一種帶泄壓閥的安全石英源瓶制造技術

一種帶泄壓閥的安全石英源瓶，瓶體頂部連接閥體，閥體上設有閥芯、進出氣通道和泄壓閥；閥芯設有與閥體進氣通道相對應的進氣孔，閥芯上端連接旋柄控制閥門開關，閥芯下端連接與進氣孔相對應的進氣管；出氣通道上端連接泄壓閥；在不工作時閥體進出氣通道用可拆卸堵帽密封。閥體、閥芯、泄壓閥、進口管、堵頭等，均采用PFA、PTFE等高純耐腐蝕材質制成。該源瓶可滿足正常擴散工藝要求；當出氣管道堵塞，石英源瓶內部壓力超過安全值時自動泄壓，保證石英源瓶不破裂；操作簡便，避免誤操作，大大提高了工藝操作和使用的安全性。

【技術實現步驟摘要】
一種帶泄壓閥的安全石英源瓶
本專利技術涉及一種半導體，太陽能產業生產工藝中使用，用于盛裝高純三氯氧磷，三溴化硼等化學品的石英源瓶。
技術介紹
太陽能行業生產中擴散、摻雜工藝的主要原料有三氯氧磷、三溴化硼等。目前盛裝三氯氧磷、三溴化硼等源液的容器均采用的傳統石英瓶，而傳統石英源瓶在設計上未考慮到在特殊情況下源瓶的泄壓需求。盡管目前開發設計出多種新型石英源瓶，如專利號為CN104409391A的“一種用于擴散爐的防爆源瓶”，提及了防爆問題，但卻未從根本上解決石英源瓶內部受壓導致破裂的安全問題。經實踐證明傳統石英源瓶，使用時存在一定的安全隱患，尤其是誤操作，當進氣閥打開，出氣閥未打開或出氣管道堵塞時，會導致石英源瓶內部壓力超過石英瓶耐壓極限，發生爆瓶事故，使毒性強、高腐蝕的源液泄漏。不能滿足安全生產要求。
技術實現思路
本專利技術的目的是提供一種帶泄壓閥的安全石英源瓶，以解決上述傳統石英源瓶的缺陷。本專利技術的目的是這樣實現的：瓶體頂部連接閥體，閥體上設有閥芯、進出氣通道和泄壓閥；閥芯設有與閥體進氣通道相對應的進氣孔，閥芯上端連接旋柄控制閥門開關，閥芯下端連接與進氣孔相對應的進氣管；出氣通道上端連接泄壓閥；在不工作時閥體進出氣通道用可拆卸堵帽密封。所述的閥體、閥芯、泄壓閥、進口管、堵頭等，均采用PFA、PTFE等高純耐腐蝕材質制成。與現有技術相比，本專利技術具有如下有益效果：該源瓶可滿足正常擴散工藝要求；當出氣管道堵塞，石英源瓶內部壓力超過安全值時自動泄壓，保證石英源瓶不破裂；操作簡便，避免誤操作，大大提高了工藝操作和使用的安全性。附圖說明下面結合附圖對本專利技術作進一步說明。圖1是本專利技術實施例閥門打開結構示意圖。圖2是本專利技術實施例閥門關閉結構示意圖。圖中：1閥體、2閥芯、3旋柄、4瓶體、5泄壓閥、6進氣管、7進氣通道、8出氣通道、9堵帽、10進氣孔具體實施方式下面結合附圖，對本專利技術的具體實施方式作進一步的詳細說明。實施例：瓶體4頂部連接閥體1，閥體1上設有閥芯2、進出氣通道7和泄壓閥5；閥芯2設有與閥體進氣通道7相對應的進氣孔10，閥芯2上端連接旋柄3控制閥門開關，閥芯2下端相連接與進氣孔10相對應的進氣管6；出氣通道8上端連接泄壓閥5；在不工作時閥體1上的進氣通道7和出氣通道8用可拆卸堵帽9密封。所述的閥體1、閥芯2、泄壓閥5、進氣管6、堵帽10等，均采用PFA、PTFE等高純耐腐蝕材質制成。使用時，操作旋柄3使閥芯2到“開”位，打開進氣通道7，載氣從進氣通道7經進氣管6通入瓶體4，攜帶源液從出氣通道8排出；操作旋柄3使閥芯2轉90°到“關”位，關閉進氣通道7。當石英源瓶內部壓力大于泄壓閥5設定的安全值時，閥體1上的泄壓閥5自動泄壓，防止爆瓶事故的發生。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種新型石英源瓶，其特征是：瓶體頂部連接閥體，閥體上設有閥芯、進出氣通道和泄壓閥；閥芯設有與閥體進氣通道相對應的進氣孔，閥芯上端連接旋柄控制閥門開關，閥芯下端連接與進氣孔相對應的進氣管；出氣通道上端連接泄壓閥；在不工作時閥體進出氣通道用可拆卸堵帽密封。

【技術特征摘要】
1.一種新型石英源瓶，其特征是：瓶體頂部連接閥體，閥體上設有閥芯、進出氣通道和泄壓閥；閥芯設有與閥體進氣通道相對應的進氣孔，閥芯上端連接旋柄控制閥門開關，閥芯下端連接與進氣孔相對應的...

【專利技術屬性】
技術研發人員：向東，宋一成，
申請(專利權)人：向東，
類型：發明
國別省市：貴州,52