石英管全自動化高潔凈清洗裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術揭示了一種石英管全自動化高潔凈清洗裝置，包括機架，所述機架上設有用以容置清洗液的清洗池和用以夾持石英管的夾持組件，所述夾持組件可由驅動組件驅動其相對所述清洗池上下移動；所述驅動組件上還固設有用以驅動所述夾持組件繞其樞軸點a轉動的拉伸組件，以使所述石英管的中軸線與水平面之間形成夾角。本實用新型專利技術的有益效果主要體現在：設計精巧，該裝置實現對石英管全自動化清洗，無需人工操作，杜絕人工操作產品的不可控制因素的影響，避免了對人體健康造成危害情況發生。

Quartz tube automatic high clean cleaning device

【技術實現步驟摘要】
石英管全自動化高潔凈清洗裝置
本技術涉及清洗設備
，具體而言，尤其涉及一種石英管全自動化高潔凈清洗裝置。
技術介紹
石英制品以其優良的物理化學特性被廣泛應用于集成電路芯片生產線。由于集成電路芯片的高規格要求，需要對所用的石英管進行嚴格的清洗。現有的石英管清洗設備人工操作繁瑣，不能實現一體化全自動清洗功能，其清洗液一般采用人工配制和手動加入，而清洗液一般采用強酸和強堿配制成一定比例后使用，因此采用人工操作會對人體健康造成危害，且人工操作會有很多不可控制因素，人體的疲勞程度、觀察角度和人員責任心都會影響清洗是否達到標準。
技術實現思路
本技術的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種石英管全自動化高潔凈清洗裝置。本技術的目的通過以下技術方案來實現：一種石英管全自動化高潔凈清洗裝置，包括機架，所述機架上設有用以容置清洗液的清洗池和用以夾持石英管的夾持組件，所述夾持組件可由驅動組件驅動其相對所述清洗池上下移動；所述驅動組件上還固設有用以驅動所述夾持組件繞其樞軸點a轉動的拉伸組件，以使所述石英管的中軸線與水平面之間形成夾角。優選的，所述夾持組件包括與驅動組件樞軸連接的支撐桿，所述支撐桿上固設有鉤爪，所述鉤爪的內表面呈與所述石英管的外圓周面相適配的內凹形狀；所述支撐桿的兩端還螺接有可相對移動的擋塊，所述擋塊呈三角狀，且兩個所述擋塊之間的距離與所述石英管的長度相當。優選的，所述支撐桿上還設有通過連接件與其樞軸連接的兩個固定桿，其中一個所述固定桿與所述驅動組件固接，另一所述固定桿與所述拉伸組件固接。優選的，所述連接件包括具有向下的兩個平行的延伸臂，所述延伸臂通過插銷與所述支撐桿樞軸連接，形成樞軸點a；所述延伸臂的上方為支撐面，所述支撐面的下表面與所述支撐桿之間存在間隙，所述支撐面的上表面與相應地所述固定桿固接。優選的，所述驅動組件至少包括滑動設置在所述機架上的滑動架，所述滑動架上固設置有一驅動電機，所述驅動電機的電機軸上固設有一主動輪；所述機架上還樞軸設有一傳動桿，所述傳動桿上固設有一從動輪，所述主動輪和從動輪之間通過皮帶傳動；所述傳動桿的兩端均通過傳動端與樞軸設置在所述機架上的第一傳動絲桿傳動連接，所述第一傳動絲桿上設有與其為絲桿傳動的第一傳動螺母，每一所述第一傳動螺母上均固設有一固定板，一個所述固定板與相應地的所述固定桿固接，另一所述固定板通過所述拉伸組件與相應地所述固定桿固接。優選的，所述拉伸組件包括固設在相應所述固定板上的支撐架，所述支撐架上固設有一伺服電機，所述伺服電機的電機軸上固設有一第一齒輪；所述伺服電機的一側設有一樞軸設置在所述支撐架上的第二傳動絲桿，所述第二傳動絲桿的底端設有與所述第一齒輪相嚙合的第二齒輪；所述第二傳動絲桿上還設有與其為絲桿傳動的第二滑動螺母，所述第二滑動螺母上固設有滑動框，相應地所述固定桿固設在所述滑動框上。優選的，所述支撐架上固設有位于所述固定桿兩側的支撐柱，所述滑動框通過直線軸承滑動設置在所述支撐柱上。優選的，所述支撐架上還設有用以感應所述滑動框位置的傳感器。優選的，所述清洗池上樞軸設有一組旋轉軸，所述旋轉軸上固設有一組交錯設置的轉輪，所述轉輪可與所述石英管的外圓周面緊貼。本技術的有益效果主要體現在：1、實現對石英管全自動化清洗，無需人工操作，杜絕人工操作產品的不可控制因素的影響，避免了對人體健康造成危害情況發生。同時，自動化程度高，極大地提高清洗效率；2、本技術中夾持組件將石英管夾持后，拉伸組件驅動夾持組件和石英管的一端向上移動，直至石英管的中軸線與水平面之間形成夾角，再將石英管放進至清洗池中，該設置可將石英管內的氣體完全排出，杜絕氣體附著于石英管內壁的情況發生，極大地提高清洗合格率；3、擋塊的設置可對石英管起到限位作用，防止石英管意外竄出，造成不必要的損壞，同時，擋塊之間可相對位置調節，達到自適應其它貴的石英管，通用性強，具有較廣的適用性；4、滑動框通過直線軸承滑動設置在支撐柱，該設置可起到導向作用，保證滑動框平穩滑動，避免石英管與鉤爪之間發生碰撞，造成不必要的損壞；5、旋轉軸轉動帶動轉輪轉動，轉輪可與石英管的外圓周面緊貼。轉輪轉動驅動石英管轉動，從而進一步提高清洗液對石英管內壁的清洗能力，提高清洗合格率。附圖說明下面結合附圖對本技術技術方案作進一步說明：圖1：本技術中石英管的立體圖；圖2：本技術第一方向的立體圖；圖3：圖2中A部分的放大圖；圖4：本技術第二方向的立體圖；圖5：圖4中B部分的放大圖；圖6：圖4中D部分的放大圖；圖7：圖4中E部分的放大圖；圖8：圖4中F部分的放大圖；圖9：本技術第三方向的立體圖；圖10：圖9中C部分的放大圖。具體實施方式以下將結合附圖所示的具體實施方式對本技術進行詳細描述。但這些實施方式并不限于本技術，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本技術的保護范圍內。不限于本技術，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本技術的保護范圍內。在本技術的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。此外，術語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本技術的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。在本技術的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接。可以是機械連接，也可以是電連接。可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以通過具體情況理解上述術語在本技術中的具體含義。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本技術。如圖1至圖10所示，本技術揭示了一種石英管全自動化高潔凈清洗裝置，包括機架1，所述機架1上設有三個以上并列橫置用以容置清洗液的清洗池2和用以夾持石英管100的夾持組件3，所述夾持組件3包括與驅動組件4樞軸連接的支撐桿31，所述支撐桿31上固設有鉤爪32，所述鉤爪32的內表面呈與所述石英管100的外圓周面相適配的內凹形狀。所述鉤爪32可對石英管100起到承載支撐作用。所述支撐桿31的兩端還螺接有本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.石英管全自動化高潔凈清洗裝置，包括機架（1），所述機架（1）上設有用以容置清洗液的清洗池（2）和用以夾持石英管（100）的夾持組件（3），所述夾持組件（3）可由驅動組件（4）驅動其相對所述清洗池（2）上下移動；其特征在于：所述驅動組件（4）上還固設有用以驅動所述夾持組件（3）繞其樞軸點（a）轉動的拉伸組件（5），以使所述石英管（100）的中軸線與水平面之間形成夾角。/n

【技術特征摘要】
1.石英管全自動化高潔凈清洗裝置，包括機架（1），所述機架（1）上設有用以容置清洗液的清洗池（2）和用以夾持石英管（100）的夾持組件（3），所述夾持組件（3）可由驅動組件（4）驅動其相對所述清洗池（2）上下移動；其特征在于：所述驅動組件（4）上還固設有用以驅動所述夾持組件（3）繞其樞軸點（a）轉動的拉伸組件（5），以使所述石英管（100）的中軸線與水平面之間形成夾角。


2.根據權利要求1所述的石英管全自動化高潔凈清洗裝置，其特征在于：所述夾持組件（3）包括與驅動組件（4）樞軸連接的支撐桿（31），所述支撐桿（31）上固設有鉤爪（32），所述鉤爪（32）的內表面呈與所述石英管（100）的外圓周面相適配的內凹形狀；所述支撐桿（31）的兩端還螺接有可相對移動的擋塊（33），所述擋塊（33）呈三角狀，且兩個所述擋塊（33）之間的距離與所述石英管（100）的長度相當。


3.根據權利要求2所述的石英管全自動化高潔凈清洗裝置，其特征在于：所述支撐桿（31）上還設有通過連接件（34）與其樞軸連接的兩個固定桿（35），其中一個所述固定桿（35）與所述驅動組件（4）固接，另一所述固定桿（35）與所述拉伸組件（5）固接。


4.根據權利要求3所述的石英管全自動化高潔凈清洗裝置，其特征在于：所述連接件（34）包括具有向下的兩個平行的延伸臂（36），所述延伸臂（36）通過插銷（38）與所述支撐桿（31）樞軸連接，形成樞軸點（a）；所述延伸臂（36）的上方為支撐面（37），所述支撐面（37）的下表面與所述支撐桿（31）之間存在間隙，所述支撐面（37）的上表面與相應地所述固定桿（35）固接。


5.根據權利要求3所述的石英管全自動化高潔凈清洗裝置，其特征在于：所述驅動組件（4）至少包括滑動設置在所述機架（1）上的滑動架（40），所述滑動架（40）上固設置有一驅動電機（41），所述驅動電機（41）的電機軸上固設有一主動輪；所述機架（1）上還樞...

【專利技術屬性】
技術研發人員：白忠華，張少陽，裴文龍，陳晨，吳軍，
申請(專利權)人：蘇州芯矽電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32