低溫泵、低溫泵單元、包括低溫泵單元的真空處理設備以及低溫泵再生方法技術

本發明專利技術提供一種低溫泵、低溫泵單元、包括低溫泵單元的真空處理設備以及低溫泵再生方法，該低溫泵再生方法，其包括升高低溫板的溫度以使冷凝在低溫板的排氣表面上的氣體分子蒸發的升溫步驟、抽空泵容器的抽空步驟、確定泵容器的內部壓力是否已經達到比０℃的水蒸汽壓力高的設定壓力的確定步驟、停止抽空并執行壓力升高測試的壓力升高測試步驟、以及基于泵容器的內部壓力觀測殘留水分的觀測步驟。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種再生方法，其在包括泵容器、設在泵容器內的低溫板和用于冷卻低溫板的制冷器的低溫泵中執行，并且通過將含有水蒸汽的氣體分子冷凝在低溫板上而執行排氣，其包括以下步驟：　升溫步驟：升高低溫板的溫度以使冷凝在低溫板上的氣體分子蒸發并將它們排放 到泵容器中；　抽空步驟：基于低溫板的溫度狀態執行抽空；　確定步驟：確定泵容器的內部壓力是否已經達到比０℃下的水蒸汽壓力高的設定壓力；　壓力升高測試步驟：當在確定步驟中確定泵容器的內部壓力已經達到設定壓力時，停止抽空并執行壓 力升高測試；以及　觀測步驟：在壓力升高測試期間，基于泵容器的內部壓力觀測殘留水分。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：岡田隆弘，青木一俊，
申請(專利權)人：佳能安內華科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：JP[日本]