本實用新型專利技術提供一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，包括：第一圓環(1)，第二圓環(2)，翻轉桿(3)，旋轉桿(6)，固定螺絲(7)，第一旋轉電機(8)，步進電機(9)，第二旋轉電機(10)，升降電機(11)；樣品(12)為圓盤形，固定在石墨夾具上，第二圓環置于第一圓環內部并且相互垂直，第一圓環和第二圓環部分固定連接在一起，翻轉桿與第一圓環和第二圓環上的圓形通孔適配連接，旋轉桿與第一圓環適配連接，第一旋轉電機與步進電機均與翻轉桿連接，第二旋轉電機和升降電機與旋轉桿連接，升降電機控制旋轉桿的上下伸縮，實現旋轉桿與夾具的連接和斷開，第二旋轉電機帶動旋轉桿自轉。
【技術實現步驟摘要】
一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具
本技術涉及半導體行業化學氣相沉積(CVD)
，特別是一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具。
技術介紹
化學氣相沉積(chemicalvapordeposition,簡稱CVD)是指原料氣在產品表面發生化學反應沉積涂層的技術，化學氣相沉積技術(CVD)是半導體行業廣泛應用的材料生長技術，用于在產品表面生產各種功能性的薄層材料?；瘜W氣相沉積包括熱壁CVD和冷壁CVD，其中熱壁CVD是指化學反應進行的爐腔采用加熱器熱輻射加熱的技術，爐膛和產品的溫度同時被加熱，相對應的冷壁CVD指的是產品通過線圈直接感應加熱，爐膛沒有被加熱是涼的。其中熱壁CVD技術常用來在較大產品比如石墨表面沉積保護性涂層，涂層材料包括SiC，TiC和TiCN，BN等。石墨為多孔性材料，高純石墨具有高溫穩定性和極低的雜質含量，因此在半導體芯片生長中廣泛應用。通過高溫沉積致密的陶瓷涂層材料可以將石墨表面的孔封閉，能夠阻止石墨在使用過程中釋放雜質氣體，從而避免污染芯片。在化學氣相沉積中均會使用夾具，即在CVD設備爐膛內用來放置產品的貨架，可以重復使用，通常采用石墨材質制造。鍍在產品表面的薄層材料形成的涂層起保護和增加電學功能的作用，由于比半導體領域用的外延和電極薄膜的厚度大很多，達到幾十到幾百微米，因此稱為涂層作為區分。熱壁CVD技術使用的爐體有臥式和立式放置兩種，其中臥式CVD鍍膜機是將CVD用的圓筒形爐體水平放置，反應氣體沿水平方向通過爐體，結構簡單，安裝方便，在科研和企事業單位中廣泛使用。臥室CVD鍍膜機工作時，反應原料氣沿水平方向通過爐體，氣體濃度沿著行進方向遞減，涂層沉積速度沿著氣體行進方向同時遞減，結果較大尺寸的產品上的涂層前后厚度不均勻。在熱壁化學氣相沉積(下簡稱熱壁CVD)沉積涂層的技術里存在兩個問題急需解決：1、反應氣體由單一方向通過平行爐體，氣體濃度沿著行進方向遞減，涂層沉積速度沿著氣體行進方向同時遞減，結果較大尺寸的產品上的涂層前后厚度不均勻，由于半導體行業對涂層石墨盤上涂層的均勻性要求較高，需要解決產品上涂層前后厚度不均勻的問題?，F有的方法將產品傾斜放置，不斷調整產品傾斜角度和工藝參數來實現涂層均勻，由于傾斜角度和工藝參數相互影響，這種方法實現難度較大，不能形成統一標準，使用不同的機器后需要重新調整，費時費力。2、爐腔和夾具用的石墨部件在CVD設備里重復使用，表面的涂層厚度達到毫米量級，涂層崩膜掉落的爐渣會落到產品上，在繼續CVD的過程中粘在產品上，污染產品。傳統的解決方法是通過頻繁更換夾具和爐膛部件，雖然可以減少爐渣對產品的污染，但是更換費用高，難以控制成本。因此需要設計新的夾具方案，再利用熱壁CVD技術在石墨表面沉積涂層，做成涂層石墨產品供半導體行業使用，以解決以上兩個問題。
技術實現思路
為了克服現有技術存在的上述問題，本技術提供一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，解決了產品兩側、中心涂層厚度不均勻的問題，使用了可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，爐膛掉渣不會粘在樣品上，解決了爐渣污染樣品和頻繁更換治具導致的高成本問題。具體功能詳細說明如下：為了實現上述目的，本技術通過如下的技術方案來實現：一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，包括：第一圓環(1)，第二圓環(2)，翻轉桿(3)，旋轉桿(6)，固定螺絲(7)，第一旋轉電機(8)，步進電機(9)，第二旋轉電機(10)，升降電機(11)；樣品(12)為圓盤形，固定在所述石墨夾具上，所述第二圓環(2)置于所述第一圓環(1)內部并且相互垂直，所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)部分固定連接在一起，所述翻轉桿(3)與所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)上的圓形通孔適配連接，所述旋轉桿(6)與所述第一圓環(1)適配連接，所述第一旋轉電機(8)與所述步進電機(9)均與所述翻轉桿(3)連接，所述第二旋轉電機(10)和所述升降電機(11)與所述旋轉桿(6)連接，所述升降電機(11)控制所述旋轉桿(6)的上下伸縮，可以實現所述旋轉桿(6)與夾具的連接和斷開，所述第二旋轉電機(10)帶動所述旋轉桿(6)自轉。優選的，所述第一圓環(1)的直徑大于所述第二圓環(2)的直徑。優選的，所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)的左側通過螺絲外絲(4)和螺帽(5)固定，所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)的右側相互接觸形成接觸部。優選的，所述接觸部位置處在所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)上各有一個同樣大的方形通孔。優選的，所述翻轉桿(3)頭部為方形。優選的，所述第一圓環(1)的上、下部各有一個卡口，所述旋轉桿(6)的頭部與所述卡口適配連接，從所述卡口伸入所述夾具內支撐整個夾具。優選的，所述步進電機(9)控制所述翻轉桿(3)的方形頭部與所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)上通孔的連接和斷開，所述第一旋轉電機(8)帶動所述翻轉桿(3)自轉。優選的，所述第二圓環(2)內部均勻分布有4個卡口，采用固定螺絲將所述圓盤形產品或樣品(12)固定在所述第二圓環(2)上。本技術的有益效果：與現有技術相比，采用兩套獨立的電機使圓盤形產品交替實現旋轉和翻滾的功能，旋轉功能使圓形產品的前后涂層厚度相同，翻滾功能使爐膛掉渣不會粘在樣品上，解決了爐渣污染樣品和頻繁更換治具導致的高成本問題。根據下文結合附圖對本專利技術具體實施例的詳細描述，本領域技術人員將會更加明了本專利技術的上述以及其他目的、優點和特征。附圖說明后文將參照附圖以示例性而非限制性的方式詳細描述本專利技術的一些具體實施例。附圖中相同的附圖標記標示了相同或類似的部件或部分。本領域技術人員應該理解，這些附圖未必是按比例繪制的。本專利技術的目標及特征考慮到如下結合附圖的描述將更加明顯，附圖中：附圖1為根據本技術實施例的可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具結構主示意圖。附圖2為根據本技術實施例的可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具旋轉桿與翻轉桿結構主示意圖；附圖3為根據本技術實施例的可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具結構俯視圖；附圖4為根據本技術實施例的可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具結構立體示意圖。具體實施方式下面結合附圖對本專利技術的具體實施方式進行詳細說明，但并不用來限制本專利技術的保護范圍。參見圖1-4，一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，包括：第一圓環1，第二圓環2，翻轉桿3，旋轉桿6，固定螺絲7，第一旋轉電機8，步進電機9，第二旋轉電機10，升降電機11；樣品12為圓盤形，固定在石墨夾具上，第二圓環2置于第一圓環1內部并且相互垂直，第一圓環1和第二圓環2部分固定連接在一起，翻轉桿3與第一圓環1和第二圓環2上的圓形通孔適配連接，旋轉桿6與第一圓環1適配連接，第一旋轉電機8與步進本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，其特征在于包括：第一圓環(1)，第二圓環(2)，翻轉桿(3)，旋轉桿(6)，固定螺絲(7)，第一旋轉電機(8)，步進電機(9)，第二旋轉電機(10)，升降電機(11)；樣品(12)為圓盤形，固定在所述石墨夾具上，所述第二圓環(2)置于所述第一圓環(1)內部并且相互垂直，所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)部分固定連接在一起，所述翻轉桿(3)與所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)上的圓形通孔適配連接，所述旋轉桿(6)與所述第一圓環(1)適配連接，所述第一旋轉電機(8)與所述步進電機(9)均與所述翻轉桿(3)連接，所述第二旋轉電機(10)和所述升降電機(11)與所述旋轉桿(6)連接，所述升降電機(11)控制所述旋轉桿(6)的上下伸縮，可以實現所述旋轉桿(6)與夾具的連接和斷開，所述第二旋轉電機(10)帶動所述旋轉桿(6)自轉。/n
【技術特征摘要】
1.一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，其特征在于包括：第一圓環(1)，第二圓環(2)，翻轉桿(3)，旋轉桿(6)，固定螺絲(7)，第一旋轉電機(8)，步進電機(9)，第二旋轉電機(10)，升降電機(11)；樣品(12)為圓盤形，固定在所述石墨夾具上，所述第二圓環(2)置于所述第一圓環(1)內部并且相互垂直，所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)部分固定連接在一起，所述翻轉桿(3)與所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)上的圓形通孔適配連接，所述旋轉桿(6)與所述第一圓環(1)適配連接，所述第一旋轉電機(8)與所述步進電機(9)均與所述翻轉桿(3)連接，所述第二旋轉電機(10)和所述升降電機(11)與所述旋轉桿(6)連接，所述升降電機(11)控制所述旋轉桿(6)的上下伸縮，可以實現所述旋轉桿(6)與夾具的連接和斷開，所述第二旋轉電機(10)帶動所述旋轉桿(6)自轉。
2.根據權利要求1所述的一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，其特征在于：所述第一圓環(1)的直徑大于所述第二圓環(2)的直徑。
3.根據權利要求1所述的一種可翻轉產品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，其特征在于：所述第一圓環(1)和所述第二圓環(2)的左側通過螺絲外絲(4)和螺帽...
【專利技術屬性】
技術研發人員：盛鋒鋒，周李偉，丁柳寧，陳嘉琪，劉超，
申請(專利權)人：浙江六方碳素科技有限公司，
類型：新型
國別省市：浙江;33
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