一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術公開了一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，屬于鎖緊機構技術領域。包括：固定底座；升降機構，升降機構布置在固定底座的上端；步進馬達機構，步進馬達機構布置在升降機構的上端；旋轉機構，旋轉機構布置在步進馬達機構的上端面；定位裝置，定位裝置布置在旋轉機構的左右兩側，定位裝置的下方設置有滑動軌道，步進馬達機構套設在滑動軌道，步進馬達機構能沿滑動軌道的長度方向移動；真空吸嘴機構，真空吸嘴機構布置在旋轉機構的上端面；切邊檢測激光傳感器，切邊檢測激光傳感器布置在定位裝置與旋轉機構之間的間隙內。本發明專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，避免對檢測材料的損傷，保證檢測的穩定性。

A wafer and sapphire substrate edge detection device

The invention discloses a wafer and sapphire substrate trimming detection device, which belongs to the technical field of locking mechanism. Including: fixed base; lifting mechanism, lifting mechanism is arranged on the upper end of the fixed base; stepping motor mechanism, stepping motor mechanism is arranged on the upper end of the lifting mechanism; rotating mechanism, rotating mechanism is arranged on the upper end of the stepping motor mechanism; positioning device, positioning device is arranged on the left and right sides of the rotating mechanism, positioning. The lower part of the device is provided with a sliding track, the stepping motor mechanism is sleeved in the sliding track, and the stepping motor mechanism can move along the length direction of the sliding track; the vacuum suction nozzle mechanism and the vacuum suction nozzle mechanism are arranged at the upper end of the rotating mechanism; the cutting edge detection laser sensor and the cutting edge detection laser sensor are arranged in the positioning device and the positioning device. Within the clearance between rotating mechanisms. The invention provides a wafer and sapphire substrate cutting edge detection device, which avoids damage to detection materials and ensures detection stability.

【技術實現步驟摘要】
一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置
本專利技術涉及集成電路制造
，具體是涉及一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置。
技術介紹
目前國內現有技術對于晶圓以及藍寶石基片的切邊檢測是通過機械方式來定位檢測，而因為晶圓或藍寶石基片的材質特性，機械方式定位檢測時，容易對晶圓或藍寶石基片造成損傷。因此需要提供一種新型的切邊檢測裝置來保證避免對檢測材料的損傷，又能保證檢測的穩定性。
技術實現思路
針對現有技術中存在的上述問題，旨在提供一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置通過定位裝置由氣缸帶動進行定位后，平臺上真空吸嘴打開，吸住晶圓。旋轉機構開始旋轉，同時激光傳感器檢測是否有信號。當旋轉到切邊位置時，激光傳感器檢測到信號，控制馬達，反向旋轉一定步數。確保每次檢測位置的唯一性。即為當前晶圓的切邊位置。為下一道工藝提供準確位置和保證。具體技術方案如下：一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，包括：固定底座；升降機構，升降機構布置在固定底座的上端；步進馬達機構，步進馬達機構布置在升降機構的上端；旋轉機構，旋轉機構能繞其軸心旋轉地布置在步進馬達機構的上端面；定位裝置，定位裝置布置在旋轉機構的左右兩側，定位裝置與旋轉機構之間設置有間隙，定位裝置的下端設置有滑動軌道，步進馬達機構能沿滑動軌道的長度方向移動地套設在滑動軌道；真空吸嘴機構，真空吸嘴機構布置在旋轉機構的上端面；切邊檢測激光傳感器，切邊檢測激光傳感器布置在定位裝置與旋轉機構之間的間隙內。在本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置中，還具有這樣的特征，真空吸嘴機構的上端面開設有一吸口，真空吸嘴機構內部設置有吸氣通道，且吸氣通道與負壓產生裝置連接。在本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置中，還具有這樣的特征，定位裝置左右兩側的下端面各設置有一支架，兩支架通過兩平行設置的滑動軌道連接。在本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置中，還具有這樣的特征，步進馬達機構的左右兩側側壁開設有兩平行的通孔，兩通孔套設在兩滑動軌道的側壁。在本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置中，還具有這樣的特征，切邊檢測激光傳感器靠近左側定位裝置的邊緣。在本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置中，還具有這樣的特征，定位裝置包括氣缸、左定位臺和右定位臺，左定位臺、右定位臺與氣缸連接，左定位臺和右定位臺能沿支架的長度方向移動地布置在支架的上端。在本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置中，還具有這樣的特征，定位裝置還包括定位信號發生器和定位信號接收器，定位信號發生器布置在左定位臺的上端面，定位信號接收器布置在右定位臺的上端面。在本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置中，還具有這樣的特征，定位信號發生器和定位信號接收器相互正對。上述技術方案的積極效果是：本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置將通過激光傳感器檢測晶圓或藍寶石基片的切邊，確保每次檢測位置的唯一性，且為下一道工藝提供準確位置和保證，該檢測裝置既能避免對檢測材料的損傷，又能保證檢測的穩定性。附圖說明圖1為本專利技術的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置的實施例的整體結構示意圖。附圖中：1、旋轉機構；2、固定底座；3、升降機構；4、步進馬達機構；5、真空吸嘴機構；6、定位裝置；61、支架；62、滑動軌道；7、切邊檢測激光傳感器。具體實施方式為了使本專利技術實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，以下實施例結合附圖1對本專利技術提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置作具體闡述。圖1為本專利技術的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置的實施例的整體結構示意圖，在本實施例中，該晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置主要包括旋轉機構1、固定底座2、升降機構3、步進馬達機構4、真空吸嘴機構5、定位裝置6、支架61、滑動軌道62、切邊檢測激光傳感器7。升降機構3布置在固定底座2的上端，步進馬達機構4布置在升降機構3的上端，旋轉機構1布置在步進馬達機構4的上端面，且旋轉機構1能繞其軸心旋轉，定位裝置6布置在旋轉機構1的左右兩側，定位裝置6與旋轉機構1之間設置有間隙，定位裝置6的下端設置有滑動軌道62，步進馬達機構4套設在滑動軌道62，且步進馬達機構4能沿滑動軌道62的長度方向移動，真空吸嘴機構5布置在旋轉機構1的上端面，切邊檢測激光傳感器7布置在定位裝置6與旋轉機構1之間的間隙內。在一種優選的實施方式中，如圖1所示，真空吸嘴機構5的上端面開設有一吸口，真空吸嘴機構5內部設置有吸氣通道，且吸氣通道與負壓產生裝置連接。在一種優選的實施方式中，如圖1所示，定位裝置6左右兩側的下端面各設置有一支架61，兩支架61通過兩平行設置的滑動軌道62連接。在一種優選的實施方式中，如圖1所示，步進馬達機構4的左右兩側側壁開設有兩平行的通孔，兩通孔套設在兩滑動軌道62的側壁。在一種優選的實施方式中，如圖1所示，切邊檢測激光傳感器7靠近左側定位裝置6的邊緣。在一種優選的實施方式中，如圖1所示，定位裝置6包括氣缸、左定位臺和右定位臺，左定位臺、右定位臺與氣缸連接，左定位臺和右定位臺能沿著支架61的長度方向移動。在一種優選的實施方式中，如圖1所示，定位裝置6還包括定位信號發生器(圖中未示出)和定位信號接收器(圖中未示出)，定位信號發生器布置在左定位臺的上端面，定位信號接收器布置在右定位臺的上端面。在一種優選的實施方式中，如圖1所示，定位信號發生器和定位信號接收器相互正對。以下，以一種具體的實施方式進行說明，需要指出的是，以下實施方式中所描述之結構、工藝、選材僅用以說明實施方式的可行性，并無限制本專利技術保護范圍之意圖。本實施例提供的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，升降機構3布置在固定底座2的上端，步進馬達機構4布置在升降機構3的上端，旋轉機構1布置在步進馬達機構4的上端面，且旋轉機構1能繞其軸心旋轉，定位裝置6布置在旋轉機構1的左右兩側，定位裝置6包括氣缸、左定位臺和右定位臺，左定位臺、右定位臺與氣缸連接，左定位臺和右定位臺能沿著支架61的長度方向移動，定位裝置6還包括定位信號發生器(圖中未示出)和定位信號接收器(圖中未示出)，定位信號發生器布置在左定位臺的上端面，定位信號接收器布置在右定位臺的上端面，定位信號發生器和定位信號接收器相互正對。定位裝置6與旋轉機構1之間設置有間隙，定位裝置6左右兩側的下端面各設置有一支架61，兩支架61通過兩平行設置的滑動軌道62連接，步進馬達機構4的左右兩側側壁開設有兩平行的通孔，兩通孔套設在兩滑動軌道62的側壁，且步進馬達機構4能沿滑動軌道62的長度方向移動，真空吸嘴機構5布置在旋轉機構1的上端面，真空吸嘴機構5的上端面開設有一吸口，真空吸嘴機構5內部設置有吸氣通道，且吸氣通道與負壓產生裝置連接。切邊檢測激光傳感器7布置在定位裝置6與旋轉機構1之間的間隙內，，且切邊檢測激光傳感器7靠近左側定位裝置6的邊緣。該檢測裝置既能避免對檢測材料的損傷，又能保證檢測的穩定性。該晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置將通過機械手將晶圓或藍寶石基片放置到檢測機構旋轉機構的平臺上。定位裝置由氣缸帶動對晶圓或者藍寶石基片進行定位后，旋轉機構上端面的真空吸嘴機構打開，吸住晶圓或藍寶石基片。隨后旋轉機構開始旋轉，同時切邊檢測激光傳感器檢測是否有信號。當晶圓或者藍寶石基片旋轉到切邊本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，其特征在于，包括：固定底座；升降機構，所述升降機構布置在所述固定底座的上端；步進馬達機構，所述步進馬達機構布置在所述升降機構的上端；旋轉機構，所述旋轉機構能繞其軸心旋轉地布置在所述步進馬達機構的上端面；定位裝置，所述定位裝置布置在所述旋轉機構的左右兩側，所述定位裝置與所述旋轉機構之間設置有間隙，所述定位裝置的下端設置有滑動軌道，所述步進馬達機構能沿所述滑動軌道的長度方向移動地套設在所述滑動軌道；真空吸嘴機構，所述真空吸嘴機構布置在所述旋轉機構的上端面；切邊檢測激光傳感器，所述切邊檢測激光傳感器布置在所述定位裝置與所述旋轉機構之間的間隙內。

【技術特征摘要】
1.一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，其特征在于，包括：固定底座；升降機構，所述升降機構布置在所述固定底座的上端；步進馬達機構，所述步進馬達機構布置在所述升降機構的上端；旋轉機構，所述旋轉機構能繞其軸心旋轉地布置在所述步進馬達機構的上端面；定位裝置，所述定位裝置布置在所述旋轉機構的左右兩側，所述定位裝置與所述旋轉機構之間設置有間隙，所述定位裝置的下端設置有滑動軌道，所述步進馬達機構能沿所述滑動軌道的長度方向移動地套設在所述滑動軌道；真空吸嘴機構，所述真空吸嘴機構布置在所述旋轉機構的上端面；切邊檢測激光傳感器，所述切邊檢測激光傳感器布置在所述定位裝置與所述旋轉機構之間的間隙內。2.根據權利要求1所述的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，其特征在于，所述真空吸嘴機構的上端面開設有一吸口，所述真空吸嘴機構內部設置有吸氣通道，且所述吸氣通道與負壓產生裝置連接。3.根據權利要求2所述的一種晶圓及藍寶石基片切邊檢測裝置，其特征在于，所述定位裝置左右兩側的下端面各設置有一支架，兩...

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉志強，夏偉，陳再紅，李正賢，丁天祥，
申請(專利權)人：上海卓晶半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：上海,31