新型石英源瓶閥門制造技術(shù)

一種新型石英源瓶閥門，閥體內(nèi)的閥芯上端連接旋柄，閥體內(nèi)有穿過閥芯的進(jìn)氣通道和出氣通道，閥芯上有與進(jìn)氣通道和出氣通道相對(duì)應(yīng)的進(jìn)氣孔和出氣孔。閥體內(nèi)穿過閥芯的進(jìn)氣通道和出氣通道上下排列，也可以前后水平排列，閥體、閥芯采用PFA、PTFE等高純耐腐蝕材質(zhì)制成。本發(fā)明專利技術(shù)具有如下有益效果：通過一個(gè)閥門可實(shí)現(xiàn)石英源瓶進(jìn)氣、出氣的同時(shí)打開或關(guān)閉，閥位開、關(guān)狀態(tài)指示明確，該閥門具有操作簡(jiǎn)便，避免誤操作帶來石英源瓶爆瓶事故的發(fā)生，提高操作使用安全性。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
新型石英源瓶閥門
本專利技術(shù)涉及太陽(yáng)能電池片制造領(lǐng)域、半導(dǎo)體集成電路及其他領(lǐng)域，具體來說是涉及一種用于盛裝化學(xué)品(三氯氧磷、三溴化硼等)石英源瓶等容器上的新型閥門。
技術(shù)介紹
目前，在太陽(yáng)能電池片制造領(lǐng)域中盛裝化學(xué)品(三氯氧磷、三溴化硼等)的石英源瓶上的控制閥門均采用的是兩個(gè)閥門來分別控制石英源瓶的進(jìn)氣和出氣狀態(tài)。如在中國(guó)專利CN100383441C公開的源瓶專用組合管閥件中，該閥門采用的是兩個(gè)閥門來分別控制石英源瓶上的進(jìn)氣和出氣的打開或關(guān)閉，且閥門打開或關(guān)閉狀態(tài)閥位指示不明確。經(jīng)實(shí)踐證明，上述操作存在一定的安全隱患，尤其是誤操作，當(dāng)進(jìn)氣閥打開，出氣閥未打開或未完全打開時(shí)，會(huì)導(dǎo)致石英源瓶爆瓶事故的發(fā)生。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作簡(jiǎn)便、進(jìn)氣和出氣同時(shí)控制、閥位開關(guān)指示明確、可避免誤操作的新型石英源瓶閥門。本專利技術(shù)采用的技術(shù)方案是：閥體內(nèi)的閥芯上端連接旋柄，閥體內(nèi)有穿過閥芯的進(jìn)氣通道和出氣通道，閥芯上有與進(jìn)氣通道和出氣通道相對(duì)應(yīng)的進(jìn)氣孔和出氣孔。所述閥體、閥芯采用PFA、PTFE等高純耐腐蝕材質(zhì)制成。本專利技術(shù)具有如下有益效果：通過一個(gè)閥門可實(shí)現(xiàn)石英源瓶進(jìn)氣、出氣的同時(shí)打開或關(guān)閉，閥位開、關(guān)狀態(tài)指示明確，操作簡(jiǎn)便，避免誤操作帶來石英源瓶爆瓶事故的發(fā)生，提高操作使用安全性。附圖說明圖1為本專利技術(shù)實(shí)施例1閥門打開狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本專利技術(shù)實(shí)施例1閥門關(guān)閉狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本專利技術(shù)實(shí)施例2閥門打開狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本專利技術(shù)實(shí)施例2閥門打開狀態(tài)俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本專利技術(shù)實(shí)施例2閥門關(guān)閉狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為本專利技術(shù)實(shí)施例2閥門關(guān)閉狀態(tài)俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1閥體、2旋柄、3閥芯、4進(jìn)氣通道、5出氣通道、6進(jìn)氣孔、7出氣孔。具體實(shí)施方式實(shí)施例1：閥體1內(nèi)的閥芯3上端連接旋柄2，閥體1內(nèi)有穿過閥芯3的進(jìn)氣通道4和出氣通道5，閥體1內(nèi)的進(jìn)氣通道4和出氣通道5上下排列，閥體1的上部有穿過閥芯3的進(jìn)氣通道4，閥體1的下部有穿過閥芯3的出氣通道5，閥芯3上有與進(jìn)氣通道4和出氣通道5相對(duì)應(yīng)的進(jìn)氣孔6和出氣孔7。閥體1、閥芯3采用PFA、PTFE等高純耐腐蝕材質(zhì)制成。在操作時(shí)，通過旋柄2旋轉(zhuǎn)閥芯3，實(shí)現(xiàn)所有通道的同時(shí)打開，當(dāng)閥芯3再旋轉(zhuǎn)90°時(shí)，所有通道同時(shí)關(guān)閉，實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣通4道和出氣通道5的同時(shí)控制，避免誤操作帶來的安全隱患。實(shí)施例2：閥體1內(nèi)的閥芯3上端連接旋柄2，閥體1內(nèi)有穿過閥芯3的進(jìn)氣通道4和出氣通道5，閥體1內(nèi)的進(jìn)氣通道4和出氣通道5為前后水平排列，閥體1的前部有穿過閥芯3的進(jìn)氣通道4，閥體1的后部有穿過閥芯3的出氣通道5，閥芯3上有與進(jìn)氣通道4和出氣通道5相對(duì)應(yīng)的進(jìn)氣孔6和出氣孔7。閥體1、閥芯3采用PFA、PTFE等高純耐腐蝕材質(zhì)制成。在操作時(shí)，通過旋柄2旋轉(zhuǎn)閥芯3，實(shí)現(xiàn)所有通道的同時(shí)打開，當(dāng)閥芯3再旋轉(zhuǎn)90°時(shí)，所有通道同時(shí)關(guān)閉，實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣通4道和出氣通道5的同時(shí)控制，避免誤操作帶來的安全隱患。需要說明的是：本專利技術(shù)不僅限用于石英源瓶，還可應(yīng)用于盛裝其它高純化學(xué)品的容器；還可通過改變閥門的材質(zhì)(如不銹鋼、銅等)，增加通道，應(yīng)用于其他領(lǐng)域，適用于兩種或多種物質(zhì)同時(shí)進(jìn)、出的情況。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種新型石英源瓶閥門，其特征是：閥體內(nèi)的閥芯上端連接旋柄，閥體內(nèi)有穿過閥芯的進(jìn)氣通道和出氣通道，閥芯上有與進(jìn)氣通道和出氣通道相對(duì)應(yīng)的進(jìn)氣孔和出氣孔。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種新型石英源瓶閥門，其特征是：閥體內(nèi)的閥芯上端連接旋柄，閥體內(nèi)有穿過閥芯的進(jìn)氣通道和出氣通道，閥芯上有與進(jìn)氣通道和出氣通道相對(duì)應(yīng)的進(jìn)氣孔和出氣孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型石英源瓶，其特征是：閥體內(nèi)穿過閥芯的進(jìn)氣通...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：向東，宋一成，王祥權(quán)，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：向東，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：貴州,52