一種石英晶片鍍膜治具一體框制造技術

本實用新型專利技術公開了一種石英晶片鍍膜治具一體框，包括：上固定基板，下固定基板，MASK固定框，MASK/SPACER固定框，所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框設置在所述上固定基板和所述下固定基板的中間。本實用新型專利技術將MASK+Spacer整體設計，無層疊無縫隙，從而避免了因組裝造成的晶片偏位現象，各層磁鐵位均勻分布在治具板四周和以晶片工位為幾何中心對稱的周圍位置上，使得每個工位周圍的所輻射的磁力相當，最終使得安裝的石英晶片位置準確穩定且不會晃動，所述石英晶片鍍膜治具框可解決特超薄石英晶片鍍膜，也可推廣應用于較厚的石英晶片鍍膜治具框的設計，可有效防止治具翹曲變形電極鍍膜治具。

An integrated frame of quartz wafer coating fixture

The utility model discloses a quartz wafer coating fixture integrated frame, which comprises an upper fixed base plate, a lower fixed base plate, a mask fixed frame, a mask / spater fixed frame. The mask fixed frame and the mask / spater integrated frame are arranged in the middle of the upper fixed base plate and the lower fixed base plate. The utility model has the overall design of mask + spacer, no lamination and no gap, so as to avoid the wafer deflection caused by assembly. The magnet positions of each layer are evenly distributed around the fixture plate and around the position symmetrical with the wafer station as the geometric center, so that the magnetic force radiated around each station is equivalent, and finally the installed quartz wafer position is accurate and stable without shaking, The quartz wafer coating jig frame can solve the problem of ultra-thin quartz wafer coating, and can also be applied to the design of thicker quartz wafer coating jig frame, which can effectively prevent the jig from warping and deforming the electrode coating jig.

【技術實現步驟摘要】
一種石英晶片鍍膜治具一體框
本技術涉及鍍膜工裝夾具
，尤其涉及一種石英晶片鍍膜治具一體框。
技術介紹
全球化將進入一個新紀元，一個由數據和連接傳遞信息、思想和創新的全新時代，5G將應時而生。大數據、海量連接和場景體驗，滿足未來更廣泛的數據和連接業務需要，提升用戶體驗。通信網絡提速也迫在眉睫，高質量高頻率的基準時鐘一直在研發中。故開發出高頻率基本波產品具有良好的前景，但石英晶片的厚度與頻率成反比，比如80MHz的頻率，基本波石英晶片的厚度約20um，不足一張普通A4紙的1/5厚度，在研究這樣超薄石英晶片在石英晶體諧振器設計中，根據經驗，石英晶片電極鍍膜治具框的設計直接決定該產品研發的成與敗。故我司先設計這種超薄約20um石英晶片新型鍍膜治具框。以往的成套石英晶體鍍膜治具框，包含1片晶片固定框Spacer，2片電極MASK以及兩片夾具蓋板Holder，其中晶片固定框Spacer的厚度是根據石英晶片的厚度設計的，以20um厚度的石英晶片為例，最直接的方案：就是制造20um厚度的固定框Spacer，但是這樣超薄的治具很容易翹曲、彎折、變形，無論制造加工還是后續使用操作性不強。因此，開發一種石英晶片鍍膜治具一體框是所屬
的工程技術人員亟待解決的問題。
技術實現思路
有鑒于此，為增強治具的可制造性和使用可操作性，采用疊加治具厚度的思路，將Spacer和MASK設計在一塊40um基板正反面上，通過雙面半蝕刻技術達到Spacer層和MASK層各20um的厚度效果，本技術的目的在于提供一種石英晶片鍍膜治具一體框。為了達成上述目的，本技術的解決方案是：一種石英晶片鍍膜治具一體框，包括：上固定基板，所述上固定基板為矩形，所述上固定基板設有多個方形晶片工位槽、多個磁鐵工位槽、左右各一個第一定位孔和兩個矩形空白窗；下固定基板，所述下固定基板與所述上固定基板形狀相同，所述下固定基板上對應設置有與所述上固定基板相同的多個所述方形晶片工位槽、多個所述磁鐵工位槽、兩個所述矩形空白窗、左右各一個所述第一定位孔和與兩個所述第一定位孔相匹配的銷釘；MASK固定框，所述MASK固定框上對應所述晶片工位槽位置設置有多個MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；MASK/Spacer一體固定框，所述MASK/SPACER框上對應所述晶片工位槽位置設置有多個MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一體框設置在所述MASK固定框的下部；所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框設置在所述上固定基板和所述下固定基板的中間。優選地，所述磁鐵位槽均勻分布在所述上固定基板和所述下固定基板上的多個所述方形晶片工位槽為幾何中心對稱的周圍位置上。優選地，所述上固定基板和所述下固定基板上的多個所述磁鐵工位槽分別貫穿所述上固定基板和所述下固定基板，每個所述磁鐵工位槽中分別固定設置有強力磁鐵。優選地，所述MASK/SPACER一體框和所述MASK固定框對應多個所述磁鐵工位槽位置設置有多個鏤空方槽。優選地，還包括兩個第二定位孔，兩個所述第二定位孔分別設置在所述上固定基板和所述下固定基板的上下側中間位置。優選地，所述上固定基和所述下固定基板一側的兩個所述矩形空白窗并排設置并位于所述第一定位孔的兩側。優選地，兩個所述第一定位孔和兩個所述第二定位孔分別貫穿所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框。優選地，所述上固定基板和所述下固定基板均為不銹鋼材料制做。本技術的優點在于：本技術將Spacer、MASK作為整體設計，利用兩者疊加的厚度，選擇合適的基板材質和厚度，不僅有效防止治具彎曲變形，同時MASK+Spacer整體設計，無層疊無縫隙，從而避免了因組裝造成的晶片偏位現象，各層磁鐵位均勻分布在治具板四周和以晶片工位為幾何中心對稱的周圍位置上，使得每個工位周圍的所輻射的磁力相當，最終使得安裝的石英晶片位置準確穩定且不會晃動。所述石英晶片鍍膜治具框可解決特超薄石英晶片鍍膜，也可推廣應用于較厚的石英晶片鍍膜治具框的設計，可有效防止治具翹曲變形電極鍍膜治具。附圖說明為了更清楚地說明本技術實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本技術的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。圖1為本技術一種石英晶片鍍膜治具框實施例平面圖；圖(1A)為本技術一種石英晶片鍍膜治具框實施例下固定基板圖；圖(1B)為本技術一種石英晶片鍍膜治具框實施例上固定基板圖；圖2為本技術一種石英晶片鍍膜治具框實施例MASK+Spacer一體框平面圖；圖(2A)為本技術一種石英晶片鍍膜治具框實施例MASK+Spacer局部剖面放大圖；圖3為本技術本技術一種石英晶片鍍膜治具框實施例MASK平面圖；圖(3A)為本技術一種石英晶片鍍膜治具框實施例MASK局部放大圖。上述說明書中附圖標記表示說明：1、下固定基板；2、磁鐵工位槽；3、方形晶片工位槽；4、第一定位孔；5、第二定位孔；6、矩形空白窗。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。需要說明的是，在不沖突的情況下，本技術中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面結合附圖和具體實施例對本技術作進一步說明，但不作為本技術的限定。如圖1所示，本技術較佳的實施例中，根據現有技術存在的問題，現提供一種石英晶片鍍膜治具框，包括：上固定基板，上固定基板為矩形，上固定基板設有多個方形晶片工位槽3、多個磁鐵工位槽2、左右各一個第一定位孔4和兩個矩形空白窗6；下固定基板1，下固定基板與上固定基板形狀相同，下固定基板1上對應設置有與上固定基板相同的多個方形晶片工位槽3、多個磁鐵工位槽2、兩個矩形空白窗6、左右各一個第一定位孔4和與兩個第一定位孔1相匹配的銷釘；MASK固定框，所述MASK固定框上對應方形晶片工位槽3位置設置有多個MASK工位槽，MASK固定框位于下固定基板1的下部；MASK/Spacer一體固定框，MASK/SPACER框上對應方形晶片工位槽3位置設置有多個MASK/SPACER工位槽，MASK/SPACER一體框設置在MASK固定框的下部；所述MASK固定框和MASK/SPACER一體框設置在上固定基板和下固定基板1的中間。本技術較佳的本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，包括：/n上固定基板，所述上固定基板為矩形，所述上固定基板設有多個方形晶片工位槽、多個磁鐵工位槽、左右各一個第一定位孔和兩個矩形空白窗；/n下固定基板，所述下固定基板與所述上固定基板形狀相同，所述下固定基板上對應設置有與所述上固定基板相同的多個所述方形晶片工位槽、多個所述磁鐵工位槽、兩個所述矩形空白窗、左右各一個所述第一定位孔和與兩個所述第一定位孔相匹配的銷釘；/nMASK固定框，所述MASK固定框上對應所述方形晶片工位槽位置設置有多個MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；/nMASK/Spacer一體固定框，所述MASK/SPACER框上對應所述方形晶片工位槽位置設置有多個MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一體框設置在所述MASK固定框的下部；/n所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框設置在所述上固定基板和所述下固定基板的中間。/n

【技術特征摘要】
1.一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，包括：
上固定基板，所述上固定基板為矩形，所述上固定基板設有多個方形晶片工位槽、多個磁鐵工位槽、左右各一個第一定位孔和兩個矩形空白窗；
下固定基板，所述下固定基板與所述上固定基板形狀相同，所述下固定基板上對應設置有與所述上固定基板相同的多個所述方形晶片工位槽、多個所述磁鐵工位槽、兩個所述矩形空白窗、左右各一個所述第一定位孔和與兩個所述第一定位孔相匹配的銷釘；
MASK固定框，所述MASK固定框上對應所述方形晶片工位槽位置設置有多個MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；
MASK/Spacer一體固定框，所述MASK/SPACER框上對應所述方形晶片工位槽位置設置有多個MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一體框設置在所述MASK固定框的下部；
所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框設置在所述上固定基板和所述下固定基板的中間。


2.根據權利要求1所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，所述磁鐵工位槽均勻分布在所述上固定基板和所述下固定基板上的多個所述方形晶片工位槽為幾何中心對稱的周圍位置上。

【專利技術屬性】
技術研發人員：辜達元，郭正江，周萬華，
申請(專利權)人：杭州鴻星電子有限公司，
類型：新型
國別省市：浙江;33