激光熱處理自動(dòng)化裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及一種自動(dòng)化裝置，尤其涉及一種激光熱處理自動(dòng)化裝置。包括底座，所述的底座上設(shè)有上料工位、熱處理工位和下料工位；所述的上料工位與熱處理工位呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的熱處理工位與下料工位呈對(duì)應(yīng)式分布。激光熱處理自動(dòng)化裝置，結(jié)構(gòu)緊湊度高，適配性高，使用成本較低。

Laser Heat Treatment Automation Device

The utility model relates to an automatic device, in particular to an automatic device for laser heat treatment. Including a base, the base is provided with a feeding station, a heat treatment station and a feeding station; the feeding station and the heat treatment station are corresponding distribution, and the heat treatment station and the feeding station are corresponding distribution. Laser heat treatment automation device has high compactness, high adaptability and low cost.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
激光熱處理自動(dòng)化裝置
本技術(shù)涉及一種自動(dòng)化裝置，尤其涉及一種激光熱處理自動(dòng)化裝置。
技術(shù)介紹
用于通過(guò)使用激光來(lái)處理襯底的典型熱處理設(shè)備包含：在其上部部分中具有透射窗口的腔室；安置于腔室中以支撐且水平地移動(dòng)襯底的襯底平臺(tái)；安置于腔室之外以支撐掩模的掩模支撐模塊；安裝于腔室之外以提供激光的振蕩部分；及安置于掩模支撐模塊與腔室之間且對(duì)應(yīng)于透射窗口的上側(cè)以聚焦激光的圖像形成系統(tǒng)(imageformingsystem)(或投影透鏡)。因此，將激光從振蕩部分經(jīng)由掩模及圖像形成系統(tǒng)發(fā)射到置于腔室中的襯底。雖然大部分激光束經(jīng)由圖像形成系統(tǒng)到達(dá)襯底，但其一部分由圖像形成系統(tǒng)反射，且被散射并入射到掩模支撐模塊。在具有高溫的激光束的散射部分入射到掩模支撐模塊時(shí)，從激光束的散射部分發(fā)射的高溫?zé)崾寡谀Ｖ文K變形。在將掩模置于掩模支撐模塊上時(shí)，掩模對(duì)準(zhǔn)。在此狀況下，因?yàn)閺募す馐纳⑸洳糠职l(fā)射的高溫?zé)崾寡谀Ｖ文K變形，所以掩模未對(duì)準(zhǔn)。因此，掩模應(yīng)重新對(duì)準(zhǔn)，此舉是一麻煩的過(guò)程。第2003-0056248號(hào)韓國(guó)專利公開(kāi)案揭示一種激光熱處理設(shè)備，其包含用于以激光束來(lái)輻射板的第一激光裝置。第一激光裝置包含：第一激光產(chǎn)生器裝置；用于分割脈沖激光束以發(fā)射脈沖激光束的掩模；及用于增加脈沖激光束的密度的投影透鏡。盡管第2003-0056248號(hào)韓國(guó)專利公開(kāi)案并未揭示一種掩模支撐模塊，但在所屬領(lǐng)域中常常使用用于支撐掩模的掩模支撐模塊。此外，第2003-0056248號(hào)韓國(guó)專利公開(kāi)案揭示一種用于增加激光束的密度或聚焦激光束的投影透鏡。激光束的一部分由投影透鏡反射，且接著入射到掩模支撐模塊，如上文所描述。因此，從激光束產(chǎn)生的熱使掩模支撐模塊變形。此結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，而且適配性相對(duì)不高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)主要是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊，該裝置集上料、激光熱處理、下料于一體，自動(dòng)化程度高的激光熱處理自動(dòng)化裝置。本技術(shù)的上述技術(shù)問(wèn)題主要是通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決的：一種激光熱處理自動(dòng)化裝置，包括底座，所述的底座上設(shè)有上料工位、熱處理工位和下料工位；所述的上料工位與熱處理工位呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的熱處理工位與下料工位呈對(duì)應(yīng)式分布；所述的上料工位包括上料區(qū)底座，所述的上料區(qū)底座的上部設(shè)有上料輸送帶，所述的上料輸送帶上設(shè)有待加工料；所述的熱處理工位包括熱處理激光頭、加工位推桿、上料位推桿、加工區(qū)底座和轉(zhuǎn)盤軸底座，所述的轉(zhuǎn)盤軸底座中設(shè)有轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸，所述的轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述的轉(zhuǎn)盤的一端設(shè)有上料工位端，所述的轉(zhuǎn)盤的另一端設(shè)有與上料工位端呈水平直線分布的下料工位端，所述的上料工位端與下料工位端間設(shè)有加工工位端，所述的上料位推桿將待加工料推入至上料工位端中，所述的加工區(qū)底座中設(shè)有工件旋轉(zhuǎn)軸，所述的待加工料通過(guò)工件旋轉(zhuǎn)軸與加工位推桿進(jìn)行夾緊，所述的熱處理激光頭與加工工位端呈配接式分布；所述的下料工位包括料框和下料推桿，所述的料框與下料工位端呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的下料推桿推動(dòng)待加工料進(jìn)入至料框中。作為優(yōu)選，所述的轉(zhuǎn)盤軸底座與加工區(qū)底座分別與底座固定，所述的轉(zhuǎn)盤軸底座與加工區(qū)底座呈水平直線分布。工作時(shí)，帶加工工件，通過(guò)震動(dòng)盤放至于上料輸送帶，通過(guò)上料位推桿將待加工工件推至上料工位端。轉(zhuǎn)盤在轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)90°，將上料工位端的工件旋轉(zhuǎn)至加工工位，之后加工位推桿將工件推出，工件被推至加工工位端，被工件旋轉(zhuǎn)軸和加工位推桿兩者夾緊。工件旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)會(huì)帶動(dòng)加工工位工件的旋轉(zhuǎn)，因此熱處理激光頭可以對(duì)工件實(shí)現(xiàn)全周熱處理。待熱處理完成之后，加工位推桿退回，同時(shí)將工件吸回轉(zhuǎn)盤。轉(zhuǎn)盤再轉(zhuǎn)動(dòng)90°，工件至下料工位端，下料桿將工件推至下料槽。完成一個(gè)上料、熱處理加工、下料的全過(guò)程。因此，本技術(shù)的激光熱處理自動(dòng)化裝置，結(jié)構(gòu)緊湊度高，適配性高，使用成本較低。附圖說(shuō)明圖1是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式下面通過(guò)實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本技術(shù)的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說(shuō)明。實(shí)施例1：如圖所示，一種激光熱處理自動(dòng)化裝置，包括底座1，所述的底座1上設(shè)有上料工位、熱處理工位和下料工位；所述的上料工位與熱處理工位呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的熱處理工位與下料工位呈對(duì)應(yīng)式分布；所述的上料工位包括上料區(qū)底座2，所述的上料區(qū)底座2的上部設(shè)有上料輸送帶3，所述的上料輸送帶3上設(shè)有待加工料4；所述的熱處理工位包括熱處理激光頭5、加工位推桿6、上料位推桿7、加工區(qū)底座8和轉(zhuǎn)盤軸底座9，所述的轉(zhuǎn)盤軸底座9中設(shè)有轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸17，所述的轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸17帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤10進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述的轉(zhuǎn)盤10的一端設(shè)有上料工位端11，所述的轉(zhuǎn)盤10的另一端設(shè)有與上料工位端11呈水平直線分布的下料工位端12，所述的上料工位端11與下料工位端12間設(shè)有加工工位端13，所述的上料位推桿7將待加工料4推入至上料工位端11中，所述的加工區(qū)底座8中設(shè)有工件旋轉(zhuǎn)軸14，所述的待加工料4通過(guò)工件旋轉(zhuǎn)軸14與加工位推桿6進(jìn)行夾緊，所述的熱處理激光頭5與加工工位端13呈配接式分布；所述的下料工位包括料框15和下料推桿16，所述的料框15與下料工位端12呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的下料推桿16推動(dòng)待加工料4進(jìn)入至料框15中。所述的轉(zhuǎn)盤軸底座9與加工區(qū)底座8分別與底座1固定，所述的轉(zhuǎn)盤軸底座9與加工區(qū)底座8呈水平直線分布。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種激光熱處理自動(dòng)化裝置，其特征在于：包括底座（1），所述的底座（1）上設(shè)有上料工位、熱處理工位和下料工位；所述的上料工位與熱處理工位呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的熱處理工位與下料工位呈對(duì)應(yīng)式分布；所述的上料工位包括上料區(qū)底座（2），所述的上料區(qū)底座（2）的上部設(shè)有上料輸送帶（3），所述的上料輸送帶（3）上設(shè)有待加工料（4）；所述的熱處理工位包括熱處理激光頭（5）、加工位推桿（6）、上料位推桿（7）、加工區(qū)底座（8）和轉(zhuǎn)盤軸底座（9），所述的轉(zhuǎn)盤軸底座（9）中設(shè)有轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸（17），所述的轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸（17）帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤（10）進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述的轉(zhuǎn)盤（10）的一端設(shè)有上料工位端（11），所述的轉(zhuǎn)盤（10）的另一端設(shè)有與上料工位端（11）呈水平直線分布的下料工位端（12），所述的上料工位端（11）與下料工位端（12）間設(shè)有加工工位端（13），所述的上料位推桿（7）將待加工料（4）推入至上料工位端（11）中，所述的加工區(qū)底座（8）中設(shè)有工件旋轉(zhuǎn)軸（14），所述的待加工料（4）通過(guò)工件旋轉(zhuǎn)軸（14）與加工位推桿（6）進(jìn)行夾緊，所述的熱處理激光頭（5）與加工工位端（13）呈配接式分布；所述的下料工位包括料框（15）和下料推桿（16），所述的料框（15）與下料工位端（12）呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的下料推桿（16）推動(dòng)待加工料（4）進(jìn)入至料框（15）中。...

【技術(shù)特征摘要】
1.一種激光熱處理自動(dòng)化裝置，其特征在于：包括底座（1），所述的底座（1）上設(shè)有上料工位、熱處理工位和下料工位；所述的上料工位與熱處理工位呈對(duì)應(yīng)式分布，所述的熱處理工位與下料工位呈對(duì)應(yīng)式分布；所述的上料工位包括上料區(qū)底座（2），所述的上料區(qū)底座（2）的上部設(shè)有上料輸送帶（3），所述的上料輸送帶（3）上設(shè)有待加工料（4）；所述的熱處理工位包括熱處理激光頭（5）、加工位推桿（6）、上料位推桿（7）、加工區(qū)底座（8）和轉(zhuǎn)盤軸底座（9），所述的轉(zhuǎn)盤軸底座（9）中設(shè)有轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸（17），所述的轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)軸（17）帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤（10）進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述的轉(zhuǎn)盤（10）的一端設(shè)有上料工位端（11），所述的轉(zhuǎn)盤（10）的另一端設(shè)有與上料工位端（11）呈水平直線分布的下料工位端（...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：沈華勤，李文川，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：杭州雷神激光技術(shù)有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：浙江,33