石英管逐級清洗裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術揭示了一種石英管逐級清洗裝置，包括機架，所述機架上設有三個以上并列橫置的清洗池和用以將石英管夾持的夾持組件，所述夾持組件可由驅動組件驅動其相對所述清洗池上下移動；所述機架上還設有用以將所述清洗池密封的封箱組件和用以驅動所述驅動組件前后水平滑動的滑動組件，所述滑動組件的移動方向與所述清洗池的中軸線垂直。本實用新型專利技術的有益效果主要體現在：設計精巧，該裝置采用三個清洗池，可實現逐級清洗，在清洗過程中轉輪帶動石英管轉動，從而進一步提高清洗液對石英管內壁的清洗能力，提高清洗合格率，另外，清洗液過程中不消耗清洗液，極大程度上降低了成本，提高清洗效率。

Quartz tube step-by-step cleaning device

【技術實現步驟摘要】
石英管逐級清洗裝置
本技術涉及清洗設備
，具體而言，尤其涉及一種石英管逐級清洗裝置。
技術介紹
石英制品以其優良的物理化學特性被廣泛應用于集成電路芯片生產線。由于集成電路芯片的高規格要求，需要對所用的石英管進行嚴格的清洗。現有的石英管清洗設備人工操作繁瑣，不能實現一體化全自動清洗功能，其清洗液一般采用人工配制和手動加入，而清洗液一般采用強酸和強堿配制成一定比例后使用，因此采用人工操作會對人體健康造成危害，且人工操作會有很多不可控制因素，人體的疲勞程度、觀察角度和人員責任心都會影響清洗是否達到標準。中國專利CN201520127766.6揭示的一種石英管清洗機減少了對操作人員的依賴。但是這種清洗機只有一個清洗腔，所有清洗都在該清洗腔中完成，為了徹底清潔石英管，需要反復進行清洗操作，但由于該清洗機只有一個清洗腔，一次清洗后需要將其中的液體排出，這樣對于清洗液的消耗量大大增加；其次，液體通過噴頭噴灑進入清洗腔中，液體注入其中其所需時間較長，且石英管在清洗腔中靜止，要完成對其內外壁的清洗所述時長也就相對增加，故整體清洗操作很耗時，效率很低。
技術實現思路
本技術的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種石英管逐級清洗裝置。本技術的目的通過以下技術方案來實現：一種石英管逐級清洗裝置，包括機架，所述機架上設有三個以上并列橫置的清洗池和用以將石英管夾持的夾持組件，所述夾持組件可由驅動組件驅動其相對所述清洗池上下移動；所述機架上還設有用以將所述清洗池密封的封箱組件和用以驅動所述驅動組件前后水平滑動的滑動組件，所述滑動組件的移動方向與所述清洗池的中軸線垂直。優選的，所述夾持組件包括與驅動組件樞軸連接的支撐桿，所述支撐桿上固設有鉤爪，所述鉤爪的內表面呈與所述石英管的外圓周面相適配的內凹形狀；所述支撐桿上還設有兩個固定桿。優選的，所述驅動組件至少包括滑動設置在所述機架上的滑動架，所述滑動架上固設置有一驅動電機，所述驅動電機的電機軸上固設有一主動輪；所述機架上還樞軸設有一傳動桿，所述傳動桿上固設有一從動輪，所述主動輪和從動輪之間通過皮帶傳動；所述傳動桿的兩端均通過傳動端與樞軸設置在所述機架上的第一傳動絲桿傳動連接，所述第一傳動絲桿上設有與其為絲桿傳動的第一傳動螺母，每一所述第一傳動螺母上均固設有一固定板，一個所述固定板與相應地的所述固定桿固接，另一所述固定板通過所述拉伸組件與相應地所述固定桿固接。優選的，所述滑動組件包括固設在所述滑動架上的滑動電機和樞軸設置在所述滑動架上的連接桿，所述滑動電機的電機軸上固設有一第三齒輪，所述連接桿上固設有一與所述第三齒輪相嚙合的第四齒輪；所述連接桿上還固設有第五齒輪，所述第五齒輪與固設在所述機架上的齒條相嚙合，所述齒條的長度與所述清洗池的寬度之和相當。優選的，所述封箱組件包括固定在所述清洗池兩端的固定塊，所述固定塊上樞軸設置有位于所述清洗池一側的轉動軸，所述轉動軸上固設有與所述清洗池開口相匹配的蓋板；所述轉動軸的一端貫穿所述固定塊延伸置于其外部，且延伸置于所述固定塊外側的轉動軸上固設有一L形連接板，所述連接板上樞軸設有一擋頭，所述擋頭與固設在所述機架上的驅動氣缸的氣缸軸固接。優選的，所述支撐桿的兩端還螺接有可相對移動的擋塊，所述擋塊呈三角狀，且兩個所述擋塊之間的距離與所述石英管的長度相當。優選的，所述機架上還設有位于所述清洗池的兩側的排液板，所述排液板上設有一組通孔。優選的，所述清洗池上樞軸設有一組旋轉軸，所述旋轉軸上固設有一組交錯設置的轉輪，所述轉輪可與所述石英管的外圓周面緊貼。本技術的有益效果主要體現在：1、設計精巧，該裝置采用三個清洗池，可實現逐級清洗，在清洗過程中轉輪帶動石英管轉動，從而進一步提高清洗液對石英管內壁的清洗能力，提高清洗合格率，另外，清洗液過程中不消耗清洗液，極大程度上降低了成本，提高清洗效率；2、采用齒輪和齒條進行傳送輸送是利用其承載力大，可無限長度對接延續，而且傳動速度可以很高，可極大地提高工作效率；3、封箱組件的設置可在清洗完成后立馬將清洗池進行相對密封，防止灰塵等雜質進入清洗池內，影響后面的清洗效果，同時，可防止清洗液飛濺，對操作工造成損傷，極大地提高安全性；4、擋塊的設置可對石英管起到限位作用，防止石英管意外竄出，造成不必要的損壞，同時，擋塊之間可相對位置調節，達到自適應其它貴的石英管，通用性強，具有較廣的適用性。附圖說明下面結合附圖對本技術技術方案作進一步說明：圖1：本技術中石英管的立體圖；圖2：本技術第一方向的立體圖；圖3：圖2中A部分的放大圖；圖4：本技術第二方向的立體圖；圖5：圖4中B部分的放大圖；圖6：圖4中D部分的放大圖；圖7：圖4中E部分的放大圖；圖8：圖4中F部分的放大圖；圖9：本技術第三方向的立體圖；圖10：圖9中C部分的放大圖。具體實施方式以下將結合附圖所示的具體實施方式對本技術進行詳細描述。但這些實施方式并不限于本技術，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本技術的保護范圍內。不限于本技術，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本技術的保護范圍內。在本技術的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。此外，術語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本技術的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。在本技術的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接。可以是機械連接，也可以是電連接。可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以通過具體情況理解上述術語在本技術中的具體含義。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本技術。如圖1至圖10所示，本技術揭示了一種石英管逐級清洗裝置，包括機架1，所述機架1上設有三個以上并列橫置用以容置清洗液的清洗池2和用以夾持石英管100的夾持組件3，所述夾持組件3包括與驅動組件4樞軸連接的支撐桿31，所述支撐桿31上固設有鉤爪32，所述鉤爪32的內表面呈與所述石英管100本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.石英管逐級清洗裝置，包括機架（1），其特征在于：所述機架（1）上設有三個以上并列橫置的清洗池（2）和用以將石英管（100）夾持的夾持組件（3），所述夾持組件（3）可由驅動組件（4）驅動其相對所述清洗池（2）上下移動；所述機架（1）上還設有用以將所述清洗池（2）密封的封箱組件（7）和用以驅動所述驅動組件（4）前后水平滑動的滑動組件（6），所述滑動組件（6）的移動方向與所述清洗池（2）的中軸線垂直。/n

【技術特征摘要】
1.石英管逐級清洗裝置，包括機架（1），其特征在于：所述機架（1）上設有三個以上并列橫置的清洗池（2）和用以將石英管（100）夾持的夾持組件（3），所述夾持組件（3）可由驅動組件（4）驅動其相對所述清洗池（2）上下移動；所述機架（1）上還設有用以將所述清洗池（2）密封的封箱組件（7）和用以驅動所述驅動組件（4）前后水平滑動的滑動組件（6），所述滑動組件（6）的移動方向與所述清洗池（2）的中軸線垂直。


2.根據權利要求1所述的石英管逐級清洗裝置，其特征在于：所述夾持組件（3）包括與驅動組件（4）樞軸連接的支撐桿（31），所述支撐桿（31）上固設有鉤爪（32），所述鉤爪（32）的內表面呈與所述石英管（100）的外圓周面相適配的內凹形狀；所述支撐桿（31）上還設有兩個固定桿（35）。


3.根據權利要求2所述的石英管逐級清洗裝置，其特征在于：所述驅動組件（4）至少包括滑動設置在所述機架（1）上的滑動架（40），所述滑動架（40）上固設置有一驅動電機（41），所述驅動電機（41）的電機軸上固設有一主動輪；所述機架（1）上還樞軸設有一傳動桿（43），所述傳動桿（43）上固設有一從動輪（42），所述主動輪和從動輪（42）之間通過皮帶（44）傳動；所述傳動桿（43）的兩端均通過傳動端（45）與樞軸設置在所述機架（1）上的第一傳動絲桿（46）傳動連接，所述第一傳動絲桿（46）上設有與其為絲桿傳動的第一傳動螺母（47），每一所述第一傳動螺母（47）上均固設有一固定板（48），一個所述固定板（48）與相應地的所述固定桿（35）固接，另一所述固定板（48）通過拉伸組件（5）與相應地所述固定桿（35）固接。


4.根據權利要求3所述的石英管逐級清洗裝置，其特征在于：所述滑動組件（6）包括固設在所述滑動架（...

【專利技術屬性】
技術研發人員：白忠華，張少陽，裴文龍，陳晨，吳軍，
申請(專利權)人：蘇州芯矽電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32