一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構制造技術

本發明專利技術公開了一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，包括池體和電動氣泵，所述池體的內底設有活動桿，活動桿的外周外壁上設有若干波紋管，波紋管一端均與活動桿的內壁空腔連通，另一端上均設有攪拌板，攪拌板的上表面均設有若干垂直噴嘴，垂直噴嘴沿攪拌板的長軸方向均勻分布，攪拌板的兩側均設有若干水平噴嘴，水平噴嘴內設有第一氣閥，水平噴嘴靠近于攪拌板的末端；電動氣泵的輸出端設有第二輸氣管，第二輸氣管與活動桿的空腔連通，并且空腔內的氣體能夠通過垂直噴嘴和水平噴嘴排出。本發明專利技術在對池體內的掩膜版進行漂洗時，利用發電氣泵產生的氣體能夠帶動攪拌板旋轉，保證池體內均能夠產生氣泡，提高對掩膜版的清洗效果。

A kind of bubble rinsing mechanism with rotation function

【技術實現步驟摘要】
一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構
本專利技術涉及掩膜版清洗
，具體涉及一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構。
技術介紹
隨著半導體制造工藝的發展，半導體芯片的面積越來越小，因此半導體工藝的精度也變得更加重要。在半導體制造工藝中，其中一個重要的工藝就是光刻，光刻是將掩膜版上的圖案轉移到半導體上的光刻圖案的工藝過程。掩膜曝光中所用的掩膜版通常是在石英玻璃上鍍一層鉻層，并通過曝光腐蝕工藝制作出所需圖案，掩膜版臟污后無法進行曝光實驗，否則其上的臟污印記會毫無保留的轉移到光刻板上，因此，臟污掩膜版的清洗至關重要。目前，現有的漂洗池內鋪設有井字結構的氣管，氣管的上表面開設若干氣孔，通過電動氣泵向氣管內輸送氣體，氣體從氣孔處排出形成鼓泡，但是采用這種結構的漂洗池存在死角區域，導致在進行工件漂洗時無法有效的去處工件表面的異物。
技術實現思路
本專利技術所要解決的技術問題是克服現有技術中的不足，目的在于提供一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，在對池體內的掩膜版進行漂洗時，利用發電氣泵產生的氣體能夠帶動攪拌板旋轉，保證池體內均能夠產生氣泡，提高對掩膜版的清洗效果。本專利技術通過下述技術方案實現：一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，包括池體和電動氣泵，所述池體的內底設有活動桿，活動桿能夠繞著其軸向方向轉動，活動桿的外周外壁上設有若干波紋管，波紋管內部充氣后其長度能夠被拉伸，波紋管一端均與活動桿的內壁空腔連通，另一端上均設有攪拌板，所述攪拌板的上表面均設有若干垂直噴嘴，垂直噴嘴沿攪拌板的長軸方向均勻分布，所述攪拌板的兩側均設有若干水平噴嘴，水平噴嘴內設有第一氣閥，水平噴嘴靠近于攪拌板的末端；所述電動氣泵的輸出端設有第二輸氣管，第二輸氣管與活動桿的空腔連通，并且空腔內的氣體能夠通過垂直噴嘴和水平噴嘴排出。本專利技術利用設置的電動氣泵產生的氣體輸送至水平噴嘴和垂直噴嘴，從水平噴嘴噴出的氣體能夠迫使攪拌板帶動活動桿在池體內做圓周運動，攪拌板在池體內旋轉的過程中，從攪拌板垂直噴嘴噴出的氣體產生鼓泡，對放置在池體內的掩膜版工件進行鼓泡清洗，由于攪拌板利用水平噴嘴能夠使其在池體內旋轉，使得攪拌片上的垂直噴嘴能夠對池體的不同位置進行鼓泡清洗，提高了對工件的清洗效果，同時利用發電氣泵產生的氣流迫使攪拌板轉動，無需額外設置電機，節約了一定的成本；同時設置的波紋管由于具有一定的伸縮特性，利用電動氣泵向波紋管內輸送氣體，氣體迫使波紋管沿著水平方向拉長，從而調節了攪拌板在水平方向上的位置，在對不同尺寸的掩膜版進行清洗時，可以根據待清洗掩膜版的尺寸，來調整攪拌板的位置，保證掩膜版上的垂直噴嘴能夠有效作用于掩膜版，適用于不同尺寸的掩膜版，避免了掩膜版的邊緣區域清洗不足，或者靠近端面的垂直噴嘴未能作用于掩膜版，造成一定資源的浪費；由于攪拌板的兩個側面均設有垂直噴嘴，同時垂直噴嘴內設有第一氣閥，因此，可以控制垂直噴嘴內第一氣閥開啟的位置，來控制攪拌板做順時針旋轉或者逆時針旋轉，設置的攪拌板在旋轉的過程中，對清洗液產生的攪拌力也能夠對掩膜版進行清洗，同時，攪拌板在順時針轉動和逆時針轉動反復切換的過程中，能夠提高對掩膜版的清洗力度。進一步地，所述池體的內底中央位置處還設有與活動桿匹配的軸承，所述活動桿的底端插入在軸承內。設置的軸承一部分鑲嵌在池體的內底內，將軸承與池體固定在一起，由于活動桿與軸承連接，既使得活動桿能夠穩定限制在池體內底，又保證活動桿能夠在軸承內轉動，從而保證與活動桿連接著的攪拌板能夠順利在池體內做圓周運動。進一步地，所述波紋管內設有腔體，所述活動桿的空腔內還設有與波紋管數量相同的第一輸氣管，第一輸氣管一端與電動氣泵的輸出端連接，另一端與腔體連通。當電動氣泵工作時，產生的高壓氣體通過第一輸氣管進入至波紋管的腔體內，由于波紋管具有伸縮的特性，在進入至腔體內的高壓氣體作用下，迫使波紋管能夠沿著水平方向發生拉伸，改變其長度，從而使得攪拌板能夠靠近池體內壁方向移動，提高攪拌板上垂直噴嘴的作用面積，滿足對不同尺寸的掩膜版進行清洗；同時，當腔體內的高壓氣體排出時，波紋管發生收縮，又能夠迫使攪拌板朝著池體的中央位置移動。進一步地，所述波紋管內還設有環形腔體，集氣腔與環形腔體連通，環形腔體與活動桿的空腔連通，所述波紋管的頂部還設有若干第一氣孔，第一氣孔沿著波紋管的軸向方向分布，并且第一氣孔與環形腔體連通。電動氣泵產生的氣流通過第二輸氣管進入至空腔內，空腔內的氣體再進入至環形腔體內，最終使得環形氣體內的氣體從第一氣孔處吹出，形成鼓泡，能夠對池體內的掩膜版進行清洗，設置的第一氣孔能夠對攪拌板與活動桿之間的區域進行鼓泡，對處于該區域上的掩膜版進行鼓泡清洗，有效避免了死角區的產生。進一步地，所述攪拌板內設有集氣腔，垂直噴嘴與集氣腔連通，所述集氣腔內設有第三輸氣管，第三輸氣管一端與水平噴嘴連通，另一端依次穿過環形腔體、空腔與電動氣泵的輸出端連接。設置的第三輸氣管用于對水平噴嘴單獨進行通氣，使得水平噴嘴與垂直噴嘴能夠相互獨立，使得通過調節第二輸氣管和第三輸氣管內氣體的壓力實現對攪拌板轉速以及垂直噴嘴鼓泡大小的調節。進一步地，所述波紋管的兩側還均設有具有彈性的支撐件，支撐件一端與活動桿圓周側壁連接，另一端與攪拌板的端面連接。設置的支撐件為彈簧，支撐件的作用既可以對攪拌板產生水平方向的拉力，保證攪拌板能夠沿著波紋管的軸向方向移動，避免波紋管處產生彎曲，導致攪拌板發生傾斜，同時當波紋管內腔體中的氣體排泄出后，支撐件產生的彈力能夠迫使攪拌板快速朝著活動桿方向移動，恢復至初始位置。進一步地，所述活動桿的頂部還設有若干第二氣孔，第二氣孔均勻地分布在活動桿的頂部，并且第二氣孔與空腔連通?；顒訔U空腔內的一部分氣體能夠通過第二氣孔排出，產生鼓泡，使得第二氣孔處產生的鼓泡能夠對位于活動桿上方的工件進行清潔，進一步避免了死角區的產生。進一步地，所述第一輸氣管內設有第二氣閥。利用第一輸氣管向波紋管的腔體內通入氣體，當波紋管拉伸的長度與待清洗掩膜版的尺寸相匹配時，利用第二氣閥停止向腔體內繼續輸送氣體，保證波紋管能夠處于穩定的長度，當需要排除腔體內的氣體時，再次打開第二氣閥，使得腔體內的氣體通過第一輸氣管排出。本專利技術與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：1、本專利技術一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，攪拌板上設置的水平噴嘴在電動氣閥的作用下，能夠迫使攪拌板在池體內做圓周運動，進而使得設置在攪拌片上垂直噴嘴能夠對池體的不同位置產生鼓泡，從而有效提高了對池體內掩膜版的傾斜效果；2、本專利技術一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，設置的波紋管在電動閥門的作用下，能夠沿著池體內壁方向發生拉伸，從而改變掩膜版在池體內的位置，滿足對不同尺寸的掩膜版進行清洗，保證垂直噴嘴均能位于掩膜版的下方，避免了一部分資源的浪費。附圖說明此處所說明的附圖用來提供對本專利技術實施例的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本專利技術實施例的限定。在附圖中：圖1為本專利技術結構示意圖；圖2為本專利技術活動桿與攪拌板本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，包括池體(1)和電動氣泵(8)，其特征在于，所述池體(1)的內底設有活動桿(3)，活動桿(3)能夠繞著其軸向方向轉動，活動桿(3)的外周外壁上設有若干波紋管(4)，波紋管(4)內部充氣后其長度能夠被拉伸，波紋管(4)一端均與活動桿(3)的內壁空腔(11)連通，另一端上均設有攪拌板(2)，所述攪拌板(2)的上表面均設有若干垂直噴嘴(10)，垂直噴嘴(10)沿攪拌板(2)的長軸方向均勻分布，所述攪拌板(2)的兩側均設有若干水平噴嘴(12)，水平噴嘴(12)內設有第一氣閥，水平噴嘴(12)靠近于攪拌板(2)的末端；/n所述電動氣泵(8)的輸出端設有第二輸氣管(7)，第二輸氣管(7)與活動桿(3)的空腔(11)連通，并且空腔(11)內的氣體能夠通過垂直噴嘴(10)和水平噴嘴(12)排出。/n

【技術特征摘要】
1.一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，包括池體(1)和電動氣泵(8)，其特征在于，所述池體(1)的內底設有活動桿(3)，活動桿(3)能夠繞著其軸向方向轉動，活動桿(3)的外周外壁上設有若干波紋管(4)，波紋管(4)內部充氣后其長度能夠被拉伸，波紋管(4)一端均與活動桿(3)的內壁空腔(11)連通，另一端上均設有攪拌板(2)，所述攪拌板(2)的上表面均設有若干垂直噴嘴(10)，垂直噴嘴(10)沿攪拌板(2)的長軸方向均勻分布，所述攪拌板(2)的兩側均設有若干水平噴嘴(12)，水平噴嘴(12)內設有第一氣閥，水平噴嘴(12)靠近于攪拌板(2)的末端；
所述電動氣泵(8)的輸出端設有第二輸氣管(7)，第二輸氣管(7)與活動桿(3)的空腔(11)連通，并且空腔(11)內的氣體能夠通過垂直噴嘴(10)和水平噴嘴(12)排出。


2.根據權利要求1所述的一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，其特征在于，所述池體(1)的內底中央位置處還設有與活動桿(3)匹配的軸承(5)，所述活動桿(3)的底端插入在軸承(5)內。


3.根據權利要求1所述的一種具有旋轉功能的鼓泡漂洗機構，其特征在于，所述波紋管(4)內設有腔體(15)，所述活動桿(3)的空腔(11)內還設有與波紋管(4)數量相同的第一輸氣管(6)，第一輸氣管(6)一端與電動氣泵(8)的輸出端連接，另一端與腔體(15)連通。

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【專利技術屬性】
技術研發人員：王照忠，王宏宇，蔣小華，
申請(專利權)人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：發明
國別省市：四川;51