱接觸點(diǎn)與噴淋良好熱傳導(dǎo)保持可拆頂板溫度與冷卻后的噴淋面趨向一致。本實(shí)用新型專利技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是可拆頂板可以簡(jiǎn)化現(xiàn)有噴淋制造工藝，降低對(duì)原噴淋面的加工要求，并可以單獨(dú)卸下清洗，對(duì)提高工藝質(zhì)量具有積極影響。

A detachable chemical vapor deposition spray device

The utility model discloses a detachable chemical vapor deposition spray device, mainly by the gas mixing chamber, a spray plate, a spray pipe and a removable top plate, which is characterized in that the existing spray device based on a layer of removable roof, the roof by thermal contact with good heat conduction to keep the spray spray removable roof temperature and cooling after surface consistency. The utility model has the advantages that the removable ceiling can simplify the existing spray manufacturing process, reduce the processing requirements of the original spray surface, and can separate the cleaning separately, which has a positive influence on the improvement of the process quality.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置
本技術(shù)涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備，尤其是涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴淋裝置。
技術(shù)介紹
化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)集精密機(jī)械、半導(dǎo)體材料、真空電子、流體力學(xué)、光學(xué)、化學(xué)、計(jì)算機(jī)多學(xué)科為一體，是一種自動(dòng)化程度高、價(jià)格昂貴、技術(shù)集成度高的高端半導(dǎo)體材料、光電子器件制造專用設(shè)備?；瘜W(xué)氣相沉積設(shè)備作為化合物半導(dǎo)體材料外延生長(zhǎng)的理想方法，具有質(zhì)量高、穩(wěn)定性好、重復(fù)性好、工藝靈活、能規(guī)模化量產(chǎn)等特點(diǎn)，已經(jīng)成為業(yè)界生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件的關(guān)鍵核心設(shè)備，具有廣闊的應(yīng)用前景和產(chǎn)業(yè)化價(jià)值。化學(xué)氣相沉積噴淋裝置的反應(yīng)環(huán)境非常苛刻，通常面臨高溫、腐蝕性氣體，預(yù)沉積反應(yīng)等，導(dǎo)致現(xiàn)有氣相沉積設(shè)備噴淋裝置均為整體設(shè)計(jì)，噴淋需要經(jīng)常維護(hù)和更換，包括噴淋表面沉積污染需要經(jīng)常清潔，或者由于噴淋孔堵塞，甚至噴淋報(bào)廢，導(dǎo)致生產(chǎn)成本非常昂貴。經(jīng)常性的維護(hù)、清潔也極大浪費(fèi)了生產(chǎn)時(shí)間，降低生產(chǎn)效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是提供一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴淋裝置，減少噴淋維護(hù)保養(yǎng)間隔時(shí)間，降低生產(chǎn)成本。本專利采用的技術(shù)方案是，一種可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置，主要包括噴淋（2）、噴淋進(jìn)氣口（1）、氣體混合腔（5）、噴淋管（6）、冷卻水進(jìn)口（3）、冷卻水出口（4）、噴淋水冷腔（7）等，其特征在于噴淋（2）底面設(shè)置有可拆頂板（8），可拆頂板（8）通過(guò)可拆卸的連接方式與噴淋（2）底面連接，所述可拆頂板（8）頂部分布設(shè)置有熱接觸點(diǎn)（9），熱接觸點(diǎn)（9）由導(dǎo)熱良好材料制備，分別與可拆頂板（8）頂面和噴淋（2）底面接觸，起到可拆頂板（8）和噴淋（2）間的導(dǎo)熱作用，可拆頂板（8）上分布設(shè)置有貫穿孔（10），使凸出的噴淋管（6）可以伸入到相應(yīng)的貫穿孔（10）中。優(yōu)選地，上述可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置的可拆頂板（8）與噴淋（2）底面連接方式為螺栓連接固定，螺栓連接簡(jiǎn)單可靠，便于拆卸和更換。優(yōu)選地，上述可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置的可拆頂板（8）熱接觸點(diǎn)（9）材料是由導(dǎo)熱率良好且蒸汽壓較低的金屬材料，如鋁、銅等材料組成，以便實(shí)現(xiàn)良好導(dǎo)熱的同時(shí)避免化學(xué)氣相沉積受雜質(zhì)干擾。優(yōu)選地，上述可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置的可拆頂板（8）厚度設(shè)置在2-10mm為宜，可拆頂板（8）厚度過(guò)厚對(duì)反應(yīng)氣體氣流有較大影響，成本也過(guò)高，過(guò)薄則易于變形?？傮w而言，通過(guò)本技術(shù)所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下有益效果：1、可拆頂板的設(shè)計(jì)，使原噴淋表面處理、噴淋管凸出的加工處理得到簡(jiǎn)化，降低了對(duì)原噴淋面的加工要求，降低了噴淋生產(chǎn)成本。2、可拆頂板可以單獨(dú)卸下清洗，這樣可以避免噴淋的更換和維護(hù)，降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。3、可拆頂板頂部設(shè)置的熱接觸點(diǎn)可以保證可拆頂板與冷卻后的噴淋面溫度趨向一致，以保持溫度邊界穩(wěn)定和抑制可拆頂板的變形，熱接觸點(diǎn)的設(shè)置簡(jiǎn)單、可靠，使可拆頂板簡(jiǎn)單可靠。4、可拆頂板可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)不同的表面狀況，如通過(guò)不同粗糙度、材料改性等改變表面發(fā)射率可以優(yōu)化噴淋反應(yīng)腔內(nèi)溫度場(chǎng)分布，增加了工藝窗口，對(duì)提高工藝質(zhì)量具有積極影響。附圖說(shuō)明圖1為本技術(shù)可拆卸式化學(xué)氣相沉積設(shè)備噴淋裝置的示意圖。在所有附圖中，相同的附圖標(biāo)記用來(lái)表示相同的元件或結(jié)構(gòu)，其中：1-噴淋進(jìn)氣口，2-噴淋，3-冷卻水進(jìn)口，4-冷卻水出口，5-氣體混合腔，6-噴淋管，7-噴淋水冷腔，8-可拆頂板，9-熱接觸點(diǎn)，10-貫穿孔，11-襯底，12-載片臺(tái)。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖進(jìn)一步說(shuō)明本技術(shù)的實(shí)施例，圖1是根據(jù)本技術(shù)的實(shí)施方式裝置的結(jié)構(gòu)示意性圖示。應(yīng)理解，本技術(shù)公開的圖1重點(diǎn)示意了根據(jù)本技術(shù)實(shí)施方式裝置的元部件，也就是說(shuō)，這些附圖并不意在示意出本技術(shù)裝置中的每一個(gè)單獨(dú)的元部件。本專利采用的技術(shù)方案是，一種可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置，主要包括噴淋2、噴淋進(jìn)氣口1、氣體混合腔5、噴淋管6、冷卻水進(jìn)口3、冷卻水出口4、噴淋水冷腔7等，其特征在于噴淋2底面設(shè)置有可拆頂板8，可拆頂板8通過(guò)可拆卸的連接方式與噴淋2底面貼合連接，所述可拆頂板8頂部分布設(shè)置有熱接觸點(diǎn)9，熱接觸點(diǎn)9由導(dǎo)熱良好材料制備，分別與可拆頂板8頂面和噴淋2底面接觸，起到可拆頂板8和噴淋2間的導(dǎo)熱作用，可拆頂板8上分布設(shè)置有貫穿孔10，使凸出的噴淋管6可以伸入到相應(yīng)的貫穿孔10中。反應(yīng)氣體依次通過(guò)噴淋2的噴淋進(jìn)氣口1、氣體混合腔5、噴淋管6以及可拆頂板的貫穿孔10輸入到反應(yīng)腔體中，在載片臺(tái)12上的襯底11表面發(fā)生物理化學(xué)反應(yīng)沉積所需物質(zhì)。優(yōu)選地，上述可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置的可拆頂板8與噴淋2底面貼合連接方式為螺栓連接固定，螺栓連接簡(jiǎn)單可靠，便于拆卸和更換。優(yōu)選地，上述可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置的可拆頂板8熱接觸點(diǎn)9材料是由導(dǎo)熱率良好且蒸汽壓較低的金屬材料，如鋁、銅等材料組成，以便實(shí)現(xiàn)良好導(dǎo)熱的同時(shí)避免化學(xué)氣相沉積受雜質(zhì)干擾。優(yōu)選地，上述可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置的可拆頂板8厚度設(shè)置在2-10mm為宜，可拆頂板8厚度過(guò)厚對(duì)反應(yīng)氣體氣流有較大影響，成本也過(guò)高，過(guò)薄則易于變形。以上說(shuō)明對(duì)本技術(shù)而言只是說(shuō)明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可根據(jù)上述揭示內(nèi)容做出變更、修飾或等效，但都將落入本技術(shù)的保護(hù)范圍內(nèi)。上述實(shí)施例只是本技術(shù)較優(yōu)選的具體實(shí)施方式的其中一種，本技術(shù)并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本技術(shù)的精神和范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本技術(shù)的保護(hù)范圍內(nèi)。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置，主要包括噴淋（2）、噴淋進(jìn)氣口（1）、氣體混合腔（5）、噴淋管（6）、冷卻水進(jìn)口（3）、冷卻水出口（4）、噴淋水冷腔（7）等，其特征在于噴淋（2）底面設(shè)置有可拆頂板（8），可拆頂板（8）通過(guò)可拆卸的連接方式與噴淋（2）底面連接，所述可拆頂板（8）頂部分布設(shè)置有熱接觸點(diǎn)（9），熱接觸點(diǎn)（9）由導(dǎo)熱良好材料制備，分別與可拆頂板（8）頂面和噴淋（2）底面接觸，起到可拆頂板（8）和噴淋（2）間的導(dǎo)熱作用，可拆頂板（8）上分布設(shè)置有貫穿孔（10），使凸出的噴淋管（6）可以伸入到相應(yīng)的貫穿孔（10）中。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種可拆卸式化學(xué)氣相沉積噴淋裝置，主要包括噴淋（2）、噴淋進(jìn)氣口（1）、氣體混合腔（5）、噴淋管（6）、冷卻水進(jìn)口（3）、冷卻水出口（4）、噴淋水冷腔（7）等，其特征在于噴淋（2）底面設(shè)置有可拆頂板（8），可拆頂板（8）通過(guò)可拆卸的連接方式與噴淋（2）底面連接，所述可拆頂板（8）頂部分布設(shè)置有熱接觸點(diǎn)（9），熱接觸點(diǎn)（9）由導(dǎo)熱良好材料制備，分別與可拆頂板（8）頂面和噴淋（2）底面接觸，起到可拆頂板（8）和噴淋（2）間的導(dǎo)熱作用，可拆頂板（8...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：甘志銀，沈橋，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：廣東,44