線狀鋸及線狀鋸的運轉方法技術

提供線狀鋸及線狀鋸的運轉方法，能適當地維持線材相對于卷線筒的角度，能無阻礙地進行高精度加工。線狀鋸具備：多個加工用輥，其纏繞有用于對工件進行切斷加工的線材；兩個位移機構，其引導線材相對于卷線筒的卷取及放出；以及檢測部，其構成為對與從卷線筒延伸的線材相對于軸線的角度相關的參數進行檢測，在加工用輥之間往復行走的線材對工件進行切斷加工。線狀鋸具備：設定部，其在對工件進行切斷加工的加工運轉開始前，基于與從正在進行卷取的卷線筒延伸的線材的角度相關的參數，設定表示線材的適當角度的基準值；以及控制部，其在加工運轉的期間，在檢測出與線材的角度相關的參數偏離基準值的情況下，基于基準值來調整位移機構的位置。

Operation method of linear saw and wire saw

The operation method of wire saw and wire saw is provided. The angle of wire rod relative to the reel can be maintained properly and the high precision machining can be carried out without hindrance. The linear saw has: a plurality of processing rollers, which are wound with wires for cutting the workpiece; two displacement mechanisms, which guide the coiling and discharging of the wires relative to the reel drum; and a detection unit, which is composed of a parameter related to the angle of the wire extending from the reel drum relative to the axis for processing. The workpiece is cut off by wire rod that travels between rolls. The wire saw has a setting section which sets a reference value indicating an appropriate angle of the wire based on the parameters related to the angle of the wire extending from the coiling drum before the cutting operation of the workpiece; and a control section which detects the angle of the wire during the processing operation. The position of the displacement mechanism is adjusted based on the reference value in the case that the parameters are deviated from the reference value.

【技術實現步驟摘要】
線狀鋸及線狀鋸的運轉方法
本專利技術涉及用于利用線材對由半導體材料、磁性材料、陶瓷等脆性材料構成的工件進行切斷加工的線狀鋸及線狀鋸的運轉方法。
技術介紹
線狀鋸一般具備：兩個卷線筒，其交替地進行工件加工用的線材的卷取及放出；以及多個加工用輥，其纏繞有在兩個卷線筒之間延伸的線材。在各卷線筒配置有位移裝置，該位移裝置通過沿著該卷線筒的軸線往復移動，從而引導線材相對于卷線筒的卷取及放出。并且，當工件按壓于以規定的周期往復行走的線材時，利用供給到線材的漿液內的游離磨粒或者固定于線材的固定磨粒對工件實施切斷加工。在這樣的結構中，在線材沒有向與卷線筒的軸線呈直角的方向放出的情況下，換言之，在利用位移機構引導線材的引導位置不適當的情況下，線材的張力變動較大。根據情況，有可能線材斷裂或者對工件的加工帶來不良影響。日本特開平9-29611號公報及日本特開2013-22653號公開了用于解決這樣的問題的技術。日本特開平9-29611號公報公開一種沿著卷線筒的軸線移動的位移機構引導從卷線筒放出的線材的裝置。在該裝置中，為了適當地控制引導線材的速度，利用由負載傳感器構成的檢測部連續地檢測根據線材的放出角的移位而變動的線材的負荷。并且，連續地控制位移機構的輥的引導速度以使檢測出的負荷成為規定值，從而調整線材的移位。日本特開2013-22653號所公開的裝置具有傳感器，該傳感器在線材的行走方向反轉時檢測在卷線筒與位移機構之間延伸的線材相對于卷線筒的軸線的角度。并且，在檢測出的線材的角度為90度以外時，使位移機構相對于卷線筒移動，以使線材的角度成為90度。
技術實現思路
專利技術所要解決的課題在日本特開平9-29611號公報及日本特開2013-22653號所記載的結構的情況下，當檢測部或者傳感器的特性由于周圍溫度的變化等而發生變化、或者位移機構的輥被更換時，線狀鋸的加工條件就會變動。于是，即使檢測信號的輸出電平相同，與該輸出電平對應的實際的線材的角度也發生變化，有可能不能正確地識別線材角度。在該情況下，因為不能使位移機構適當地進行動作以使得修正線材的角度，所以不能適當地維持線材的角度。因此，有可能線材的張力偏離適當值，從而加工精度下降。本專利技術的目的在于提供如下線狀鋸及線狀鋸的運轉方法：即使線狀鋸的加工條件變動，也能適當地維持線材相對于卷線筒的角度，能無阻礙地進行高精度加工。用于解決課題的方案達成以上目的的線狀鋸具備：多個加工用輥，其纏繞有用于對工件進行切斷加工的線材；兩個位移機構，其通過與兩個卷線筒的軸線分別平行地往復移動，從而引導所述線材相對于所述卷線筒的卷取及放出；以及檢測部，其構成為對與從所述卷線筒延伸的所述線材相對于所述軸線的角度相關的參數進行檢測，所述線狀鋸構成為：伴隨所述加工用輥及所述卷線筒的往復旋轉而在所述加工用輥之間往復行走的所述線材對所述工件進行切斷加工。所述線狀鋸具備：設定部，其在對所述工件進行切斷加工的加工運轉開始前，基于與從正在進行卷取的所述卷線筒延伸的所述線材的角度相關的所述參數，設定表示所述線材的適當角度的基準值；以及控制部，其在所述加工運轉的期間，在檢測出與所述線材的角度相關的所述參數偏離所述基準值的情況下，基于所述基準值來調整所述位移機構的位置。另外，在達成以上目的的線狀鋸的運轉方法中，通過往復旋轉的兩個卷線筒交替地進行線材的卷取及放出，從而使纏繞于多個加工用輥的所述線材在所述兩個卷線筒之間往復行走，并且通過位移機構沿著所述卷線筒的軸線往復移動，從而引導所述線材相對于所述卷線筒的卷取和放出，利用在所述加工用輥之間延伸的所述線材對工件實施切斷加工。在該運轉方法中，在對所述工件進行切斷加工的加工運轉開始前，使所述線狀鋸運轉，對與從正在進行卷取的所述卷線筒朝向所述位移機構延伸的所述線材相對于所述軸線的角度相關的參數進行檢測；將檢測出的所述參數作為基準值存儲；在所述加工運轉的期間，對與所述線材的角度相關的參數進行檢測，并且在檢測出的所述參數偏離所述基準值的情況下，控制所述位移機構的動作，以使檢測出的所述參數接近于所述基準值。根據該結構，在開始工件的切斷加工前，線狀鋸進行如下非加工運轉：在不對工件進行加工的情況下運轉。在非加工運轉中，檢測出與正在卷取線材的卷線筒和從該卷線筒朝向位移機構延伸的線材的角度相關的參數，且存儲有表示適當角度的基準值。并且，在對工件進行切斷加工的線狀鋸的加工運轉中，在線材的角度偏離適當角度的情況下，控制位移機構的移動以使得修正線材的角度。因此，能抑制特別是在放出線材時容易產生的張力變動。例如，即使引導線材的任一輥被更換，也能以在線狀鋸的非加工運轉中檢測出的線材的適當角度為基準，檢測出與工件加工中的線材的角度相關的參數并修正。因此，能對引導線材的位移機構的位置進行調整，以使得相對于卷線筒維持適當的角度關系。專利技術效果根據本專利技術，即使線狀鋸的加工條件變動，也能適當地維持線材相對于卷線筒的角度，能無阻礙地進行高精度加工。附圖說明圖1是實施方式的線狀鋸的整體結構圖。圖2是示出圖1的線狀鋸的電氣構成的框圖。圖3是示出圖1的線狀鋸中的卷線筒和線材的關系的簡要圖。圖4是示出圖3的線材的角度和載荷的關系的坐標圖。圖5是示出圖1的線狀鋸的動作的流程圖。具體實施方式以下，按照附圖對將本專利技術具體化的線狀鋸及線狀鋸的運轉方法的實施方式進行說明。如圖1所示，在該實施方式的線狀鋸中，兩個卷線筒11、12相互隔開間隔且能旋轉地支承于線狀鋸的未圖示的機架。在那些卷線筒11、12上纏繞有用于對工件100進行切斷加工的線材101。卷線筒11、12通過與卷線筒11、12分別對應地設置的卷線筒旋轉用電動機13、14的驅動方向的切換，旋轉方向在規定的時機反轉。通過卷線筒11、12連續地往復旋轉，從而兩個卷線筒11、12中的一方將線材101放出，與此同時，另一方卷取線材101。通過使該放出和卷取在規定的時機交替地進行，從而線材101以規定的周期往復行走。在該情況下，線材101的返回行走時的行程設定得比線材101的前往行走時的行程短，已使用的線材101最終卷繞于一方卷線筒。線材101是在外周保持有金剛石等磨粒的所謂的磨粒固定類型的線材。在線狀鋸的機架上，沿著在卷線筒11、12之間延伸的線材101的行走路徑，隔開間隔且能旋轉地支承有多個(在實施方式中為兩個)加工用輥15、16。在兩加工用輥15、16的外周面，沿著輥軸方向以規定的間距形成有多個環狀槽(未圖示)。線材101以與加工用輥15、16的環狀槽分別卡合的狀態架設于多個加工用輥15、16。通過圖2所示的加工用輥旋轉用電動機34驅動，從而加工用輥15、16與卷線筒11、12同步地往復旋轉。伴隨加工用輥15、16及卷線筒11、12的往復旋轉，線材101在兩個加工用輥15、16之間往復行走。在兩個加工用輥15、16之間延伸的線材101的上方能升降地配置有鞍35。在鞍35的下表面通過支承板102能裝卸地安裝有工件100。工件100以貼附于支承板102的狀態安裝于鞍35的下表面。當鞍35下降從而工件100按壓于行走的線材101時，通過保持于線材101的外周的固定磨粒的研磨作用，工件100被進行切斷加工。在線狀鋸的機架且分別與卷線筒11、12靠近的位置配置有位移機構17、18。位移機構17、本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種線狀鋸，具備：多個加工用輥，其纏繞有用于對工件進行切斷加工的線材；兩個位移機構，其通過與兩個卷線筒的軸線分別平行地往復移動，從而引導所述線材相對于所述卷線筒的卷取及放出；以及檢測部，其構成為對與從所述卷線筒延伸的所述線材相對于所述軸線的角度相關的參數進行檢測，所述線狀鋸構成為：伴隨所述加工用輥及所述卷線筒的往復旋轉而在所述加工用輥之間往復行走的所述線材對所述工件進行切斷加工，所述線狀鋸的特征在于，具備：設定部，其在對所述工件進行切斷加工的加工運轉開始前，基于與從正在進行卷取的所述卷線筒延伸的所述線材的角度相關的所述參數，設定表示所述線材的適當角度的基準值；以及控制部，其在所述加工運轉的期間，在檢測出與所述線材的角度相關的所述參數偏離所述基準值的情況下，基于所述基準值來調整所述位移機構的位置。

【技術特征摘要】
2017.02.15 JP 2017-0260741.一種線狀鋸，具備：多個加工用輥，其纏繞有用于對工件進行切斷加工的線材；兩個位移機構，其通過與兩個卷線筒的軸線分別平行地往復移動，從而引導所述線材相對于所述卷線筒的卷取及放出；以及檢測部，其構成為對與從所述卷線筒延伸的所述線材相對于所述軸線的角度相關的參數進行檢測，所述線狀鋸構成為：伴隨所述加工用輥及所述卷線筒的往復旋轉而在所述加工用輥之間往復行走的所述線材對所述工件進行切斷加工，所述線狀鋸的特征在于，具備：設定部，其在對所述工件進行切斷加工的加工運轉開始前，基于與從正在進行卷取的所述卷線筒延伸的所述線材的角度相關的所述參數，設定表示所述線材的適當角度的基準值；以及控制部，其在所述加工運轉的期間，在檢測出與所述線材的角度相關的所述參數偏離所述基準值的情況下，基于所述基準值來調整所述位移機構的位置。2.根據權利要求1所述的線狀鋸，其中，所述控制部調整所述位移機構的位置，以使與所述線材的角度相關的所述參數接近于所述基準值。3.根據權利要求1或權利要求2所述的線狀鋸，其中，所述線狀鋸具備張力賦予裝置，該張力賦予裝置對在所述加工用輥與所述位移機構之間延伸的所述線材賦予張力，所述檢測部包括用于檢測張力載荷的張力載荷檢測部，該張力載荷是由于在所述加工用輥與所述卷線筒之間延伸的所述線材的張力而作用于所述位移機構及所述張力賦予裝置的載荷，所述控制部使所述張力載荷檢測部對與卷取到所述卷線筒時的所述線材關聯的張力載荷進行檢測，并且將基于檢測出的張力載荷的所述參數設定為所述基準值，在所述加工運轉的期間檢測出偏離所述基準值的變動值作為基于所述張力載荷的參數的情況下，調整所述位移機構的位置，以使所述變動值...

【專利技術屬性】
技術研發人員：河津知之，田川智寬，二上佳央，
申請(專利權)人：小松NTC株式會社，
類型：發明
國別省市：日本,JP