有機圖像傳感器制造技術

提供了一種有機圖像傳感器。有機圖像傳感器包括包含彼此間隔開的多個第一電極的像素電極。有機圖像傳感器包括包含突出超過所述多個第一電極的表面的突出部的絕緣區。有機圖像傳感器包括在像素電極和絕緣區的突出部上的有機光電轉換層。此外，有機圖像傳感器包括與像素電極相對并且在有機光電轉換層上的第二電極。

Organic image sensor

An organic image sensor is provided. The organic image sensor includes a pixel electrode including a plurality of first electrodes spaced apart from each other. The organic image sensor includes an insulating region containing projections protruding beyond the surfaces of the plurality of first electrodes. The organic image sensor includes an organic photoelectric conversion layer on the pixel electrode and the protrusion of the insulating region. In addition, the organic image sensor includes a second electrode opposite to the pixel electrode and on the organic photoelectric conversion layer.

【技術實現步驟摘要】
有機圖像傳感器
本公開涉及圖像傳感器。
技術介紹
為了獲得高分辨率圖像，圖像傳感器(或固態成像器件)中的像素數量已增加。在圖像傳感器中，當像素的尺寸減小時，光電器件的光接收區域會縮小，因而光學靈敏度會降低。因此，堆疊有機圖像傳感器已作為一種圖像傳感器被提出，在堆疊有機圖像傳感器中，有機光電器件堆疊在形成于半導體基板上的半導體光電器件上。有機圖像傳感器中的有機光電器件可以包括有機光電轉換層。
技術實現思路
本專利技術構思提供了一種有機圖像傳感器，其包括在有機光電轉換層與絕緣層和/或電極之間具有提高的粘附力的有機光電器件。提高的粘附力可以提高有機圖像傳感器的制造產量和/或有機圖像傳感器的可靠性。根據本專利技術構思的一些實施方式，一種有機圖像傳感器可以包括包含彼此間隔開的多個第一電極的像素電極。該有機圖像傳感器可以包括絕緣區，該絕緣區包括突出超過所述多個第一電極的表面的突出部。該有機圖像傳感器可以包括在像素電極和絕緣區的突出部上的有機光電轉換層。此外，該有機圖像傳感器可以包括與像素電極相對并且在有機光電轉換層上的第二電極。根據本專利技術構思的一些實施方式，一種有機圖像傳感器可以包括半導體基板。該有機圖像傳感器可以包括在半導體基板上的像素電路。該有機圖像傳感器可以包括在像素電路上的層間絕緣層。該有機圖像傳感器可以包括有機光電器件。該有機光電器件可以包括像素電極，該像素電極包括彼此間隔開并且通過層間絕緣層上的隔離絕緣層彼此絕緣的多個第一電極。該有機光電器件可以包括從所述多個第一電極之間的隔離絕緣層的表面突出的脊部。該有機光電器件可以包括在像素電極和脊部上的有機光電轉換層。該有機光電器件可以包括對向電極，該對向電極與像素電極相對并且包括在有機光電轉換層上的第二電極。此外，該有機圖像傳感器可以包括通路電極，該通路電極在層間絕緣層中并且將像素電路電連接到像素電極。根據本專利技術構思的一些實施方式，一種有機圖像傳感器可以包括半導體基板。該有機圖像傳感器可以包括在半導體基板上的半導體光電器件。該有機圖像傳感器可以包括電連接到半導體基板上的半導體光電器件的第一像素電路。該有機圖像傳感器可以包括有機光電器件，該有機光電器件堆疊在半導體光電器件上并且包括有機光電轉換層。此外，該有機圖像傳感器可以包括電連接到半導體基板上的有機光電器件的第二像素電路。該有機光電器件可以包括包含多個第一電極的像素電極。該有機光電器件可以包括絕緣區，該絕緣區包括在所述多個第一電極之間的第一部分和向上突出超過所述多個第一電極的各上表面的突出的第二部分。有機光電轉換層可以在像素電極和絕緣區的突出的第二部分上。絕緣區的第一部分可以包括使所述多個第一電極彼此隔離的隔離絕緣層。此外，該有機光電器件可以包括與像素電極相對并且在有機光電轉換層上的第二電極。附圖說明本專利技術構思的實施方式將由以下結合附圖的詳細描述被更清楚地理解，附圖中：圖1是根據本專利技術構思的一些實施方式的包括有機圖像傳感器的圖像處理裝置的框圖；圖2是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器的像素的俯視圖；圖3是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器的一部分的剖視圖；圖4是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器的一部分的放大圖；圖5是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器的一部分的放大圖；圖6A和圖6B是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機光電器件的脊部的剖面形狀的視圖；圖7A和圖7B是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器中的像素電路的電路圖；圖8A至圖8C是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器中的像素電路的電路圖；圖9是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器的一部分的剖視圖；圖10A至圖10F是示出根據本專利技術構思的一些實施方式的制造有機光電器件的方法的剖視圖；以及圖11是可應用根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器的電子設備的框圖。具體實施方式圖1是根據本專利技術構思的一些實施方式的包括有機圖像傳感器的圖像處理裝置1的框圖。參照圖1，圖像處理裝置1可以包括有機圖像傳感器10和圖像處理器20。有機圖像傳感器10可以包括像素陣列11、行驅動器12、列驅動器13、時序控制器14和讀出電路15。有機圖像傳感器10可以根據圖像處理器20的控制命令操作。有機圖像傳感器10可以將從對象30反射或透射的光轉換成電信號，并將電信號輸出到圖像處理器20。有機圖像傳感器10中的像素陣列11可以包括多個像素PX。每個像素PX可以包括接收光以產生電荷的光電器件。在一些實施方式中，光電器件可以包括有機光電器件。在一些實施方式中，光電器件還可以包括半導體光電器件。有機圖像傳感器10可以是堆疊圖像傳感器，其中有機光電器件堆疊在形成于半導體基板中的半導體光電器件上或者多個有機光電器件堆疊在半導體基板上。有機光電器件可以包括像素電極、有機光電轉換層和對向電極。有機光電轉換層可以是有機光電二極管。半導體光電器件可以包括半導體光電轉換層。半導體光電轉換層可以是諸如硅光電二極管的半導體光電二極管。稍后將在本文中更詳細地描述有機光電器件和半導體光電器件。在一些實施方式中，每個像素PX可以包括兩個或更多個光電器件，并且一個像素PX中的兩個或更多個光電器件可以接收不同顏色的光以產生電荷。每個像素PX可以包括用于從由光電器件產生的電荷產生電信號的像素電路。在一些實施方式中，像素電路可以包括傳輸晶體管、驅動晶體管、選擇晶體管、重置晶體管等。當一個像素PX具有兩個或更多個光電器件時，每個像素PX可以包括用于處理該兩個或更多個光電器件的每個所產生的電荷的像素電路。行驅動器12可以以行為單位驅動像素陣列11。例如，行驅動器12可以產生用于控制每個像素PX的傳輸晶體管的傳輸控制信號、用于控制每個像素PX的重置晶體管的重置控制信號、用于控制每個像素PX的選擇晶體管的選擇控制信號等。列驅動器13可以包括相關雙采樣器(CDS)、模數轉換器(ADC)等。CDS可以從由行驅動器12所提供的行選擇信號選擇的行中的像素PX接收信號，并執行相關雙采樣。模數轉換器可以將CDS的輸出轉換成數字信號，并將數字信號傳送到讀出電路15。讀出電路15可以包括能夠臨時存儲數字信號的鎖存器或緩沖電路、放大電路等。讀出電路15可以臨時存儲或放大從列驅動器13接收的數字信號以生成圖像數據。行驅動器12、列驅動器13和讀出電路15的操作時序可以由時序控制器14確定。時序控制器14可以響應于從圖像處理器20發送的控制命令而操作。圖像處理器20可以處理由讀出電路15傳輸的圖像數據，并且可以將處理后的圖像數據輸出到顯示裝置等，或者將處理后的圖像數據存儲在諸如存儲器的存儲裝置中。圖2是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器10a的像素的俯視圖，圖3是根據本專利技術構思的一些實施方式的有機圖像傳感器10a的一部分的剖視圖。參照圖2和圖3，有機圖像本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種有機圖像傳感器，包括：/n像素電極，包括彼此間隔開的多個第一電極；/n絕緣區，包括突出超過所述多個第一電極的表面的突出部；/n有機光電轉換層，在所述像素電極和所述絕緣區的所述突出部上；以及第二電極，與所述像素電極相對并且在所述有機光電轉換層上。/n

【技術特征摘要】
20180604 KR 10-2018-00644831.一種有機圖像傳感器，包括：
像素電極，包括彼此間隔開的多個第一電極；
絕緣區，包括突出超過所述多個第一電極的表面的突出部；
有機光電轉換層，在所述像素電極和所述絕緣區的所述突出部上；以及第二電極，與所述像素電極相對并且在所述有機光電轉換層上。


2.根據權利要求1所述的有機圖像傳感器，其中所述絕緣區還包括隔離絕緣層，所述隔離絕緣層在所述多個第一電極之間，以使所述多個第一電極彼此隔離。


3.根據權利要求2所述的有機圖像傳感器，其中所述絕緣區的所述突出部在所述隔離絕緣層上。


4.根據權利要求2所述的有機圖像傳感器，還包括層間絕緣層，所述層間絕緣層在所述像素電極和所述隔離絕緣層下方。


5.根據權利要求1所述的有機圖像傳感器，其中所述表面包括所述多個第一電極的彼此共面的各表面。


6.根據權利要求1所述的有機圖像傳感器，其中所述第二電極包括單層。


7.根據權利要求1所述的有機圖像傳感器，還包括在所述第二電極上的抗反射層和聚光透鏡層。


8.根據權利要求1所述的有機圖像傳感器，其中所述有機光電轉換層包括第一凸起部，所述第一凸起部從所述有機光電轉換層的表面突出并且重疊所述絕緣區的所述突出部。


9.根據權利要求8所述的有機圖像傳感器，其中所述第二電極包括第二凸起部，所述第二凸起部從所述第二電極的表面突出并且重疊所述絕緣區的所述突出部和所述第一凸起部。


10.一種有機圖像傳感器，包括：
半導體基板；
在所述半導體基板上的像素電路；
在所述像素電路上的層間絕緣層；
有機光電器件，包括：
像素電極，包括彼此間隔開并且通過所述層間絕緣層上的隔離絕緣層彼此絕緣的多個第一電極；
脊部，從所述多個第一電極之間的所述隔離絕緣層的表面突出；
有機光電轉換層，在所述像素電極和所述脊部上；和
對向電極，與所述像素電極相對并且包括在所述有機光電轉換層上的第二電極；以及
通路電極，在所述層間絕緣層中并且將所述像素電路電連接到所述像素電極。


11.根據權利要求10所述的有機圖像傳感器，
其中所述多個第一電極的各上表面彼此共面，以及
其中所述脊部向上突出超過所述多個第一電極的所述各上表面。


12.根據權利要求10所述的有機圖像傳感器，其中所述多個第一電極的上表...

【專利技術屬性】
技術研發人員：崔珉準，金寬植，李范碩，林海敏，趙萬根，
申請(專利權)人：三星電子株式會社，
類型：發明
國別省市：韓國;KR