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    一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板制造技術

    技術編號:23912002 閱讀:94 留言:0更新日期:2020-04-22 20:07
    一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板,包括晶片基板和折取部位,所述折取部位位于晶片基板底部,所述晶片放置于晶片基板上,其特征在于:所述晶片基板的左側邊向下延伸至折取部位左側下邊緣處,晶片基板的右側邊向下延伸至折取部位右側下邊緣處。本實用新型專利技術結構簡單、能達到石英晶片外形規則、成品參數一致性更好、可靠性更高。

    A wafer substrate for improving the design of wafer edge morphology

    【技術實現步驟摘要】
    一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板
    本技術涉及到基于半導體工藝的石英晶體諧振器晶片設計加工
    ,具體涉及一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板。
    技術介紹
    石英晶體頻控器件作為通訊領域的核心電子元件,特別是高基頻、小尺寸石英晶體。諧振器更是現在5G通訊產品所需的重要基礎性電子元器件。半導體工藝具有微納米級加工能力,大大提升石英晶片制造精度、一致性、穩定性,產品物理和電子性能優越,滿足通訊市場、物聯網、智能家電等領域的飛速發展需要。隨著終端電子設備越來越小型化,必然要求各種元器件也必須小型化,要制造微小型化石英晶體諧振器,必須要有微小型石英晶片,隨著傳統石英晶片加工工藝的局限,目前已經達到了傳統加工工藝的極限,已經無法加工更小尺寸的石英晶片了,所以出現了一種新的加工工藝技術,這種工藝是基于半導體工藝通過化學腐蝕方法進行石英晶片加工,由于石英晶體腐蝕的各向異性特征,所以在外形腐蝕過程中容易出現不規則現象,導致最終成品參數不理想。本專利技術就是為了解決此問題而做的一項設計改進。
    技術實現思路
    本技術的目的在于解決石英晶體腐蝕的各向異性特征而導致的石英晶片外形的不規則的問題,提供一種結構簡單、能達到石英晶片外形規則、成品參數一致性更好、可靠性更高的改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板。為實現以上目的,本技術的技術解決方案是:一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板,包括晶片基板和折取部位,所述折取部位位于晶片基板底部,所述晶片放置于晶片基板上,其特征在于:所述晶片基板的左側邊向下延伸至折取部位左側下邊緣處,晶片基板的右側邊向下延伸至折取部位右側下邊緣處。所述晶片包括晶片右下角和晶片左下角,其外形腐蝕完成后為規則直角。所述折取部位為矩形組合。所述折取部位為倒梯形形狀。本技術的有益效果為:本設計通過將晶片基板的左側邊、右側邊分別延伸至折取部位兩側的下邊緣處,折取后,折取部位與晶片基板兩側邊對晶片左下角和右下角形成包裹狀,可以使晶片外形更規則(左下角和右下角均成標準直角),外形尺寸可控,外形尺寸一致性更好,從而提高諧振器的參數一致性更好,頻率更穩定,同時也提高的產品的合格率。附圖說明圖1是本技術的結構示意圖;圖2是本技術中折取部位為矩形組合的結構示意圖;圖3是本技術中折取部位為倒梯形的結構示意圖;圖4為改進前的設計結構圖。圖中:晶片基板1,折取部位2,晶片3,左側邊4,右側邊5,晶片右下角6,晶片左下角7。具體實施方式以下結合附圖說明和具體實施方式對本技術作進一步詳細的說明:參見圖1至圖4,一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板1,包括晶片基板1和折取部位2,所述折取部位2位于晶片基板1底部,所述晶片3放置于晶片基板1上,其特征在于:所述晶片基板1的左側邊4向下延伸至折取部位2左側下邊緣處,晶片基板1的右側邊5向下延伸至折取部位2右側下邊緣處。所述晶片3包括晶片右下角6和晶片左下角7,其外形腐蝕完成后為規則直角。所述折取部位2為矩形組合。所述折取部位2為倒梯形形狀。使用本設計時晶片的制作過程如下:按照工藝要求將一定尺寸的石英晶片研磨、拋光到規定的頻率,然后經過清洗,濺射鍍膜,半導體工藝的膠涂覆的供以后,用改進設計的半導體工藝的mask,在專用的半導體工藝的機上進行曝光,曝光完成后,進行顯影,金屬刻蝕的工序后,最后使用特定配方的腐蝕藥液進行石英刻蝕,從而形成石英晶片外形。形成外形后,再去除半導體工藝的膠和表面金屬層,然后進行磁控濺射,得到需要的電極膜厚。本設計通過將晶片基板1的左側邊4、右側邊5分別延伸至折取部位2兩側的下邊緣處,折取后,折取部位2與晶片基板1兩側邊對晶片3的晶片左下角7和晶片右下角6形成包裹狀,可以使晶片1外形更規則(左下角和右下角均成標準直角),外形尺寸可控,外形尺寸一致性更好,從而提高諧振器的參數一致性更好,頻率更穩定,同時也提高的產品的合格率。以上所述僅是本專利技術的優選實施方式,應當理解本專利技術并非局限于本文所披露的形式,不應看作是對其他實施例的排除,而可用于各種其他組合、修改和環境,并能夠在本文所述構想范圍內,通過上述教導或相關領域的技術或知識進行改動。而本領域人員所進行的改動和變化不脫離本專利技術的精神和范圍,則都應在本專利技術所附權利要求的保護范圍。本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    1.一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板(1),包括晶片基板(1)和折取部位(2),所述折取部位(2)位于晶片基板(1)底部,所述晶片(3)放置于晶片基板(1)上,其特征在于:所述晶片基板(1)的左側邊(4)向下延伸至折取部位(2)左側下邊緣處,晶片基板(1)的右側邊(5)向下延伸至折取部位(2)右側下邊緣處。/n

    【技術特征摘要】
    1.一種改進晶片邊緣形貌設計的晶片基板(1),包括晶片基板(1)和折取部位(2),所述折取部位(2)位于晶片基板(1)底部,所述晶片(3)放置于晶片基板(1)上,其特征在于:所述晶片基板(1)的左側邊(4)向下延伸至折取部位(2)左側下邊緣處,晶片基板(1)的右側邊(5)向下延伸至折取部位(2)右側下邊緣處。


    2.根據權利要求1所述的一種改進晶片...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:喻信東黃祥秒張小偉,王斌,陳磊,
    申請(專利權)人:湖北泰晶電子科技股份有限公司,
    類型:新型
    國別省市:湖北;42

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