過程氣體泄漏源檢測系統與方法技術方案

一種過程氣體泄漏源檢測系統。一開放路徑式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統設置于該廠半導體制造廠的回風處，用以檢測泄漏氣體，并且通過一通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。一多采樣孔與抽氣式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統設置于該廠半導體制造廠內，用以利用設置于該廠半導體制造廠內的不同區域的管線收集并檢測泄漏氣體，并且通過該通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。一紅外光譜儀監測系統通過該通信網絡自該數據服務器取得該氣體成份信息。一過程尾氣管理系統通過該通信網絡自該紅外光譜儀監測系統取得該氣體成份信息以進行可能泄漏來源的分析處理與判斷。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術有關于一種檢測系統與方法，且特別有關于一種。
技術介紹
光電及半導體產業所使用的化學物質種類甚多，且部分深具危險性和有害性，但卻可能因意外而發生氣體泄漏，進而對晶片制造生產與從業人員健康造成傷害。為了避免危害性氣體泄漏對晶片制造所產生的傷害，光電及半導體廠皆大量使用氣體監測器。目前常用的氣體傳感器，可分為觸媒燃燒型氣體傳感器、半導體吸附型氣體傳感器、場效晶體管型氣體傳感器、電化學式氣體傳感器等等。然而，使用大量的氣體傳感器固然可以監控氣體泄漏的發生，但偶爾卻會產生誤警(False Alarm)事件，亦即某些氣體泄漏情況雖在可控制范圍內，但氣體傳感器仍會發出警示，此誤警事件也造成了許多非必要性的生產損失。因此，如何能夠準確檢測這些危害性的過程氣體與尾氣泄漏事件并掌握泄漏的來源，以避免非必要的監測器誤警損失，便成了現代晶片廠的一個重要課題。
技術實現思路
基于所述目的，本專利技術實施例公開了一種過程氣體泄漏源檢測系統，其包括一數據服務器、一開放路徑式FTIR(傅立葉轉換紅外光譜儀)檢測系統、一多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統、一IR(紅外光譜儀)監測系統、一過程尾氣管理系統以及一數據庫管理與氣體濃度查詢系統。該開放路徑式FTIR檢測系統設置于該廠半導體制造廠的回風處，用以檢測泄漏氣體，并且通過一通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。該多采樣孔與抽氣式FTI R檢測系統設置于該廠半導體制造廠內，用以利用設置于該廠半導體制造廠內的不同區域的管線收集并檢測泄漏氣體，并且通過該通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。該IR監測系統通過該通信網絡自該數據服務器取得該氣體成份信息。該過程尾氣管理系統通過該通信網絡自該IR監測系統取得該氣體成份信息以進行可能泄漏來源的分析處理與判斷。本專利技術實施例更公開了一種過程氣體泄漏源檢測方法。提供一開放路徑式FTIR檢測系統、一多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統、一IR監測系統、一過程尾氣管理系統、一數據庫管理與氣體濃度查詢系統以及一數據服務器，其中該開放路徑式FTIR檢測系統設置于該廠半導體制造廠的回風處。利用該開放路徑式FTIR檢測系統并通過一通信網絡，將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。利用該多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統并通過該通信網絡，將利用設置于該廠半導體制造廠內的不同區域的管線檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。利用該IR監測系統并通過該通信網絡自該數據服務器取得該氣體成份信息。利用該過程尾氣管理系統并通過該通信網絡自該IR監測系統取得該氣體成份信息以進行可能泄漏來源的分析處理與判斷，以及利用一數據庫管理與氣體濃度查詢系統并通過該通信網絡，查詢該數據服務器中的該氣體成份信息。附圖說明圖1表示本專利技術實施例的光學式氣體泄漏源檢測系統的結構示意圖。圖2表示本專利技術實施例的過程氣體泄漏源檢測方法的步驟流程圖。符號說明100～氣體泄漏源檢測系統110～開放路徑式FTIR檢測系統120～多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統130～IR監測系統140～網絡服務器150～過程尾氣管理系統160～數據庫管理與氣體濃度查詢系統170～數據服務器180～通信網絡 具體實施例方式為了讓本專利技術的目的、特征、及優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合附1至圖2，進行詳細的說明。本專利技術說明書提供不同的實施例來說明本專利技術不同實施方式的技術特征。其中，實施例中的各組件的配置為說明之用，并非用以限制本專利技術。且實施例中附圖標號的部分重復，為了簡化說明，并非意指不同實施例之間的關聯性。本專利技術實施例公開了一種。通過本專利技術實施例的氣體檢測方法所開發的電子化過程排氣管理系統，結合傅立葉轉換紅外光譜儀(Fourier Transform Infrared Spectrometer，以下簡稱為FTIR)與空氣品質監測及警示系統，可迅速檢測氣體泄露來源并排除異常狀況。圖1表示本專利技術實施例的光學式氣體泄漏源檢測系統的結構示意圖。本專利技術實施例的光學式氣體泄漏源檢測系統100包括一開放路徑式(Open-Path)FTIR檢測系統110、一多采樣孔與抽氣式(Multi-portExtractive)FTIR檢測系統120、一紅外光譜儀(Infrared Spectrometer，以下簡稱為IR)監測系統130、一網絡服務器(Web Server)140以及一數據服務器170，網絡服務器140又包括一過程尾氣管理系統150與一數據庫管理與氣體濃度查詢系統160。欲檢測氣體泄漏首先需檢測到空氣中的異常狀態。為了可檢測到大量未反應毒害過程氣體、原料氣體或經過反應的過程副產物，故需要使用一種靈敏且可大范圍檢測的氣體傳感器。因此，本專利技術實施例的開放路徑式FTIR檢測系統110利用一種開放路徑式FTIR以檢測潔凈室的氣體，該開放路徑式FTIR具有低檢測下限、高靈敏度以及可同時追蹤90％以上原料氣體等特性。開放路徑式FTIR檢測系統110設置于光電半導體廠內的回風處(未顯示)，以檢測整廠的空氣品質狀態。此外，對于特定檢測死角與危害性特別高的地點(未顯示)，可搭配多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統120作定時定點的監測。若FTIR欲達到高靈敏度的特性，需使用工作溫度為77K的液態氮冷卻式硫化汞-碲化鎘復合物(Mercury Cadmium Telluride，MCT)檢測器。多采樣孔與抽氣式FTIR系統通過設置于各區域的氣體檢測管線(pipeline)，收集欲采樣的區域的氣體并通過一抽氣式FTIR多種氣體分析儀(ExtractiveFTIR multi-gas analyzer)對氣體進行分析。傳統的氣體檢測系統需設置多個傳感器(Sensor)以分析檢測到的氣體成份，故本專利技術實施例的氣體檢測系統的配置方式可節省大量成本并且增進分析效率。開放路徑式FTIR檢測系統110與多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統120將檢測到的氣體成份相關信息，可經由通信網絡(內部網絡(Intranet)或因特網(Internet))180傳送到數據服務器170，以做為查詢之用。IR監測系統130自數據服務器170取得最新的各種氣體的濃度變化信息，并且當數據服務器170取得新的信息時即進行實時更新。過程尾氣管理系統150提供搜尋異常氣體泄漏所需的過程相關信息的功能。當IR監測系統130檢測到氣體濃度超過設定的警戒值時會發出警報，并且自動啟動過程尾氣管理系統150(或可由使用者以手動方式啟動)。過程尾氣管理系統150啟動后，即接收IR監測系統130所傳送過來的有害物信息并自動進行分析處理，然后將分析結果所得的化合物或其它異常狀況顯示于顯示屏上，如氣體警報出現的時間、地點、機臺位置與機臺加工時間，以快速找到泄漏的機臺管路或干式真空泵(Dry Pump)。使用者可經由所述通信網絡登入到網絡服務器140中的數據庫管理與氣體濃度查詢系統160，以直接查詢氣體檢測的相關信息。圖2表示本專利技術實施例的過程氣體泄漏源檢測方法的步驟流程圖。首先，提供一開放路徑式FTIR檢測系統、一多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統、一IR監測系統、一過程尾氣管理系統、一數據庫管理與氣體濃度查詢系統以及一數據服務器(步驟S1)。利用該開放路徑式FTIR檢測本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種過程氣體泄漏源檢測系統，其適用于一制造廠的過程控制，包括：一數據服務器；一開放路徑式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統，其設置于所述制造廠的回風處，用以檢測泄漏氣體，并且通過一通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至所述數據服務 器；一多采樣孔與抽氣式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統，其設置于所述制造廠內，用以利用設置于所述制造廠內的不同區域的管線收集并檢測泄漏氣體，并且通過所述通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至所述數據服務器；一紅外光譜儀監測系統， 用以通過所述通信網絡自所述數據服務器取得所述氣體成份信息；以及一過程尾氣管理系統，用以通過所述通信網絡自所述紅外光譜儀監測系統取得所述氣體成份信息以進行泄漏來源的分析處理與判斷。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：呂建豪，顏紹儀，施惠雅，游生任，
申請(專利權)人：財團法人工業技術研究院，
類型：發明
國別省市：71[中國|臺灣]