本實用新型專利技術涉及顯示技術領域，具體涉及一種用于OLED制造裝置的烘干機；技術方案是：包括機架，機架中部設置有工作臺，工作臺用于放置加熱容器，加熱容器內設有加熱部件、側壁設置有封閉門、頂部間隔設有外突的出氣接口和進氣接口，出氣接口內設有第一單向閥，進氣接口設置有第一開關閥；機架上部正對工作臺設置有接插板，接插板豎直設置有出氣套管、進氣套管，出氣套管下端可與出氣接口密封套接，進氣套管下端可與進氣接口密封套接；出氣套管上端與換向閥進口連接，換向閥一出口與真空泵進氣口相連，進氣套管上端與保護氣儲罐出氣口相連。本實用新型專利技術用于OLED基板的烘干處理，具有烘干效率高、可避免水分再次附著在基板上的特點。
A dryer for OLED manufacturing device
【技術實現步驟摘要】
一種用于OLED制造裝置的烘干機
本技術涉及顯示
，具體涉及一種用于OLED制造裝置的烘干機。
技術介紹
有機發光二極管(OrganicLight-EmittingDiode，縮寫：OLED)顯示技術，具有電壓低，視角寬、響應速度快、溫度適應性好等優勢，是新一代的顯示技術。OLED器件通常包括：基板、置于基板上的ITO透明陽極、置于ITO透明陽極上的空穴注入層(HIL)、置于空穴注入層上的空穴傳輸層(HTL)、置于空穴傳輸層上的發光層(EML)、置于發光層上的電子傳輸層(ETL)、置于電子傳輸層上的電子注入層(EIL)以及置于電子注入層上的陰極。而OLED器件對水分和氧氣非常敏感，故基板的干燥程度非常關鍵，即使基板上殘留極微量的水分，OLED器件制備完成后，水分會破壞器件，特別是在通電流的情況下，水分會與有機材料進行電化學反應，破壞材料的結構，影響有機材料的光電性能，從而導致OLED器件劣化，壽命降低。現行的OLED基板處理制程中，基板(玻璃或者塑料基板)在進入鍍膜機前需要進行清洗、烘烤、UV處理。其中烘烤工序包括低溫烘烤，其主要目的是為了去除基板上殘留的水分。以玻璃基板為例，為了提高生產效率，一般在200～300℃環境下烘烤30～40min，但經過烘烤的玻璃基板溫度會很高，會對后續制作造成一定影響，故需對烘烤過的基板進行冷卻。而冷卻時是在潔凈度較高的空氣氣氛下冷卻，因此這一過程會使基板表面重新附著少量水分，嚴重影響OLED器件的質量和使用壽命。
技術實現思路
針對上述OLED基板烘烤處理后會再次附著少量水分，嚴重影響OLED器件質量和壽命的技術問題，本技術提供了一種用于OLED制造裝置的烘干機，該裝置用于OLED基板的烘干處理，具有烘干效率高、可避免水分再次附著在基板上的特點。本技術通過下述技術方案實現：一種用于OLED制造裝置的烘干機，包括機架，所述機架中部設置有工作臺，所述工作臺用于放置加熱容器，所述加熱容器為密封的腔體內設有加熱部件、側壁設置有封閉門、頂部間隔設有外突的出氣接口和進氣接口，所述出氣接口內設有第一單向閥，所述進氣接口設置有第一開關閥；所述機架上部正對工作臺設置有可上下移動的接插板，所述接插板豎直設置有出氣套管、進氣套管，所述出氣套管下端可與出氣接口密封套接，所述進氣套管下端可與進氣接口密封套接；所述出氣套管上端與換向閥進口連接，所述換向閥一出口與真空泵進氣口相連，所述進氣套管上端通過干燥器與保護氣儲罐出氣口相連。優選的，還包括相變儲熱器，所述相變儲熱器包括內部由相變蓄熱材料填充的殼體，所述殼體內還布設有熱回收金屬管、熱輸出金屬管，所述熱輸出金屬管進口連接有第二開關閥、出口連接有第三開關閥；所述換向閥為二位三通換向閥、且另一出口與熱回收金屬管進口相連，所述熱回收金屬管出口與保護氣收集容器進口相連。優選的，所述加熱容器覆蓋有保溫層、側壁設置有中空的預熱腔，所述預熱腔分設有預熱進口、預熱出口；所述預熱進口通過循環泵與第三開關閥相連，所述預熱出口與第二開關閥相連。優選的，所述熱回收金屬管與保護氣收集容器之間還設置有空壓機。優選的，所述預熱進口設有第二單向閥,所述預熱出口設有第三單向閥。優選的，所述預熱進口、預熱出口為外突式接口且間隔設置在加熱容器頂部；所述接插板還豎直設置有預熱進口套管、預熱出口套管，所述預熱進口套管下端可與預熱進口密封套接、上端與循環泵連接，所述預熱出口套管下端可與預熱出口密封套接、上端與熱輸出金屬管進口相連。本技術與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：加熱容器頂部間隔設有外突的出氣接口和進氣接口，所述出氣套管下端可與出氣接口密封套接，所述進氣套管下端可與進氣接口密封套接，通過出氣套管和進氣套管的上下移動，能夠實現加熱容器管路的快速連接。通過換向閥使真空泵與加熱容器連通，對加熱容器抽真空，能夠降低加熱容器內的水分沸點，從而快速、低功耗的對OLED基板進行烘干。烘干后，給加熱容器輸入保護氣，一方面能夠快速的冷卻基板，另一方面能夠防止水汽進入加熱容器內，造成水分在OLED基板上的二次附著。另外，保護氣經加熱容器輸出后，由相變蓄熱器實現熱量回收后，再收集起來；實現保護氣、加熱器和OLED基板余熱的回收。附圖說明此處所說明的附圖用來提供對本技術實施例的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本技術實施例的限定。在附圖中：圖1為本技術的結構示意圖；圖2為本技術的加熱容器結構示意圖；圖3為本技術的相變蓄熱器結構示意圖；圖4為本技術的管路連接示意圖；圖5為本技術的套管結構示意圖。附圖中標記及對應的零部件名稱：1-機架，2-工作臺，3-加熱容器，4-封閉門，5-出氣接口，6-進氣接口，7-第一單向閥，8-第一開關閥，9-出氣套管，10-進氣套管，11-換向閥，12-真空泵，13-干燥器，14-保護氣儲罐，15-相變儲熱器，16-空壓機，17-保護氣收集容器，18-保溫層，19-預熱腔，20-接插板，21-預熱進口，22-預熱出口，24-循環泵，25-第二單向閥，26-第三單向閥，27-預熱進口套管，28-預熱出口套管，82-第二開關閥，83-第三開關閥，101-預熱進口，102-預熱出口，141-減壓閥，151-殼體，152-熱回收金屬管，153-熱輸出金屬管。具體實施方式為使本技術的目的、技術方案和優點更加清楚明白，下面結合實施例和附圖，對本技術作進一步的詳細說明，本技術的示意性實施方式及其說明僅用于解釋本技術，并不作為對本技術的限定。實施例如圖1～5所示，一種用于OLED制造裝置的烘干機，包括用于安裝所有零部件的機架1，通常由鋁合金型材搭成，也可以是其他型材搭建，如工程塑料、不銹鋼架、剛架等。所述機架1中部設置有工作臺2，所述工作臺2用于放置烘干基板的加熱容器3，為防止加熱容器3在工作工程中晃動，在工作臺2的臺面上通常設置有與加熱容器3底部適配的凹缺(圖中未示出)。所述加熱容器3具有密封的腔體且內設有加熱部件，加熱部件只要能對水分加熱即可，可以是加熱電阻絲、激光燈、微波發生器等。加熱容器側壁設置有封閉門4，用于打開加熱容器3以放入或取出基板，且封閉門4在關閉的狀態下，加熱容器3的內部空間為密閉狀態。其中，加熱容器3頂部間隔設有外突的出氣接口5和進氣接口6，也就是說進出氣接口5和進氣接口6的有一部分突出設置在加熱容器3的頂端。所述出氣接口5內設有第一單向閥7，以防止外部的氣體從出氣接口5進入加熱容器3內；所述進氣接口6設置有第一開關閥8，以控制進氣接口6與外部的導通或隔斷，通常為球閥、針型閥、蝶閥等，優選為球閥，啟/閉迅速，密封可靠。所述機架1上部正對工作臺2設置有可上下移動的接插板20，具體來說，接插板20通過豎直設置在傳機架1上方，并通絲桿機構、齒輪齒條機構、電推桿機構，等能夠實現接插板20沿導軌上下移動的直本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種用于OLED制造裝置的烘干機，包括機架(1)，其特征在于：所述機架(1)中部設置有工作臺(2)，所述工作臺(2)用于放置加熱容器(3)，所述加熱容器(3)具有密封的腔體且內設有加熱部件、側壁設置有封閉門(4)、頂部間隔設有外突的出氣接口(5)和進氣接口(6)，所述出氣接口(5)內設有第一單向閥(7)，所述進氣接口(6)設置有第一開關閥(8)；/n所述機架(1)上部正對工作臺(2)設置有可上下移動的接插板(20)，所述接插板(20)豎直設置有出氣套管(9)、進氣套管(10)，所述出氣套管(9)下端可與出氣接口(5)密封套接，所述進氣套管(10)下端可與進氣接口(6)密封套接；/n所述出氣套管(9)上端與換向閥(11)進口連接，所述換向閥(11)一出口與真空泵(12)進氣口相連，所述進氣套管(10)上端通過干燥器(13)與保護氣儲罐(14)出氣口相連。/n
【技術特征摘要】
1.一種用于OLED制造裝置的烘干機，包括機架(1)，其特征在于：所述機架(1)中部設置有工作臺(2)，所述工作臺(2)用于放置加熱容器(3)，所述加熱容器(3)具有密封的腔體且內設有加熱部件、側壁設置有封閉門(4)、頂部間隔設有外突的出氣接口(5)和進氣接口(6)，所述出氣接口(5)內設有第一單向閥(7)，所述進氣接口(6)設置有第一開關閥(8)；
所述機架(1)上部正對工作臺(2)設置有可上下移動的接插板(20)，所述接插板(20)豎直設置有出氣套管(9)、進氣套管(10)，所述出氣套管(9)下端可與出氣接口(5)密封套接，所述進氣套管(10)下端可與進氣接口(6)密封套接；
所述出氣套管(9)上端與換向閥(11)進口連接，所述換向閥(11)一出口與真空泵(12)進氣口相連，所述進氣套管(10)上端通過干燥器(13)與保護氣儲罐(14)出氣口相連。
2.根據權利要求1所述的用于OLED制造裝置的烘干機，其特征在于：還包括相變儲熱器(15)，所述相變儲熱器(15)包括內部由相變蓄熱材料填充的殼體(151)，所述殼體(151)內還布設有熱回收金屬管(152)、熱輸出金屬管(153)，所述熱輸出金屬管(153)進口連接有第二開關閥(82)、出口連接有第三開關閥(83)；
所述換向閥(11)為二位三通換向閥、且另一出口與熱回收金屬管(1...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王宏宇，羅雪春，
申請(專利權)人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：四川;51
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