起膜機(jī)構(gòu)制造技術(shù)

一種起膜機(jī)構(gòu)包含振動組件、控制組件、基座、及共振板。控制組件適于驅(qū)動振動組件產(chǎn)生一超音震波。共振板具有多個孔洞，且共振板在一預(yù)定空間內(nèi)浮動連接基座，適于承接一傳導(dǎo)震波并產(chǎn)生一振動。

Film forming mechanism

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
起膜機(jī)構(gòu)
本案是關(guān)于一種起膜機(jī)構(gòu)，尤其是指具有振動組件的起膜機(jī)構(gòu)。
技術(shù)介紹
一般在基板的表面上具有一層箔膜(如銅箔)，是避免基板的表面受到損傷，尤其是機(jī)器手臂搬運或堆放基板時，基板的表面更容易受到損傷。以載體銅箔去除裝置(專利公開號：TW201414378A)為例，當(dāng)基板的相對兩側(cè)具有第1載體銅箔及第2載體銅箔時，裁切手段分別朝第1載體銅箔及第2載體銅箔裁切，直至保留剩余銅箔為止。去除手段將該第1載體銅箔自該基板移除。翻轉(zhuǎn)手段將該基板180°旋轉(zhuǎn)后，去除手段再將該第2載體銅箔自該基板移除。然而，當(dāng)載體銅箔去除裝置移除位于基板一側(cè)的第1載體銅箔時，無法移除位于基板另一側(cè)的第2載體銅箔。此外，當(dāng)位于基板上的第1載體銅箔及第2載體銅箔的厚度不同時，載體銅箔去除裝置無法有效率的切除第1載體銅箔及第2載體銅箔。以銅箔剝離機(jī)構(gòu)(專利公開號：TW201507932A)為例，撥動模塊具有至少一片彈性剝片和用于旋動彈性剝片的變速動力裝置，彈性剝片旋動時拍打基板側(cè)壁處而將局部的保護(hù)膜從銅箔剝離，噴氣模塊將剝離的保護(hù)膜從銅箔上吹離，致使被吹離的銅箔與擋止元件接觸。然而，當(dāng)每一彈性剝片在銅箔側(cè)壁處重復(fù)旋動時，基板容易產(chǎn)生凹折而受損。
技術(shù)實現(xiàn)思路
鑒于上述問題，一種起膜機(jī)構(gòu)，適于一基板，該基板的一表面具有一第一箔膜。該起膜機(jī)構(gòu)包含一基座、一共振板、一振動組件、及一控制組件。共振板連接于基座，并適于承載基板。振動組件適于與基板接觸。控制組件適于驅(qū)動振動組件產(chǎn)生一超音震波，基板傳導(dǎo)超音震波至共振板，使得第一箔膜從基板分離。依據(jù)一些實施例，共振板浮動連接基座。本案另提供一種起膜機(jī)構(gòu)，包含振動組件、控制組件、基座、及共振板。控制組件適于驅(qū)動振動組件產(chǎn)生一超音震波。共振板具有多個孔洞，且共振板在一預(yù)定空間內(nèi)浮動連接基座，適于承接一傳導(dǎo)震波并產(chǎn)生一振動。依據(jù)一些實施例，二凸柱抵靠該共振板。溝槽位于該些凸柱之間，并與該共振板之間具有一空隙。依據(jù)一些實施例，其中：該些孔洞于共振板上間隔排列，且每一凸柱分別抵靠共振板的角落。依據(jù)一些實施例，其中：該些孔洞于共振板上間隔排列，且每一凸柱分別抵靠于該些孔洞中至少二孔洞相鄰接的部分。依據(jù)一些實施例，其中：基座包含一溝槽、及至少二凸柱。依據(jù)一些實施例，基座包含多個浮接件且共振板具有多個孔徑。浮接件固接于該些凸柱，且共振板在該些凸柱及該些浮接件之間具有一間隙，每一浮接件具有一長軸外徑。每一孔徑匹配每一浮接件的長軸外徑，其中該些孔徑的尺寸大于該些浮接件的長軸外徑，且共振板在該些浮接件及該些孔徑之間具有另一間隙。依據(jù)一些實施例，預(yù)定空間指共振板經(jīng)由該些浮接件貫穿而浮動連接于該些凸柱；以及浮動連接指共振板于振動時，在該些間隙內(nèi)移動。綜上所述，本案起膜裝置的振動組件可產(chǎn)生一超音震波，且共振板可承受一傳導(dǎo)震波而產(chǎn)生振動。于基板位于共振板時，振動組件產(chǎn)生的超音震波可將至少一第一箔膜的一部份或全部從基板上分離。附圖說明圖1A至1C是本案起膜機(jī)構(gòu)一實施例的使用狀態(tài)圖。圖2是圖1基座及共振板的第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖1基座及共振板的第一實施例的剖面示意圖。圖4是圖1基座及共振板的第一實施例的分解示意圖。圖5是圖1基座的第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6是圖1基座的第三實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7是圖1基座的第四實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8是圖1基座的第五實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9是圖1共振板的第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖10是圖1共振板的第三實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖11是圖1共振板的第四實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，附圖標(biāo)記10起膜機(jī)構(gòu)110基座111溝槽113凸柱115浮接件119調(diào)整治具120共振板121孔洞123定位槽125調(diào)整治具130振動組件131接觸件140控制組件150移動組件160機(jī)架21第一箔膜22第二箔膜30基板具體實施方式參閱圖1A至圖1C，圖1A至圖1C繪示本案起膜機(jī)構(gòu)10一實施例的使用狀態(tài)圖。起膜機(jī)構(gòu)10包含基座110、共振板120、振動組件130、及電性連接基座110、共振板120及振動組件130的控制組件140。共振板120具有多個個孔洞121，且共振板120在一預(yù)定空間內(nèi)浮動連接基座110，適于承接一傳導(dǎo)震波并產(chǎn)生振動。控制組件140適于驅(qū)動振動組件130產(chǎn)生一超音震波。更進(jìn)一步來說，起膜機(jī)構(gòu)10適于具有一或多個一箔膜21、22的基板30。舉例來說，起膜機(jī)構(gòu)10適于具有第一箔膜21及第二箔膜22的基板30，且第一箔膜21及第二箔膜22分別位于基板30相對兩側(cè)的表面。基板30可以是陶瓷基板、金屬基板或其他基板，也可以是紙基材銅箔基層板、玻璃基材銅箔基層板、復(fù)合銅箔基層板、耐熱熱可塑性基板。第一箔膜21及第二箔膜22可以是，但不限于一金屬箔膜，如銅箔。當(dāng)?shù)谝徊?1及第二箔膜22分別位于基板30表面的相對兩側(cè)時，第一箔膜21與基板30的一表面之間可具有黏著力(或鍵結(jié)力)，且第二箔膜22與該表面相對的另一表面之間亦可具有黏著力(或鍵結(jié)力)。此外，金屬箔膜可以是覆蓋、黏貼、依附、接觸、放置或附著等態(tài)樣設(shè)置在基板30相對兩側(cè)的表面上。依據(jù)一些實施例，第一箔膜21及第二箔膜22可以是，但不限于一保護(hù)膜，如聚乙烯薄膜(Polyethylene，PE)或聚對苯二甲酸乙二酯(PolyethyleneTerephthalate，PET)。合并參閱圖1A至1C、及圖2，圖2繪示圖1基座110及共振板120的第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。共振板120的材質(zhì)可以是陶瓷材質(zhì)、金屬材質(zhì)或其他材質(zhì)，也可以是紙基材銅箔材質(zhì)、玻璃基材材質(zhì)、復(fù)合銅箔材質(zhì)、耐熱熱可塑性材質(zhì)。更進(jìn)一步來說，多個孔洞121在共振板120的一表面上間隔排列，其中多個孔洞121的形狀可以是圓形、方形、菱形、弧形或其他任意形狀。振動組件130可以是，但不限于超音波振子，用以產(chǎn)生一超音震波。舉例來說，當(dāng)基板30位于共振板120時，位于基板30上方的振動組件130接觸并傳導(dǎo)超音震波至基板30而使基板30產(chǎn)生振動以及將振動的第二箔膜22從基板的一表面分離。接著，共振板120承受由振動基板30傳導(dǎo)的一傳導(dǎo)震波而產(chǎn)生振動，此時第一箔膜21經(jīng)由共振板120的振動，從基板的另一表面分離。更進(jìn)一步來說，振動組件130具有一接觸件131，用以接觸并振動位于基板30上的第二箔膜22。接觸件131可以是，但不限于一板體，且板體的形狀可以是矩形、圓形、三角形、菱形或其他形狀的板體。此外，接觸件131的材質(zhì)可以是用于傳導(dǎo)超音震波的金屬。也就是說，接觸件131的材質(zhì)例如但不限于陶瓷材質(zhì)、金屬材質(zhì)或其他材質(zhì)，也可以是紙基材銅箔材質(zhì)、玻璃基材材質(zhì)、復(fù)合銅箔材質(zhì)、耐熱熱可塑性材質(zhì)。當(dāng)基板30位于共振板120時，本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種起膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，適于一基板，該基板的一表面具有一第一箔膜，該起膜機(jī)構(gòu)包含：/n一基座；/n一共振板，連接于該基座，并適于承載該基板；/n一振動組件，適于與該基板接觸；以及/n一控制組件，適于驅(qū)動該振動組件產(chǎn)生一超音震波，該基板傳導(dǎo)該超音震波至該共振板，使得該第一箔膜從基板分離。/n

【技術(shù)特征摘要】
20180928 TW 1071345461.一種起膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，適于一基板，該基板的一表面具有一第一箔膜，該起膜機(jī)構(gòu)包含：
一基座；
一共振板，連接于該基座，并適于承載該基板；
一振動組件，適于與該基板接觸；以及
一控制組件，適于驅(qū)動該振動組件產(chǎn)生一超音震波，該基板傳導(dǎo)該超音震波至該共振板，使得該第一箔膜從基板分離。


2.如權(quán)利要求1所述的起膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，其中：
該共振板浮動連接該基座。


3.一種起膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，包含：
一振動組件；
一控制組件，適于驅(qū)動該振動組件產(chǎn)生一超音震波；
一基座；以及
一共振板，具有多個孔洞，該共振板在一預(yù)定空間內(nèi)浮動連接該基座，該共振板適于承接一傳導(dǎo)震波并產(chǎn)生一振動。


4.如權(quán)利要求3所述的起膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，該基座包含：
至少二凸柱，抵靠該共振板；以及
一溝槽，位于該些凸柱之間，并與該共振板之間具有一空隙。


5.如權(quán)利要求4所述的起膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，其中：
該些孔洞于該共振板上間隔排列，且每一該凸柱分別抵靠該共振板的角落。


6.如權(quán)利要求4所述的起膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，其中：
該些孔...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：廖士賢，范振盈，江煒晨，
申請(專利權(quán))人：景碩科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：中國臺灣;71