一種真空插板開關閥制造技術

本發明專利技術公開了一種真空插板開關閥，包括控制系統、位置傳感器、升降軸、閥門、密封圈、閥門、外支架、氣缸二、契形滑塊、限位塊、復位裝置、契形升降塊、氣缸一、導軌和內支架。本發明專利技術的真空插板開關閥具有三個不同的工作狀態，即開啟狀態、關閉狀態以及鎖緊狀態；當需要鎖緊開關閥時，動作順序為開啟狀態?關閉?鎖緊；當需要開啟開關閥時，動作順序為鎖緊狀態?關閉?開啟。本發明專利技術的真空插板開關閥具有結構緊湊，密封可靠性高的特點，可應用于半導體刻蝕真空反映腔的密封。

A vacuum gate valve

【技術實現步驟摘要】
一種真空插板開關閥
本專利技術涉及半導體裝備領域，具體涉及一種真空插板開關閥技術。
技術介紹
真空插板開關閥是半導體刻蝕裝備的核心產品，閥門的密封性能直接決定半導體刻蝕的質量。真空插板開關閥要求閥門的密封性能好、可靠性高、結構緊湊，現有的閥門無法達到要求，需要研發新裝備來滿足使用要求。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種真空插板開關閥，以提高密封性能和可靠性、使得結構緊湊。為了解決以上技術問題，本專利技術采用的具體技術方案如下：一種真空插板開關閥，其特征在于包括：控制系統(1)、位置傳感器(2)、升降軸(3)、閥門(4)、密封圈(5)、閥體(6)、外支架(7)、氣缸二(8)、契形滑塊(9)、限位塊(10)、復位裝置(11)、契形升降塊(12)、氣缸一(13)、導軌(14)和內支架(15)。氣缸一(13)安裝在外支架(7)底部，氣缸一(13)上端安裝有契形升降塊(12)；導軌(14)安裝在內支架(15)內部；契形滑塊(9)安裝在導軌(14)上，契形滑塊(9)在導軌(14)的限制下只能做橫向移動；復位裝置(11)安裝在契形滑塊(9)上；契形滑塊(9)上端安裝有氣缸二(8)；升降軸(3)安裝在氣缸二(8)上端；升降軸右側安裝有閥門(4)，閥門(4)的右側密封端安裝有密封圈(5)；閥體(6)安裝在外支架(7)內部；外支架(7)內部安裝有兩個位置傳感器(2)；氣缸一(13)、氣缸二(8)通過數據線由控制系統(1)控制；兩個位置傳感器(2)通過數據線給控制系統(1)提供升降軸(3)的位置數據。所述的真空插板開關閥具有三個不同的工作狀態，即開啟狀態、關閉狀態以及鎖緊狀態；當需要鎖緊開關閥時，動作順序為開啟狀態-關閉-鎖緊；當需要開啟開關閥時，動作順序為鎖緊狀態-關閉-開啟。本專利技術的工作原理：本法明的控制系統可以通過接收兩個位置傳感器的信號控制，從而控制氣缸一和氣缸二釋放或充滿氣體；氣缸一和氣缸二釋放氣體時，處于下極限位；氣缸一和氣缸二充滿氣體時，處于上極限位；契形滑塊在復位機構和限位塊的作用下，分別處于左極限位和右極限位。當需要開啟真空插板開關閥時，系統的動作過程如下：真空插板開關閥處于鎖緊狀態，此時氣缸二處于上級限位，契形滑塊處于右極限位，密封圈與閥體接觸；釋放氣缸一中的氣體，契形升降塊往下運動至下極限位；契形滑塊在復位機構的作用下向左移動至左極限位，密封圈與閥體分離；釋放氣缸二中的氣體，使升降軸下降至下極限位；此時真空插板開關閥處于開啟狀態。當需要鎖緊真空插板開關閥時，系統的動作過程如下：真空插板開關閥處于開啟狀態，此時氣缸一和氣缸二均處于下極限位，契形滑塊處于左極限位；給氣缸二充氣，氣缸二上升至上極限位，當兩個位置傳感器均檢測到氣缸二處于上級限位時，給氣缸一充氣，氣缸一運動至上極限位，在契形升降塊的作用下，契形滑塊向右移動，當契形滑塊的右端接觸限位塊時，契形滑塊處于右極限位，此時密封圈與閥體接觸，真空插板開關閥處于鎖緊狀態。本專利技術具有的有益效果。本專利技術通過利用氣缸一和氣缸二作上下運動，同時采用上下導軌、契形耦合表面以及復位裝置來實現真空插板開關閥的鎖緊，大幅度減少了真空插板開關閥的橫向尺寸，滿足了使用要求；兩個位置傳感器采用串聯方式工作，大概率降低了由于位置傳感器出錯導致的誤操作，從而保證真空插板開關閥可以在正確的位置鎖緊，保證了密封效果的可靠性；采用控制系統協調動作過程，使真空插板開關閥實現了高可靠性的自動動作。附圖說明圖1和是本專利技術真空插板開關閥的主視圖示意圖；圖2是本專利技術真空插板開關閥的側視圖示意圖；圖3是本專利技術真空插板開關閥的三個工作狀態。圖中：1控制系統、2位置傳感器、3升降軸、4閥門、5密封圈、6閥門、7外支架、8氣缸二、9契形滑塊、10限位塊、11復位裝置、12契形升降塊、13氣缸一、14導軌、15內支架。具體實施方式為更好地闡述本專利技術的實施細節，下面結合附圖和具體實施例對本專利技術的技術方案做進一步詳細說明。一種真空插板開關閥，如圖1和圖2所示，包括控制系統1、位置傳感器2、升降軸3、閥門4、密封圈5、閥門6、外支架7、氣缸二8、契形滑塊9、限位塊10、復位裝置11、契形升降塊12、氣缸一13、導軌14和內支架15。其特征在于：氣缸一13安裝在外支架7底部，氣缸一13上端安裝有契形升降塊12；導軌14安裝在內支架15內部；契形滑塊9安裝在導軌14上，契形滑塊9在導軌14的限制下只能做橫向移動；復位裝置11安裝在契形滑塊9上；契形滑塊9上端安裝有氣缸二8；升降軸3安裝在氣缸二8上端；升降軸右側安裝有閥門4，閥門4的右側密封端安裝有密封圈5；閥體6安裝在外支架7內部；外支架7內部安裝有兩個位置傳感器2；氣缸一13、氣缸二8通過數據線由控制系統1控制；兩個位置傳感器2通過數據線給控制系統1提供升降軸3的位置數據。控制系統1可以通過接收兩個位置傳感器2的信號控制，從而控制氣缸一13和氣缸二8釋放或充滿氣體；氣缸一13和氣缸二8釋放氣體時，處于下極限位；氣缸一13和氣缸二8充滿氣體時，處于上極限位；契形滑塊9在復位機構11和限位塊10的作用下，分別處于左極限位和右極限位。本專利技術的三種工作狀態如圖3所示。當需要開啟真空插板開關閥時，系統的動作過程如下：真空插板開關閥處于鎖緊狀態，此時氣缸二8處于上級限位，契形滑塊9處于右極限位，密封圈5與閥體6接觸；釋放氣缸一13中的氣體，契形升降塊12往下運動至下極限位；契形滑塊9在復位機構11的作用下向左移動至左極限位，密封圈5與閥體6分離；釋放氣缸二8中的氣體，使升降軸3下降至下極限位；此時真空插板開關閥處于開啟狀態。當需要鎖緊真空插板開關閥時，系統的動作過程如下：真空插板開關閥處于開啟狀態，此時氣缸一13和氣缸二8均處于下極限位，契形滑塊9處于左極限位；給氣缸二8充氣，氣缸二8上升至上極限位，當兩個位置傳感器2均檢測到氣缸二8處于上級限位時，給氣缸一13充氣，氣缸一13運動至上極限位，在契形升降塊12的作用下，契形滑塊9向右移動，當契形滑塊9的右端接觸限位塊10時，契形滑塊9處于右極限位，此時密封圈5與閥體6接觸，真空插板開關閥處于鎖緊狀態。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種真空插板開關閥，其特征在于包括：控制系統(1)、位置傳感器(2)、升降軸(3)、閥門(4)、密封圈(5)、閥門(6)、外支架(7)、氣缸二(8)、契形滑塊(9)、限位塊(10)、復位裝置(11)、契形升降塊(12)、氣缸一(13)、導軌(14)和內支架(15)；/n氣缸一(13)安裝在外支架(7)底部，氣缸一(13)上端安裝有契形升降塊(12)；導軌(14)安裝在內支架(15)內部；契形滑塊(9)安裝在導軌(14)上，契形滑塊(9)在導軌(14)的限制下只能做橫向移動；復位裝置(11)安裝在契形滑塊(9)上；契形滑塊(9)上端安裝有氣缸二(8)；/n升降軸(3)安裝在氣缸二(8)上端；升降軸右側安裝有閥門(4)，閥門(4)的右側密封端安裝有密封圈(5)；閥體(6)安裝在外支架(7)內部；外支架(7)內部安裝有兩個位置傳感器(2)；/n氣缸一(13)、氣缸二(8)通過數據線由控制系統(1)控制；兩個位置傳感器(2)通過數據線給控制系統(1)提供升降軸(3)的位置數據。/n

【技術特征摘要】
1.一種真空插板開關閥，其特征在于包括：控制系統(1)、位置傳感器(2)、升降軸(3)、閥門(4)、密封圈(5)、閥門(6)、外支架(7)、氣缸二(8)、契形滑塊(9)、限位塊(10)、復位裝置(11)、契形升降塊(12)、氣缸一(13)、導軌(14)和內支架(15)；
氣缸一(13)安裝在外支架(7)底部，氣缸一(13)上端安裝有契形升降塊(12)；導軌(14)安裝在內支架(15)內部；契形滑塊(9)安裝在導軌(14)上，契形滑塊(9)在導軌(14)的限制下只能做橫向移動；復位裝置(11)安裝在契形滑塊(9)上；契形滑塊(9)上端安裝有氣缸二(8)；
升降軸...

【專利技術屬性】
技術研發人員：牛建新，葉云霞，戴峰澤，任旭東，
申請(專利權)人：托倫斯精密機械上海有限公司，
類型：發明
國別省市：上海;31