一種掩膜版清洗系統夾具及其使用方法技術方案

本發明專利技術公開了一種掩膜版清洗系統夾具及其使用方法，包括框架主體，所述框架主體包括底板和設置在底板頂部兩側的第一架體和第二架體，第二架體與底板焊接，所述底板上還設有第一驅動機構，第一驅動機構的輸出端與第一架體連接，第一驅動機構能夠驅動第一架體朝著遠離第二架體方向移動，所述架體上均設有縱向傳輸機構，第一架體和第二架體之間還設有橫向傳輸機構，所述第一架體和第二架體上還設有升降絲桿，并且升降絲桿與縱向傳輸機構連接，升降絲桿能夠帶動縱向傳輸沿著豎直方向移動；還包括設置在第一架體上的控制器，所述第一驅動機構、升降絲桿、縱向傳輸機構、橫向傳輸機構均與控制器連接。

A kind of clamp for mask cleaning system and its usage

【技術實現步驟摘要】
一種掩膜版清洗系統夾具及其使用方法
本專利技術涉及掩膜版清洗
，具體涉及一種掩膜版清洗系統夾具及其使用方法。
技術介紹
OLED制程蒸鍍封裝設備腔體內關鍵部件掩膜版在長時間使用過程中，表面會沉積一層蒸鍍膜，膜厚達到一定程度時會脫落，進而影響腔體整體氛圍，導致蒸鍍不良的產生。所以，為保證面板制程良率，掩膜版需要進行周期性的精密再生。目前，掩膜版清洗產線夾具只能應對一種尺寸產品，即只能裝載特定的掩膜版卡匣，若客戶端產品變更、世代線升級、或面對新客戶時，現有掩膜版清洗產線夾具將無法應對，需進行改造或重新配置適合產品尺寸的掩膜版清洗產線夾具。產線設備改造周期長、成本高且會影響生產進程，而配置新掩膜版清洗產線夾具也無法應對多種世代線掩膜版，還會占據產線空間，使工藝路線變得繁瑣，大大減弱生產效率。
技術實現思路
本專利技術所要解決的技術問題是克服現有技術中的不足，目的在于提供一種掩膜版清洗系統夾具及其使用方法，能夠適用于不同尺寸的掩膜版使用。本專利技術通過下述技術方案實現：一種掩膜版清洗系統夾具及其使用方法，包括框架主體，所述框架主體包括底板和設置在底板頂部兩側的第一架體和第二架體，第二架體與底板焊接，所述底板上還設有第一驅動機構，第一驅動機構的輸出端與第一架體連接，第一驅動機構能夠驅動第一架體朝著靠近或遠離第二架體方向移動，所述架體上均設有縱向傳輸機構，第一架體和第二架體之間還設有橫向傳輸機構，所述第一架體和第二架體上還設有升降絲桿，并且升降絲桿與縱向傳輸機構連接，升降絲桿能夠帶動縱向傳輸機構沿著豎直方向移動；還包括設置在第一架體上的控制器，所述第一驅動機構、升降絲桿、縱向傳輸機構、橫向傳輸機構均與控制器連接。本專利技術利用設置的第一驅動機構能夠調節第一架體和第二架體之間的間距，保證待清洗的掩膜版能夠放置在縱向輸送機構上，從而使得縱向輸送機構能夠順利將裝有掩膜版的卡匣送達至清洗機械手抓取位置，同時設置的橫向傳輸機構能夠保證待輸送的掩膜版位于第一架體和第二架體的中間，使得掩膜版卡匣的兩側能夠均勻放置在兩個縱向輸送機構上，保證掩膜版能夠位于框架主體的中央位置處，從而使得后續的機器手能夠順利夾持抓取掩膜版。進一步地，所述底板的一端還設有對位塊，對位塊上設有凹槽，凹槽內設有第一傳感器，第一傳感器與控制器連接，并且與縱向傳輸機構聯動。現有的移動手推車下端設有對位裝置，當移動手推車的對位裝置與夾具下端對位凹槽完成對位，第一傳感器能夠感應到，并且發送信號至控制器，提醒有需要待清洗的掩膜版需要送入至框架主體內。進一步地，所述橫向傳輸機構包括橫向軌道、若干第一滾輪、第一皮帶、第三驅動機構，所述第一滾輪依次分布在橫向軌道上，所述第一皮帶分別與第一滾輪和第三驅動機構連接，第三驅動機構能夠帶動第一滾輪在橫向軌道上轉動，所述第三驅動機構與控制器連接；所述縱向傳輸機構包括縱向軌道、若干第二滾輪、第二皮帶、第四驅動機構，所述第二滾輪依次分布在縱向軌道上，所述第二皮帶依次與第二滾輪和第四驅動機構連接，第四驅動機構能夠帶動第二滾輪在縱向軌道上轉動，所述縱向軌道的側壁通過螺紋與升降絲桿連接，所述第四驅動機構與控制器連接。設置的橫向傳輸機構的作用是調節卡匣在水平方向上的位置，保證卡匣能夠精準進入至框架主體內，具體地，控制器發生信號至第三驅動機構，根據掩膜版的尺寸來控制第三驅動機構的正轉或者反轉，迫使第一滾輪跟著正轉或者反轉，來調節掩膜版卡匣在橫向軌道上的位置，保證掩膜版的一側能夠放置在第二架體上的縱向軌道上；而設置的縱向傳輸機構的作用是將放置在橫向傳輸機構上的掩膜版卡匣送入至框架主體內，保證下一道工序的機械手能夠順利抓取到卡匣內掩膜版，具體地，控制器控制第四驅動機構工作，第四驅動機構帶動第二滾輪轉動，將位于橫向輸送機構上的掩膜版卡匣沿著縱向軌道移動至框架主體內。進一步地，所述第一架體和第二架體為相同結構，第一架體和第二架體均包括頂板和三根支柱，三根支柱的頂端均與頂板的底部連接，所述頂板的頂部還設有第五驅動機構，第五驅動機構與控制器連接，第五驅動機構的輸出端與升降絲桿連接，所述第一驅動機構的輸出端與第一架體中間的支柱連接。本技術方案中的第一架體和第二架體結構相同，第二架體的三根支柱是固定在底板上的，并且橫向軌道也與支柱固定，而第一架體與底板并不是固定在一起，第一架體中間的支柱與第一驅動機構連接，使得第一驅動機構能夠驅動第一架體朝著靠近或遠離第二架體方向移動，來改變第一架體與第二架體之間的間距，從而改變了兩個縱向輸送機構之間的間距，保證兩個縱向輸送機構與待清洗的掩膜版卡匣相匹配；設置的升降絲桿與縱向軌道通過螺紋連接，當控制器控制第五驅動機構工作時，第五驅動機構帶動絲桿轉動，迫使橫向軌道沿著絲桿移動，來調節橫向傳動機構的高度，使得下一道工序中的機器手能夠順利夾持住縱向軌道上卡匣內的掩膜版。進一步地，所述支柱上分別設有第二傳感器、第三傳感器以及第四傳感器，第二傳感器、第三傳感器以及第四傳感器均與控制器連接。設置的第二傳感器用于感應縱向輸送機構上是否有掩膜版卡匣，并且發送信號至控制器，控制器控制縱向輸送機構開始工作；掩膜版卡匣在縱向輸送機構上移動時，當掩膜版卡匣移動至第三傳感器時，第三傳感器感應到掩膜版卡匣，然后第三傳感器發生信號至控制器，控制器控制縱向輸送機構減速，當掩膜版卡匣移動至第四傳感器時，第四傳感器感應到掩膜版卡匣，并且發送信號至控制器，控制器控制縱向輸送機構停止，保證掩膜版卡匣移動到位。進一步地，所述第一架體和第二架體的其中一個支柱的頂部均設有豎板，所述豎板上還設有第五傳感器，并且第五傳感器與控制器連接。設置的第五傳感器用于感應卡匣內放置掩膜版的層數，當升降絲桿帶動縱向傳輸機構朝上移動時，設置在豎板上的第五傳感器依次感應到卡匣內個層的掩膜版，再次確認每層掩膜版有無及ID信息。進一步地，所述第一架體和第二架體之間還設有橫板，橫板與第二架體的支柱焊接，所述橫板上還設有第二掃碼器，所述橫向傳輸機構的橫向軌道側壁上還設有第一掃碼器，第二架體的其中一個支柱上還設有第三掃碼器，所述第二架體的頂板上還設有第四掃碼器，所述第一掃碼器、第二掃碼器、第三掃碼器、第四掃碼器均與控制器連接。所述底板的頂部還設有第二驅動機構，第二驅動機構的輸出端也與第一架體中間的支柱連接。設置的第一掃碼器、第二掃碼器、第三掃碼器、第四掃碼器均為現有技術，利用掃描二維碼來獲取信息，當手推車與對位塊對接時，第一傳感器感應并且發生信號至控制器，控制器再控制第一掃碼器開始工作，掃描手推車上的二維碼，識別放置在手推車內掩膜版的尺寸數據，進而調節兩個縱向輸送機構之間的間距；當第四傳感器感應到掩膜版卡匣時，第四傳感器發送信號至控制器，控制器控制縱向輸送機構停止工作的同時，發送信號至第四掃碼器，第四掃碼器掃描卡匣上的二維碼，識別卡匣信息，然后控制器控制第二驅動機構，根據識別的卡匣信息進行精定位，本技術方案中設置的第一驅動機構用于初步定位，而設置的第二驅動機構用于精定位；設置的第二掃碼器用于識別掩膜版上二維碼本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種掩膜版清洗系統夾具，其特征在于，包括框架主體，所述框架主體包括底板(15)和設置在底板(15)頂部兩側的第一架體(16)和第二架體(19)，第二架體(19)與底板(15)焊接，所述底板(15)上還設有第一驅動機構(3)，第一驅動機構(3)的輸出端與第一架體(16)連接，第一驅動機構(3)能夠驅動第一架體(16)朝著靠近或遠離第二架體(19)方向移動，所述架體(16)上均設有縱向傳輸機構(2)，第一架體(16)和第二架體(19)之間還設有橫向傳輸機構(1)，所述第一架體(16)和第二架體(19)上還設有升降絲桿(6)，并且升降絲桿(6)與縱向傳輸機構(2)連接，升降絲桿(6)能夠帶動縱向傳輸機構(2)沿著豎直方向移動；/n還包括設置在第一架體(16)上的控制器，所述第一驅動機構(3)、升降絲桿(6)、縱向傳輸機構(2)、橫向傳輸機構(1)均與控制器連接。/n

【技術特征摘要】
1.一種掩膜版清洗系統夾具，其特征在于，包括框架主體，所述框架主體包括底板(15)和設置在底板(15)頂部兩側的第一架體(16)和第二架體(19)，第二架體(19)與底板(15)焊接，所述底板(15)上還設有第一驅動機構(3)，第一驅動機構(3)的輸出端與第一架體(16)連接，第一驅動機構(3)能夠驅動第一架體(16)朝著靠近或遠離第二架體(19)方向移動，所述架體(16)上均設有縱向傳輸機構(2)，第一架體(16)和第二架體(19)之間還設有橫向傳輸機構(1)，所述第一架體(16)和第二架體(19)上還設有升降絲桿(6)，并且升降絲桿(6)與縱向傳輸機構(2)連接，升降絲桿(6)能夠帶動縱向傳輸機構(2)沿著豎直方向移動；
還包括設置在第一架體(16)上的控制器，所述第一驅動機構(3)、升降絲桿(6)、縱向傳輸機構(2)、橫向傳輸機構(1)均與控制器連接。


2.根據權利要求1所述的一種掩膜版清洗系統夾具，其特征在于，所述底板(15)的一端還設有對位塊(5)，對位塊(5)上設有凹槽，凹槽內設有第一傳感器，第一傳感器與控制器連接。


3.根據權利要求1所述的一種掩膜版清洗系統夾具，其特征在于，所述橫向傳輸機構(1)包括橫向軌道、若干第一滾輪、第一皮帶、第三驅動機構，所述第一滾輪依次分布在橫向軌道上，所述第一皮帶分別與第一滾輪和第三驅動機構連接，第三驅動機構能夠帶動第一滾輪在橫向軌道上轉動，所述第三驅動機構與控制器連接；
所述縱向傳輸機構(2)包括縱向軌道、若干第二滾輪、第二皮帶、第四驅動機構，所述第二滾輪依次分布在縱向軌道上，所述第二皮帶依次與第二滾輪和第四驅動機構連接，第四驅動機構能夠帶動第二滾輪在縱向軌道上轉動，所述縱向軌道的側壁通過螺紋與升降絲桿(6)連接，所述第四驅動機構與控制器連接。


4.根據權利要求1所述的一種掩膜版清洗系統夾具，其特征在于，所述第一架體(16)和第二架體(19)為相同結構，第一架體(16)和第二架體(19)均包括頂板(17)和三根支柱(18)，三根支柱(18)的頂端均與頂板(17)的底部連接，所述頂板(17)的頂部還設有第五驅動機構，第五驅動機構與控制器連接，第五驅動機構的輸出端與升降絲桿(6)連接，所述第一驅動機構(3)的輸出端與第一架體(16)中間的支柱(18)連接。


5.根據權利要求4所述的一種掩膜版清洗系統夾具，其特征在于，所述支柱(18)上分別設有第二傳感器(11)、第三傳感器(12)以及第四...

【專利技術屬性】
技術研發人員：羅雪春，胡家銘，王宏宇，王照忠，萬長明，
申請(專利權)人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：發明
國別省市：四川;51