一種推車式氣體處理設備制造技術

本實用新型專利技術是推車式氣體處理設備，用以處理環境氣體，包括殼體以及氣體凈化裝置。該殼體具有滾輪以及抽屜式擺放空間，其中滾輪設于殼體底部，抽屜式擺放空間設于殼體內，用以放置至少一儀器。氣體凈化裝置包括第一緩沖槽、供氣壓縮泵、除水器、微粒過濾器以及儲氣槽。第一緩沖槽及供氣壓縮泵設于該殼體內，該供氣壓縮泵從殼體之外吸取環境氣體，并導入至第一緩沖槽。除水器連通第一緩沖槽，并去除環境氣體的水分。微粒過濾器連通第一緩沖槽，去除環境氣體中的微粒。環境氣體經過除水器以及微粒過濾器處理后成為潔凈氣體，該潔凈氣體被導入及存放于儲氣槽之中，以供至少一儀器使用。該實用新型專利技術具有移動方便、安全可靠、凈化效率高的特點。

A Push-cart Gas Processing Equipment

The utility model relates to a truck-type gas treatment device, which is used to treat ambient gas, including a shell and a gas purification device. The shell has a roller and a drawer-type placing space, in which the roller is arranged at the bottom of the shell and the drawer-type placing space is arranged in the shell for placing at least one instrument. The gas purification device comprises a first buffer tank, a gas supply compressor pump, a water separator, a particle filter and a gas storage tank. The first buffer groove and the supply gas compressor pump are arranged in the shell. The supply gas compressor pump absorbs the ambient gas from the outside of the shell and imports it into the first buffer groove. The water remover connects the first buffer tank and removes moisture from the ambient gas. The particulate filter connects the first buffer tank to remove particulates in the ambient gas. The ambient gas is treated by a water remover and a particulate filter to become a clean gas, which is imported and stored in a gas storage tank for use by at least one instrument. The utility model has the advantages of convenient movement, safety and reliability, and high purification efficiency.

【技術實現步驟摘要】
一種推車式氣體處理設備
本技術涉及氣體凈化
，具體是推車式氣體處理設備。
技術介紹
通常的半導體廠房中，潔凈氣體統一儲存于特定的儲存槽之內，并通過廠房管路，給廠房的特定地點提供。由于氣體分析儀、校正器等設備均需要使用潔凈氣體，而氣體分析儀等設備僅能在廠房的特定地點使用，造成使用上的不便，也形成了檢測上的死角。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是提供一種移動方便、安全可靠、凈化效率高的推車式氣體處理設備。為了實現上述目的，本技術推車式氣體處理設備，包括：殼體，所述殼體底部設有滾輪，所述殼體內設有抽屜式擺放空間；氣體凈化裝置，所述氣體凈化裝置設于所述殼體內，包括：第一緩沖槽；供氣壓縮泵，所述供氣壓縮泵從所述殼體外吸取環境氣體，并將環境氣體導入至所述第一緩沖槽；除水器，所述除水器連通所述第一緩沖槽，并去除環境氣體的水分；微粒過濾器，所述微粒過濾器連通所述第一緩沖槽，并去除環境氣體中的微粒；儲氣槽，環境氣體經過所述除水器及所述微粒過濾器處理后成為潔凈氣體，所述潔凈氣體被導入并存放于所述儲氣槽中。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述殼體內還設有斜式面板。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述殼體內設有抽屜式托盤。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述殼體還設有空氣濾網。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述抽屜式擺放空間包括散熱系統和帶有散熱孔的散熱架，設于所述殼體內，以供至少一儀器散熱。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述儀器為連通所述儲氣槽的氣體分析儀，所述氣體凈化裝置為所述氣體分析儀提供潔凈氣體。上述的推車式氣體處理設備，其中，還包括所述殼體內的環形管，所述環形管連通所述第一緩沖槽，所述環形管冷卻環境氣體。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述氣體凈化裝置還包括定時排水裝置和卸水儲水瓶，所述卸水儲水瓶連通所述定時排水裝置，所述定時排水裝置連接所述除水器，并且所述定時排水裝置使所述卸水儲水瓶定時收集所述除水器從環境氣體去除的水分。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述氣體凈化裝置還包括干燥器，環境氣體依序經過所述環形管、除水器和微粒過濾器，所述環境氣體干燥并達到-60oC以下之露點的條件而成為潔凈氣體，所述潔凈氣體從所述干燥器進入所述儲氣槽。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述氣體凈化裝置還包括氣體切換開關，，設于所述殼體內，并連通于所述干燥器以及所述儲氣槽之間，其中，所述氣體切換開關選擇性切換所述潔凈氣體或外部輸入的潔凈氣體進入所述儲氣槽。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述氣體凈化裝置還包括連接所述儲氣槽的安全泄壓單元，所述安全泄壓單元檢測所述儲氣槽內的氣體壓力并且當所述儲氣槽內的氣體壓力超過預設的安全壓力值時自動進行泄壓。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述氣體凈化裝置還包括第一壓力控制單元以及第二壓力控制單元，所述第一壓力控制單元連接所述儲氣槽，第二壓力控制單元連接所述第一壓力控制單元，所述第一壓力控制單元以及所述第二壓力控制單元依次以第一壓力控制參數以及第二壓力控制參數對所述潔凈氣體進行壓力控制，所述第一壓力控制參數大于所述第二壓力控制參數。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述氣體凈化裝置還包括緩沖槽，設于所述殼體之中，并且所述第二壓力控制單元連接所述緩沖槽，所述緩沖槽連通至少一儀器，所述緩沖槽用以暫存所述第二壓力控制單元降壓后的潔凈氣體后導入降壓后的潔凈氣體至所述至少一儀器。上述的推車式氣體處理設備，其中，還包括電源控制裝置，設于所述殼體之中，并連接所述氣體凈化裝置以及所述至少一儀器，所述電源控制裝置對所述氣體凈化裝置以及所述至少一儀器進行供電控制。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述電源控制裝置還包括電路板，設于所述殼體之中，所述電路板包括溫度安全單元，其具有溫度保護功能、過載跳脫開關以及壓力控制單元。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述電源控制裝置還包括不斷電單元，設于所述殼體內，并連接所述電路板。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述電源控制裝置還包括緊急停止按鈕，設于所述殼體內，并且連接于所述不斷電單元以及外部電源之間，用以緊急停止供電。上述的推車式氣體處理設備，其中，所述電源控制裝置還包括第二過載跳脫單元以及濾波單元，設于所述殼體內，并且所述第二過載跳脫單元連接所述不斷電單元以及所述濾波單元，所述濾波單元接收并濾除外部電源的噪聲，所述第二過載跳脫單元當外部電源過載時進行斷電。技術的有益效果是：移動方便、安全可靠、凈化效率高。以下結合附圖和具體實施例對本技術進行詳細描述，但不作為對本技術的限定。附圖說明圖1是本技術結構示意圖；圖2是本技術操作示意圖；圖3是本技術結構框圖；圖4是本技術電源控制裝置結構框圖。其中，附圖標記1~推車式氣體處理設備10~氣體凈化裝置11~殼體12~滾輪13~抽屜式擺放空間14~抽屜式托盤15~空氣濾網21~第一緩沖槽22~第二緩沖槽31~供氣壓縮泵32~真空泵41~除水器42~微粒過濾器43~環形管44~干燥器50~卸水儲水瓶51~定時排水裝置52~氣體切換開關60~儲氣槽61~安全泄壓裝置70~壓力控制單元80~氣體雜質吸附過濾器81~第一壓力控制單元82~第二壓力控制單元90~第三緩沖槽200~儀器300~電源控制裝置301~溫度安全單元302~第一過載跳脫單元303~壓力控制單元304~電路板305~電源供應單元306~緊急停止按鈕307~不斷電單元308~第二過載跳脫單元309~濾波單元310~插頭具體實施方式下面結合附圖對本技術的結構原理和工作原理作具體的描述：如圖1至4所示，本技術提供一種可移動的推車式氣體處理設備1，其內部設有抽屜式擺放空間13以及氣體凈化裝置10，抽屜式擺放空間13可供放置分析儀、校正器等儀器，氣體凈化裝置10可以在廠房各處將環境氣體凈化為潔凈氣體，并將潔凈氣體供分析儀、校正器等儀器使用。電源控制裝置300提供多重安全保護機制，監測推車式氣體處理設備1內部的各部件的運轉情況以及外部供電情況，并于異常發生時及時供電或斷電，以延長推車式氣體處理設備中各部件的使用壽命。如圖1所示，推車式氣體處理設備1包括殼體11、滾輪12、抽屜式擺放空間13以及抽屜式托盤14。抽屜式托盤14以及抽屜式擺放空間13設于殼體11內。滾輪12設于殼體11底部，推車式氣體處理設備1可依使用者需求在廠房內移動。實施例中，殼體11可為不銹鋼材質并且符合人體工學操作。殼體11具有一斜式面板，抽屜式擺放空間13為可抽出式，通過推拉方式移出，可以同時放置多臺氣體處理儀器如分析儀、校正器等以供使用。抽屜式擺放空間13是具有散熱系統及帶散熱孔的散熱架空間。抽屜式擺放空間13可以有一或多個可抽出式帶散熱孔的散熱架。參照圖2，本實施例中，殼體11的抽屜式擺放空間13可包括一或多個可抽出式帶散熱孔的散熱架，可以抽出以供一或多臺儀器200例如氣體分析儀擺放。舉例來說，另一實施例中，散熱架可迭放多臺氣體分析儀200。推車式氣體處理設備1內部包括氣體凈化裝置10、至少一儀器200以及電源控制裝置300。氣體凈化裝置10連通該至少一儀器200，該儀器200可以為氣體分析儀、校正器或是其他儀器，該氣體凈化裝置10對該儀器200供本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種推車式氣體處理設備，其特征在于，包括：殼體，所述殼體底部設有滾輪，所述殼體內設有抽屜式擺放空間；氣體凈化裝置，所述氣體凈化裝置設于所述殼體內，包括：第一緩沖槽；供氣壓縮泵，所述供氣壓縮泵從所述殼體外吸取環境氣體，并將環境氣體導入至所述第一緩沖槽；除水器，所述除水器連通所述第一緩沖槽，并去除環境氣體的水分；微粒過濾器，所述微粒過濾器連通所述第一緩沖槽，并去除環境氣體中的微粒；儲氣槽，環境氣體經過所述除水器及所述微粒過濾器處理后成為潔凈氣體，所述潔凈氣體被導入并存放于所述儲氣槽中。

【技術特征摘要】
1.一種推車式氣體處理設備，其特征在于，包括：殼體，所述殼體底部設有滾輪，所述殼體內設有抽屜式擺放空間；氣體凈化裝置，所述氣體凈化裝置設于所述殼體內，包括：第一緩沖槽；供氣壓縮泵，所述供氣壓縮泵從所述殼體外吸取環境氣體，并將環境氣體導入至所述第一緩沖槽；除水器，所述除水器連通所述第一緩沖槽，并去除環境氣體的水分；微粒過濾器，所述微粒過濾器連通所述第一緩沖槽，并去除環境氣體中的微粒；儲氣槽，環境氣體經過所述除水器及所述微粒過濾器處理后成為潔凈氣體，所述潔凈氣體被導入并存放于所述儲氣槽中。2.如權利要求1所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述殼體內還設有斜式面板。3.如權利要求2所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述殼體內設有抽屜式托盤。4.如權利要求3所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述殼體還設有空氣濾網。5.如權利要求1所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述抽屜式擺放空間包括散熱系統和帶有散熱孔的散熱架，設于所述殼體內，以供至少一儀器散熱。6.如權利要求5所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述儀器為連通所述儲氣槽的氣體分析儀，所述氣體凈化裝置為所述氣體分析儀提供潔凈氣體。7.如權利要求1所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，還包括所述殼體內的環形管，所述環形管連通所述第一緩沖槽，所述環形管冷卻環境氣體。8.如權利要求7所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述氣體凈化裝置還包括定時排水裝置和卸水儲水瓶，所述卸水儲水瓶連通所述定時排水裝置，所述定時排水裝置連接所述除水器，并且所述定時排水裝置使所述卸水儲水瓶定時收集所述除水器從環境氣體去除的水分。9.如權利要求8所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述氣體凈化裝置還包括干燥器，環境氣體依序經過所述環形管、除水器和微粒過濾器，所述環境氣體干燥并達到-60oC以下之露點的條件而成為潔凈氣體，所述潔凈氣體從所述干燥器進入所述儲氣槽。10.如權利要求9所述的推車式氣體處理設備，其特征在于，所述氣體凈化裝置還包括氣體切換開關，設于所述殼體內，并連通于所述干燥器以及所述儲氣槽之間，其中，所述氣體切換開關選擇性切換所述潔凈氣體或外部...

【專利技術屬性】
技術研發人員：張家如，
申請(專利權)人：上海密亞科技有限公司，
類型：新型
國別省市：上海,31