低溫泵制造技術

本發明專利技術提供一種低溫泵（２０），其在使生產氣體流入的處理腔（１０）內被使用，具備第１級板、擋熱板（２４）和第２級板（２８），在上述擋熱板（２４）上設置用于使氣體分子可流入的缺口、和防止熱量因輻射從常溫下的低溫泵容器進入的附加密封件（３４），防止進入低溫泵容器與擋熱板之間的生產氣體引起低溫泵的性能下降。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】

【技術保護點】
一種低溫泵，具備：極低溫制冷機；由該極低溫制冷機的第１級冷卻的第１級板和擋熱板；以及內包在該擋熱板內、由上述極低溫制冷機的第２級冷卻、具有吸附材料的第２級板，其特征在于：還具備：設置在上述擋熱板上、用于使氣體分子可以流入的缺 口；以及用于防止熱量因輻射從常溫下的低溫泵容器進入上述第２級板的附加密封件。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：田中秀和，
申請(專利權)人：住友重機械工業株式會社，
類型：發明
國別省市：JP[日本]