一種特殊涂層系統技術方案

本實用新型專利技術涉及顯示技術領域，具體涉及一種特殊涂層系統；技術方案是：一種特殊涂層系統，包括密閉且相連的進料室、涂層室，進料室與涂層室連接處設有第一封閉門，進料室通過第一開關閥連接有真空泵、通過第二開關閥連接有保護氣罐、與第一封閉門相對的一側設有第二封閉門；涂層室通過第三開關閥與保護氣罐連接、內部設置有與涂層原料供應裝置相連的可三軸移動的涂層噴頭、與第一封閉門相對的一側設置有第三封閉門；還包括基板傳送機構，基板傳送機構一側設于第二封閉門外、另一側設于第三封閉門外、中部位于進料室和涂層室內。本實用新型專利技術可控制有機發光二極管的涂層工藝環境，產品質量高、制造良率高。

A Special Coating System

【技術實現步驟摘要】
一種特殊涂層系統
本技術涉及顯示
，具體涉及一種OLED特殊涂層系統。
技術介紹
有機發光二極管(OrganicLight-EmittingDiode，縮寫：OLED)顯示技術，具有電壓低，視角寬、響應速度快、溫度適應性好等優勢，是新一代的顯示技術。OLED器件通常包括：基板、置于基板上的ITO透明陽極、置于ITO透明陽極上的空穴注入層(HIL)、置于空穴注入層上的空穴傳輸層(HTL)、置于空穴傳輸層上的發光層(EML)、置于發光層上的電子傳輸層(ETL)、置于電子傳輸層上的電子注入層(EIL)以及置于電子注入層上的陰極。OLED顯示屏的制造主要工藝為基板清洗、涂層、前烘、曝光、顯影、堅膜、刻蝕、剝膜，其中對基板的涂層工藝要求甚高。現有的玻璃涂層系統主要包括裝載設備、搬運設備、涂層設備及干燥設備等，其中涂層設備的涂層材料出料口可三軸(XYZ軸)移動生產時先將多個基板裝載在裝載設備中，然后將裝載設備搬送到涂層設備中進行涂層處理，完成后再送入下工藝處理。在進行涂層工藝時，通常是在敞開的空氣氣氛下進行。而本領域人員所知的是，OLED的涂層材料極易被氧化和其它化學過程損壞(例如但不限于，水蒸汽、氧氣、臭氧、有機溶劑蒸汽和類似物)，而導致產品質量降級，OLED屏良率低。因此需要一種，可以控制涂層環境的特殊特層系統。
技術實現思路
針對上述OELD顯示屏制造過程中，在進行涂層工藝時，容易被環境中的物質影響而導致的降級、良率低的技術問題，本技術提供了一種特殊涂層系統，可控制OLED顯示屏涂層處理工藝的環境，具有防止OLED顯示屏降級、良率高的特點。本技術通過下述技術方案實現：一種特殊涂層系統，包括密閉且相連的進料室、涂層室，所述進料室與涂層室連接處設有第一封閉門，所述進料室通過第一開關閥連接有真空泵、通過第二開關閥連接有保護氣罐、與第一封閉門相對的一側設有第二封閉門；所述涂層室通過第三開關閥與保護氣罐連接、內部設置有與涂層原料供應裝置相連的可三軸移動的涂層噴頭、與第一封閉門相對的一側設置有第三封閉門；還包括基板傳送機構，所述基板傳送機構一側設于第二封閉門外、另一側設于第三封閉門外、中部位于進料室和涂層室內。優選的，所述涂層室設置第三封閉門的一側還密封連接有密封的前烘室，所述前烘室依次通過加熱器、第四開關閥與保護氣罐相連，所述前烘室還連接有由內向外導通的單向閥，所述前烘室通過第五開關閥與真空泵相連，所述前烘室與第三封閉門相對的一側設置有第四封閉門。優選的，所述單向閥出口通過空壓機連接有保護氣收集罐。優選的，所述第一封閉門、第二封閉門、第三封閉門、第四封閉門均為直線驅動器驅動的滑動式封閉門。優選的，所述滑動式密封門包括門框、門板，所述門框兩側均設置有供門板滑動的滑槽，所述滑槽內設置有第一密封膠條，所述門板底部設置有第二密封膠條。優選的，所述第一密封膠條、第二密封膠條為中空的圓柱形橡膠條，且設置有若干與內部空腔相通的消氣孔。優選的，所述基板傳送機構為轉動輥帶動的帶傳送機構，包括傳送帶。優選的，所述涂層室內水平設置有若干支撐滾筒，所述支撐滾筒長度方向與傳送帶長度方向垂直、且上端抵靠在上層傳送帶底面。優選的，所述傳送帶為不銹鋼帶。本技術與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：1、通過對進料室和涂層室抽真空、提供保護氣，能夠確保涂層工藝是在保護氣氣氛下進行，確保涂層的質量，進而提高有機發光二極管顯示屏的制造良率。2、在涂層室后設置與保護氣與真空泵相連的前烘室，確保基板涂層后在保護氣氣氛下固化，防止在固化工藝中造成降級。3、使用不銹鋼傳送帶，使得本技術既適用于剛性基板，又適用于柔性基板，通用性好。附圖說明此處所說明的附圖用來提供對本技術實施例的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本技術實施例的限定。在附圖中：圖1為本技術的結構示意圖；圖2為本技術的氣路連接原理圖；圖3為本技術的滑動式密閉門結構示意圖；圖4為本技術的橡膠條結構示意圖。附圖中標記及對應的零部件名稱：1-進料室，2-涂層室，3-第一封閉門，4-第一開關閥，5-真空泵，6-第二開關閥，7-保護氣罐，8-第二封閉門，9-第三開關閥，10-涂層噴頭，11-第三封閉門，12-基板傳送機構，121-傳送帶，13-前烘室，14-加熱器，15-第四開關閥，16-單向閥，17-第四封閉門，18-空壓機，19-保護氣收集罐，20-支撐滾筒，21-第五開關閥，101-門框，102-門板，103-滑槽，104-第一密封膠條，105-第二密封膠條，106-消氣孔。具體實施方式為使本技術的目的、技術方案和優點更加清楚明白，下面結合實施例和附圖，對本技術作進一步的詳細說明，本技術的示意性實施方式及其說明僅用于解釋本技術，并不作為對本技術的限定。實施例如圖1～4所示，一種特殊涂層系統，包括密閉且相連的進料室1、涂層室2，即，進料室1和涂層室2均包括密閉的腔體，分別用于基板的進料和涂層處理，且相互連通。所述進料室1與涂層室2連接處設有第一封閉門3，用于導通或切斷進料室1和涂層室2。所述進料室1通過第一開關閥4連接有真空泵5、通過第二開關閥6連接有保護氣罐7、與第一封閉門3相對的一側設有第二封閉門8。可知的是，真空泵5可對進料室1和涂層室2抽真空；保護氣罐7可對進料室1提供保護氣；第二封閉門8可使進料室1與外部導通或切斷，用于基板的送入。所述涂層室2通過第三開關閥9與保護氣罐7連接可給涂層室2提供保護氣；涂層室2內部設置有與涂層原料供應裝置相連的可三軸移動的涂層噴頭10以進行涂層工作，可以理解的是，涂層噴頭10通過分別沿X軸、Y軸、Z軸設置的直線驅動器驅動，實現三坐標軸的移動，直線驅動器可以是電推桿、絲桿機構、齒輪齒條機構，優選為步進電機帶動的帶傳動機構，控制簡單方便，且體積小；涂層室2與第一封閉門3相對的一側設置有第三封閉門11用于取出涂層后的基板。還包括基板傳送機構12，所述基板傳送機構12一側設于第二封閉門8外、另一側設于第三封閉門11外、中部位于進料室1和涂層室2內。也就是說，基板傳送機構12可將基板從進料室1外依次送入進料室1、涂層室2、涂層室2外。通常，基板傳送機構12可以是滾筒傳送機構、金屬網傳送機構、皮帶傳送機構等，為同時滿足剛性基板和柔性基板的傳輸，本實施例優選采用，電機驅動輥驅動的帶傳動機構，包括使用不銹鋼帶制成的傳送帶121，平面度高，使用壽命長。而為進一步保證基板在涂層時的平面度確保涂層均勻，在涂層室2內水平設置有若干支撐滾筒20，所述支撐滾筒20長度方向與傳送帶121長度方向垂直、且上端抵靠在上層傳送帶121底面。進一步的，所述涂層室2設置第三封閉門11的一側還密封連接有密封的前烘室13，用于烘烤涂層后的基板。具體來說，所述前烘室13依次通過加熱器14、第四開關閥15與保護氣罐7相連，應當理解的是，加熱器14可以對保護氣罐7輸送給前烘室13的保護氣進行加熱，通過加熱后的保護氣對涂層后的基板進行風干和烘干，完成前烘處理。加熱器14可以是直接設置在管道中的發熱金屬絲，也可以是由外部加熱熱質通過氣體散熱的熱交換加熱器。所述前烘室13還連接有由內向外導通的單向閥16，以供前烘室13內的氣體排出本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種特殊涂層系統，其特征在于：包括密閉且相連的進料室(1)、涂層室(2)，所述進料室(1)與涂層室(2)連接處設有第一封閉門(3)，所述進料室(1)通過第一開關閥(4)連接有真空泵(5)、通過第二開關閥(6)連接有保護氣罐(7)、與第一封閉門(3)相對的一側設有第二封閉門(8)；所述涂層室(2)通過第三開關閥(9)與保護氣罐(7)連接、內部設置有與涂層原料供應裝置相連的可三軸移動的涂層噴頭(10)、與第一封閉門(3)相對的一側設置有第三封閉門(11)；還包括基板傳送機構(12)，所述基板傳送機構(12)一側設于第二封閉門(8)外、另一側設于第三封閉門(11)外、中部位于進料室(1)和涂層室(2)內。

【技術特征摘要】
1.一種特殊涂層系統，其特征在于：包括密閉且相連的進料室(1)、涂層室(2)，所述進料室(1)與涂層室(2)連接處設有第一封閉門(3)，所述進料室(1)通過第一開關閥(4)連接有真空泵(5)、通過第二開關閥(6)連接有保護氣罐(7)、與第一封閉門(3)相對的一側設有第二封閉門(8)；所述涂層室(2)通過第三開關閥(9)與保護氣罐(7)連接、內部設置有與涂層原料供應裝置相連的可三軸移動的涂層噴頭(10)、與第一封閉門(3)相對的一側設置有第三封閉門(11)；還包括基板傳送機構(12)，所述基板傳送機構(12)一側設于第二封閉門(8)外、另一側設于第三封閉門(11)外、中部位于進料室(1)和涂層室(2)內。2.根據權利要求1所述的特殊涂層系統，其特征在于：所述涂層室(2)設置第三封閉門(11)的一側還密封連接有密封的前烘室(13)，所述前烘室(13)依次通過加熱器(14)、第四開關閥(15)與保護氣罐(7)相連，所述前烘室(13)還連接有由內向外導通的單向閥(16)，所述前烘室(13)通過第五開關閥(21)與真空泵(5)相連，所述前烘室(13)與第三封閉門(11)相對的一側設置有第四封閉門(17)。3.根據權利要求2所述的特殊涂層系統，其特征在于：所述單...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王宏宇，
申請(專利權)人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：四川,51