一種LED外延用石墨托盤制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)提供一種LED外延用石墨托盤。所述LED外延用石墨托盤包括石墨托盤本體；若干個放置槽，若干個所述放置槽均開設(shè)在所述石墨托盤本體的頂部；第一固定塊，所述第一固定塊固定安裝在所述石墨托盤本體的底部；滑桿，所述滑桿固定安裝在所述第一固定塊上，所述滑桿的頂端延伸至所述石墨托盤本體外；第二固定塊，所述第二固定塊固定安裝在所述滑桿的頂端；石墨環(huán)板，所述石墨環(huán)板滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述石墨環(huán)板位于所述石墨托盤本體和所述第二固定塊之間，所述石墨環(huán)板的底部和所述石墨托盤本體的頂部相接觸。本實(shí)用新型專利技術(shù)提供的LED外延用石墨托盤具有使用方便、能夠承載多個晶片，且能夠?qū)Ψ胖迷谄渲芯M(jìn)行保護(hù)的優(yōu)點(diǎn)。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種LED外延用石墨托盤
本技術(shù)涉及石墨托盤
，尤其涉及一種LED外延用石墨托盤。
技術(shù)介紹
金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)等半導(dǎo)體外延生長技術(shù)是LED芯片等半導(dǎo)體器件研究及產(chǎn)業(yè)化中的最關(guān)鍵技術(shù)，MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。MOCVD是以III族、II族元素的有機(jī)化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長各種III-V主族、II-VI副族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。然而傳統(tǒng)的承載晶圓(或晶片)的托盤(通常為石墨托盤)是MOCVD設(shè)備中最核心的部件之一，但是現(xiàn)有的石墨托盤只能承載一個尺寸的晶圓，適用范圍小，且現(xiàn)有的托盤沒有一個相適配的蓋子，對于放置在其中的晶片沒有良好的保護(hù)。因此，有必要提供一種新的LED外延用石墨托盤解決上述技術(shù)問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)解決的技術(shù)問題是提供一種使用方便、能夠承載多個晶片，且能夠?qū)Ψ胖迷谄渲芯M(jìn)行保護(hù)的LED外延用石墨托盤。為解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)提供的LED外延用石墨托盤包括：石墨托盤本體；若干個放置槽，若干個所述放置槽均開設(shè)在所述石墨托盤本體的頂部；第一固定塊，所述第一固定塊固定安裝在所述石墨托盤本體的底部；滑桿，所述滑桿固定安裝在所述第一固定塊上，所述滑桿的頂端延伸至所述石墨托盤本體外；第二固定塊，所述第二固定塊固定安裝在所述滑桿的頂端；石墨環(huán)板，所述石墨環(huán)板滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述石墨環(huán)板位于所述石墨托盤本體和所述第二固定塊之間，所述石墨環(huán)板的底部和所述石墨托盤本體的頂部相接觸；頂蓋，所訴頂蓋固定安裝在所述所述石墨環(huán)板的頂部，所述頂蓋和所述滑桿滑動連接；滑環(huán)，所述滑環(huán)滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述滑環(huán)位于所述第二固定塊和所述頂蓋之間，所述滑環(huán)的底部和所述頂蓋的頂部固定連接；把手，所述把手固定安裝在所述滑環(huán)的一側(cè)；彈簧，所述彈簧滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述彈簧的頂端和所述第二固定塊的底部固定連接，所述彈簧的底端和所述滑環(huán)的頂部固定連接；滑孔，所述滑孔開設(shè)在所述頂蓋上，所述滑桿和所述滑孔的內(nèi)壁滑動連接；四個支撐腿，四個所述支撐腿均固定安裝在所述石墨托盤本體的底部，四個所述支撐腿呈矩形陣列分布。優(yōu)選的，所述石墨托盤本體呈圓形。優(yōu)選的，若干個所述放置槽均呈圓形，若干個所述放置槽均勻分布。優(yōu)選的，所述滑桿位于若干個所述放置槽之間。優(yōu)選的，所述彈簧為耐高溫材質(zhì)。與相關(guān)技術(shù)相比較，本技術(shù)提供的LED外延用石墨托盤具有如下有益效果：本技術(shù)提供一種LED外延用石墨托盤，通過多個放置槽的形式可以放置更多的產(chǎn)品，增加了收納的能力，相配合使用的頂蓋對內(nèi)部放置的物品進(jìn)行保護(hù)。附圖說明圖1為本技術(shù)提供的LED外延用石墨托盤的一種較佳實(shí)施例的主視剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中所示A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本技術(shù)中石墨托盤本體的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)號：1、石墨托盤本體，2、放置槽，3、第一固定塊，4、滑桿，5、第二固定塊，6、石墨環(huán)板，7、頂蓋，8、滑環(huán)，9、把手，10、彈簧，11、滑孔，12、支撐腿。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對本技術(shù)作進(jìn)一步說明。請結(jié)合參閱圖1、圖2和圖3，其中，圖1為本技術(shù)提供的LED外延用石墨托盤的一種較佳實(shí)施例的主視剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中所示A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本技術(shù)中石墨托盤本體的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。LED外延用石墨托盤包括：石墨托盤本體1；若干個放置槽2，若干個所述放置槽2均開設(shè)在所述石墨托盤本體1的頂部；第一固定塊3，所述第一固定塊3固定安裝在所述石墨托盤本體1的底部；滑桿4，所述滑桿4固定安裝在所述第一固定塊3上，所述滑桿4的頂端延伸至所述石墨托盤本體1外；第二固定塊5，所述第二固定塊5固定安裝在所述滑桿4的頂端；石墨環(huán)板6，所述石墨環(huán)板6滑動套設(shè)在所述滑桿4上，所述石墨環(huán)板6位于所述石墨托盤本體1和所述第二固定塊5之間，所述石墨環(huán)板6的底部和所述石墨托盤本體1的頂部相接觸；頂蓋7，所訴頂蓋7固定安裝在所述所述石墨環(huán)板6的頂部，所述頂蓋7和所述滑桿4滑動連接；滑環(huán)8，所述滑環(huán)8滑動套設(shè)在所述滑桿4上，所述滑環(huán)8位于所述第二固定塊5和所述頂蓋7之間，所述滑環(huán)8的底部和所述頂蓋7的頂部固定連接；把手9，所述把手9固定安裝在所述滑環(huán)8的一側(cè)；彈簧10，所述彈簧10滑動套設(shè)在所述滑桿4上，所述彈簧10的頂端和所述第二固定塊5的底部固定連接，所述彈簧10的底端和所述滑環(huán)8的頂部固定連接；滑孔11，所述滑孔11開設(shè)在所述頂蓋7上，所述滑桿4和所述滑孔11的內(nèi)壁滑動連接；四個支撐腿12，四個所述支撐腿12均固定安裝在所述石墨托盤本體1的底部，四個所述支撐腿12呈矩形陣列分布。所述石墨托盤本體1呈圓形。若干個所述放置槽2均呈圓形，若干個所述放置槽2均勻分布。所述滑桿4位于若干個所述放置槽2之間。所述彈簧10為耐高溫材質(zhì)。本技術(shù)提供的LED外延用石墨托盤的工作原理如下：在放置晶片時，通過以第二固定塊5為支點(diǎn)，向上挑起把手9，把手9帶動滑環(huán)8向上滑動，同時通過連接作用使滑環(huán)8帶動頂蓋7，頂蓋7帶動石墨環(huán)板6上升，此時彈簧10處于壓縮狀態(tài)，這時可把晶片放置在放置槽2內(nèi)進(jìn)行保存，全部放置完畢后，松開把手9，在彈簧10的復(fù)位下使石墨環(huán)板6和放置槽2處于密封狀態(tài)，對其中的晶片進(jìn)行保護(hù)。與相關(guān)技術(shù)相比較，本技術(shù)提供的LED外延用石墨托盤具有如下有益效果：本技術(shù)提供一種LED外延用石墨托盤，通過多個放置槽2的形式可以放置更多的產(chǎn)品，增加了收納的能力，相配合使用的頂蓋對內(nèi)部放置的物品進(jìn)行保護(hù)。以上所述僅為本技術(shù)的實(shí)施例，并非因此限制本技術(shù)的專利范圍，凡是利用本技術(shù)說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其它相關(guān)的
，均同理包括在本技術(shù)的專利保護(hù)范圍內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種LED外延用石墨托盤，其特征在于，包括：/n石墨托盤本體；/n若干個放置槽，若干個所述放置槽均開設(shè)在所述石墨托盤本體的頂部；/n第一固定塊，所述第一固定塊固定安裝在所述石墨托盤本體的底部；/n滑桿，所述滑桿固定安裝在所述第一固定塊上，所述滑桿的頂端延伸至所述石墨托盤本體外；/n第二固定塊，所述第二固定塊固定安裝在所述滑桿的頂端；/n石墨環(huán)板，所述石墨環(huán)板滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述石墨環(huán)板位于所述石墨托盤本體和所述第二固定塊之間，所述石墨環(huán)板的底部和所述石墨托盤本體的頂部相接觸；/n頂蓋，所訴頂蓋固定安裝在所述石墨環(huán)板的頂部，所述頂蓋和所述滑桿滑動連接；/n滑環(huán)，所述滑環(huán)滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述滑環(huán)位于所述第二固定塊和所述頂蓋之間，所述滑環(huán)的底部和所述頂蓋的頂部固定連接；/n把手，所述把手固定安裝在所述滑環(huán)的一側(cè)；/n彈簧，所述彈簧滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述彈簧的頂端和所述第二固定塊的底部固定連接，所述彈簧的底端和所述滑環(huán)的頂部固定連接；/n滑孔，所述滑孔開設(shè)在所述頂蓋上，所述滑桿和所述滑孔的內(nèi)壁滑動連接；/n四個支撐腿，四個所述支撐腿均固定安裝在所述石墨托盤本體的底部，四個所述支撐腿呈矩形陣列分布。/n...

【技術(shù)特征摘要】
1.一種LED外延用石墨托盤，其特征在于，包括：
石墨托盤本體；
若干個放置槽，若干個所述放置槽均開設(shè)在所述石墨托盤本體的頂部；
第一固定塊，所述第一固定塊固定安裝在所述石墨托盤本體的底部；
滑桿，所述滑桿固定安裝在所述第一固定塊上，所述滑桿的頂端延伸至所述石墨托盤本體外；
第二固定塊，所述第二固定塊固定安裝在所述滑桿的頂端；
石墨環(huán)板，所述石墨環(huán)板滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述石墨環(huán)板位于所述石墨托盤本體和所述第二固定塊之間，所述石墨環(huán)板的底部和所述石墨托盤本體的頂部相接觸；
頂蓋，所訴頂蓋固定安裝在所述石墨環(huán)板的頂部，所述頂蓋和所述滑桿滑動連接；
滑環(huán)，所述滑環(huán)滑動套設(shè)在所述滑桿上，所述滑環(huán)位于所述第二固定塊和所述頂蓋之間，所述滑環(huán)的底部和所述頂蓋的頂部固定連接；
把手，所述把手固定安裝在所述滑環(huán)的一側(cè)...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：周明明，孫豐武，
申請(專利權(quán))人：青島持久高新材料有限公司，
類型：新型
國別省市：山東;37