一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置，包括截面為矩形結(jié)構(gòu)的槽體和氣泵，所述槽體其中兩個相對的內(nèi)壁上均設(shè)有固定板，另外兩個相對的內(nèi)部上均設(shè)有活動板，活動板能夠在槽體的內(nèi)壁上沿著水平面轉(zhuǎn)動，所述固定板的側(cè)壁上均設(shè)有若干固定噴嘴，活動板的兩側(cè)均設(shè)有若干波紋管，波紋管均能夠縮回至活動板內(nèi)，所述波紋管內(nèi)設(shè)有第二空腔，所述第二空腔內(nèi)設(shè)有一端為封閉結(jié)構(gòu)的第一空腔；所述氣泵的輸出端設(shè)有第一輸氣管和第二輸氣管，第一輸氣管中的氣體能夠通過固定噴嘴和波紋管吹出，第二輸氣管中的氣體能夠進(jìn)入至第一空腔內(nèi)，波紋管的第一空腔內(nèi)充氣后能夠朝著固定噴嘴方向拉伸。

An air curtain isolation device based on mask cleaning application

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置
本專利技術(shù)涉及掩膜版清洗設(shè)備
，具體涉及一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置。
技術(shù)介紹
隨著半導(dǎo)體制造工藝的發(fā)展，半導(dǎo)體芯片的面積越來越小，因此半導(dǎo)體工藝的精度也變得更加重要。掩膜版在制作過程中，需要使用將裝有掩膜版工件的洗籃放入至清洗槽內(nèi)浸泡一段時間，以便去除附著在掩膜版工件上的雜質(zhì)，但是，由于清洗槽內(nèi)盛放著具有揮發(fā)性的化學(xué)液體，掩膜版在浸泡的過程中，揮發(fā)性溶液容易從清洗槽內(nèi)揮發(fā)出來，通常是在槽體的內(nèi)壁上設(shè)置若干噴氣嘴，噴氣嘴與氣泵連接，高壓氣泵產(chǎn)生的高壓氣體從噴氣嘴噴出形成氣幕，用于對清洗槽內(nèi)的揮發(fā)性溶液進(jìn)行隔離，避免揮發(fā)性至外界，污染環(huán)形，但是由于清洗槽為了便于放置清洗籃，池體的截面尺寸較大，這種結(jié)構(gòu)氣壓隨噴氣嘴的距離增加而減小，導(dǎo)致槽體中央?yún)^(qū)域的密封性不足，揮發(fā)性溶液容易從該區(qū)域揮發(fā)出來。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，目的在于提供一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置，便于將清洗籃放入至槽體內(nèi)的同時，能夠提高對揮發(fā)性溶液的密封效果。本專利技術(shù)通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置，包括截面為矩形結(jié)構(gòu)的槽體和氣泵，所述槽體其中兩個相對的內(nèi)壁上均設(shè)有固定板，另外兩個相對的內(nèi)部上均設(shè)有活動板，活動板能夠在槽體的內(nèi)壁上沿著水平面轉(zhuǎn)動，所述固定板的側(cè)壁上均設(shè)有若干固定噴嘴，活動板的兩側(cè)均設(shè)有若干波紋管，波紋管均能夠縮回至活動板內(nèi)，所述波紋管內(nèi)設(shè)有第二空腔，所述第二空腔內(nèi)設(shè)有一端為封閉結(jié)構(gòu)的第一空腔；所述氣泵的輸出端設(shè)有第一輸氣管和第二輸氣管，第一輸氣管中的氣體能夠通過固定噴嘴和波紋管吹出，第二輸氣管中的氣體能夠進(jìn)入至第一空腔內(nèi)，波紋管的第一空腔內(nèi)充氣后能夠朝著固定噴嘴方向拉伸。本專利技術(shù)在對清洗籃內(nèi)的掩膜版進(jìn)行浸泡清洗時，由于設(shè)置的兩根活動板能夠在池體內(nèi)轉(zhuǎn)動，使其旋轉(zhuǎn)90°，與槽體的內(nèi)壁接觸，從而使得清洗籃能夠順利放入至槽體內(nèi)，待清洗籃放入至槽體內(nèi)后，再將兩個活動板旋轉(zhuǎn)至初始位置，使得兩個活動板位于同一直線上，利用氣泵產(chǎn)生的高壓氣流分別進(jìn)入至固定板上的固定噴嘴和活動板上的波紋管，高壓氣流從固定噴嘴和活動噴嘴上噴出，相互之間形成氣幕，從而能夠隔離下方的揮發(fā)性溶液揮發(fā)出來；同時氣泵產(chǎn)生的氣流進(jìn)入至第一空腔內(nèi)，高壓氣體對第二空腔產(chǎn)生作用力，利用波紋管具有伸縮的特性，迫使波紋管能夠朝著固定噴嘴方向發(fā)生拉伸，再不影響氣密性的前提下，能夠減小波紋管與固定噴嘴之間的間距，進(jìn)一步提高波紋管與固定噴嘴對揮發(fā)性溶液的密封效果，避免池體的長度較長，導(dǎo)致池體中央位置處的密封性較差，第一輸氣管和第二輸氣管內(nèi)均設(shè)有閥門，用于控制噴嘴噴出氣流的開啟與關(guān)閉。進(jìn)一步地，所述固定板和活動板均為四個，四個固定板均勻地分布在槽體其中兩個相對的內(nèi)壁上，四個活動板均勻地分布在槽體另外兩個相對的內(nèi)壁上，并且活動板與固定板位于同一水平面上。將固定板和活動板設(shè)置為四個的目的是使得槽體內(nèi)能夠形成上下兩層的氣幕，并且同一內(nèi)壁上的兩個固定板的間距大于清洗籃的高度，同一內(nèi)壁上的兩個活動板之間的間距也大于清洗籃的高度，傳統(tǒng)的清洗槽只設(shè)置了一層的氣幕，使得在放置或者取出清洗籃的過程中，一部分的揮發(fā)性溶液能夠與清洗籃與氣幕之間的間隙出揮發(fā)出來，而本技術(shù)方案由于設(shè)置有上下兩層的氣幕，清洗籃在放入至槽體內(nèi)時，先將上層的兩個活動板旋轉(zhuǎn)，使得清洗籃先進(jìn)入至槽體內(nèi)，并且此時清洗籃位于下方氣幕的上方，然后再重新將上層的活動板恢復(fù)至初始位置，保證清洗籃的上方氣幕重新形成，接著再將下層的兩個活動板旋轉(zhuǎn)，使得清洗籃能夠浸泡至槽體內(nèi)的溶液內(nèi)，最后重新將下層的兩個活動板恢復(fù)至初始位置，保證下層的氣幕也重新形成，因此，設(shè)置兩層氣幕既能夠提高對揮發(fā)性溶液的密封效果，而且還保證了在放置和取出清洗籃的過程中，揮發(fā)性溶液不易泄漏。進(jìn)一步地，所述槽體的側(cè)壁兩側(cè)均設(shè)有兩個電機(jī)，電機(jī)的輸出端上均蝸桿，所述蝸桿上設(shè)有與蝸桿匹配的渦輪，所述渦輪的圓心處設(shè)有轉(zhuǎn)動軸，轉(zhuǎn)動軸一端與渦輪連接，另一端與活動板連接。設(shè)置的四個電機(jī)分別與四個活動板一一對應(yīng)，即每個電機(jī)上的渦輪與每個活動板上的轉(zhuǎn)動軸連接，各個電機(jī)能夠獨(dú)立控制活動板的旋轉(zhuǎn)，從而使得槽體內(nèi)上的上下兩側(cè)氣幕能夠獨(dú)立開啟，相互之間沒有干擾，從而保證清洗籃能夠順利放入至槽體內(nèi)。進(jìn)一步地，所述活動板的內(nèi)部設(shè)有第一腔體，波紋管的第二空腔與第一腔體連通，所述第一腔體內(nèi)設(shè)有連接板，連接板沿活動板的長軸方向設(shè)置在第一腔體內(nèi)，所述活動板的兩側(cè)均設(shè)有若干彈性件，彈性件一端與活動板連接，另一端伸入至波紋管的第二空腔與波紋管的末端連接。當(dāng)通入至第一腔體內(nèi)的氣體通過排出之后，彈性件產(chǎn)生的彈力能夠拉動波紋管縮回至活動板的第一腔體內(nèi)，避免波紋管伸出在活動板一側(cè)，導(dǎo)致活動板無法有效旋轉(zhuǎn)至與槽體的內(nèi)壁平行，從而使得清洗籃能夠有效通過兩個活動板之間的間隙放入至槽體內(nèi)，同時，設(shè)置的彈性件能夠?qū)Σy管水平方向進(jìn)行支撐，保證波紋管在伸縮的過程中，始終保證在同一水平方向上，從而使得從波紋管吹出的氣流能夠沿著水平方向散發(fā)出去。進(jìn)一步地，所述連接板的內(nèi)部設(shè)有第二腔體，第二輸氣管與第二腔體連通，所述連接板的兩側(cè)均設(shè)有若干第三輸氣管，第三輸氣管一端與第二腔體連通，另一端與第一空腔連通。設(shè)置的連接板既用于對彈性件的支撐，又能夠?yàn)榈谌敋夤茌斔蜌怏w，氣泵產(chǎn)生的高壓氣體通過第二輸氣管進(jìn)入至連接板的第二腔體內(nèi)，然后第二腔體內(nèi)的氣體分別通過第三輸氣管進(jìn)入至第一空腔內(nèi)，為第一空腔輸送高壓氣體，由于波紋管具有伸縮的特性，使得波紋管內(nèi)的第一空腔通氣之后發(fā)生拉伸，從而使得波紋管能夠朝著固定噴嘴方向發(fā)生拉伸，改變波紋管的長度，減小波紋管與固定噴嘴之間的間距，從而提高了波紋管與固定噴嘴之間形成氣幕的強(qiáng)度，提高了氣幕對揮發(fā)性溶液的密封性能。進(jìn)一步地，所述波紋管的兩側(cè)均設(shè)有若干喇叭口形狀的氣孔，氣孔沿著波紋管的軸向方向均勻分布，并且氣孔與第二空腔連通。由于波紋管處于拉伸狀態(tài)，為了避免波紋管之間的區(qū)域氣幕效果不佳，因此在波紋管上開設(shè)若干氣孔，使得波紋管處于拉伸狀態(tài)時，波紋管之間從氣孔處吹出的氣流形成氣幕，從而提高了波紋管之間的氣幕密封性，同時，由于氣孔采用喇叭口結(jié)構(gòu)，使得氣流通過喇叭口形狀的氣孔能夠朝四周發(fā)散處于，使得同一波紋管上的氣孔吹出的氣流相互之間能夠形成干涉，從而形成氣幕，進(jìn)一步提高了波紋管之間的氣幕密封性。進(jìn)一步地，所述波紋管的端面為封閉結(jié)構(gòu)，并且波紋管的端面上設(shè)有喇叭口形狀的噴口，噴口與第二空腔連通。設(shè)置的噴嘴與波紋管的第二空腔連通，氣泵產(chǎn)生的高壓氣體通過第一輸氣管進(jìn)入至活動板的第一腔體內(nèi)，第一腔體內(nèi)的氣流再進(jìn)入至波紋管的第二空腔內(nèi)，第一部分的高壓氣體通過波紋管中的氣孔吹出，一部分的氣體通過噴口吹出，與固定噴嘴吹出的氣體形成氣幕，同時，將噴口也設(shè)置成喇叭口形成，使得從噴口吹出的氣流能夠向四周發(fā)生，從而使得相鄰的兩個波紋管上的噴口吹出的氣流之間能夠發(fā)生干擾，形成氣幕，從而提高對槽體內(nèi)揮發(fā)性溶液的密封效果。本專利技術(shù)與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下的優(yōu)點(diǎn)和有益本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置，包括截面為矩形結(jié)構(gòu)的槽體(2)和氣泵，其特征在于，所述槽體(2)其中兩個相對的內(nèi)壁上均設(shè)有固定板(4)，另外兩個相對的內(nèi)部上均設(shè)有活動板(5)，活動板(5)能夠在槽體(2)的內(nèi)壁上沿著水平面轉(zhuǎn)動，所述固定板(4)的側(cè)壁上均設(shè)有若干固定噴嘴(6)，活動板(5)的兩側(cè)均設(shè)有若干波紋管(1)，波紋管(1)均能夠縮回至活動板(5)內(nèi)，所述波紋管(1)內(nèi)設(shè)有第二空腔(16)，所述第二空腔(16)內(nèi)設(shè)有一端為封閉結(jié)構(gòu)的第一空腔(15)；/n所述氣泵的輸出端設(shè)有第一輸氣管(9)和第二輸氣管(10)，第一輸氣管(9)中的氣體能夠通過固定噴嘴(6)和波紋管(1)吹出，第二輸氣管(10)中的氣體能夠進(jìn)入至第一空腔(15)內(nèi)，波紋管(1)的第一空腔(15)內(nèi)充氣后能夠朝著固定噴嘴(6)方向拉伸。/n

【技術(shù)特征摘要】
1.一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置，包括截面為矩形結(jié)構(gòu)的槽體(2)和氣泵，其特征在于，所述槽體(2)其中兩個相對的內(nèi)壁上均設(shè)有固定板(4)，另外兩個相對的內(nèi)部上均設(shè)有活動板(5)，活動板(5)能夠在槽體(2)的內(nèi)壁上沿著水平面轉(zhuǎn)動，所述固定板(4)的側(cè)壁上均設(shè)有若干固定噴嘴(6)，活動板(5)的兩側(cè)均設(shè)有若干波紋管(1)，波紋管(1)均能夠縮回至活動板(5)內(nèi)，所述波紋管(1)內(nèi)設(shè)有第二空腔(16)，所述第二空腔(16)內(nèi)設(shè)有一端為封閉結(jié)構(gòu)的第一空腔(15)；
所述氣泵的輸出端設(shè)有第一輸氣管(9)和第二輸氣管(10)，第一輸氣管(9)中的氣體能夠通過固定噴嘴(6)和波紋管(1)吹出，第二輸氣管(10)中的氣體能夠進(jìn)入至第一空腔(15)內(nèi)，波紋管(1)的第一空腔(15)內(nèi)充氣后能夠朝著固定噴嘴(6)方向拉伸。


2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置，其特征在于，所述固定板(4)和活動板(5)均為四個，四個固定板(4)均勻地分布在槽體(2)其中兩個相對的內(nèi)壁上，四個活動板(5)均勻地分布在槽體(2)另外兩個相對的內(nèi)壁上，并且活動板(5)與固定板(4)位于同一水平面上。


3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于掩膜版清洗應(yīng)用的氣幕隔離裝置，其特征在于，所述槽體(2)的側(cè)壁兩側(cè)均設(shè)有兩個電機(jī)，電機(jī)的輸出端上均蝸桿，所述蝸桿上設(shè)有與蝸桿匹配的渦輪，所述渦輪的圓心處設(shè)有轉(zhuǎn)動軸(3)，轉(zhuǎn)動軸(3)一端與渦輪連接，另一端與活動板(...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王照忠，王宏宇，唐元剛，
申請(專利權(quán))人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：四川;51