宏觀檢查裝置和宏觀檢查方法制造方法及圖紙

一種宏觀檢查裝置，其具有：基板保持器，其保持接受檢查的基板；宏觀照明光學(xué)系統(tǒng)，其將照明光照射到所述基板上；基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其支承所述基板保持器，同時(shí)，在所述基板被所述照明光照射的狀態(tài)下，控制所述基板保持器的姿態(tài)；基板搬送機(jī)構(gòu)，其在與所述基板保持器之間進(jìn)行所述基板的交接；基板浮起機(jī)構(gòu)，其通過對(duì)交接在所述基板保持器上的所述基板進(jìn)行空氣的噴出，使該基板從所述基板保持器上浮起；基板定位機(jī)構(gòu)，其使通過該基板浮起機(jī)構(gòu)而處于浮起狀態(tài)的所述基板定位在所述基板保持器上的基準(zhǔn)位置；以及基板固定機(jī)構(gòu)，其將由該基板定位機(jī)構(gòu)定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及在玻璃基板等大型基板的外觀檢查中使用的宏觀檢查裝置，以及利用該宏觀檢查裝置的宏觀檢查方法。本申請(qǐng)以特愿2004-279990號(hào)、特愿2004-279991號(hào)、以及特愿2004-279992號(hào)作為基礎(chǔ)申請(qǐng)，并引用它們的內(nèi)容。
技術(shù)介紹
在液晶顯示器(LCD)等平板顯示器(FPD)的制造工序中，存在用目視檢查(宏觀檢查)在各制造工序中制造的透明基板(例如主玻璃基板。以下，簡(jiǎn)稱為玻璃基板)的外觀的檢查工序。在該檢查工序中，利用基板外觀檢查裝置，該基板外觀檢查裝置通過在將保持玻璃基板的基板保持器立起成預(yù)定角度的狀態(tài)下從上方照射宏觀照明光，就能夠進(jìn)行該玻璃基板上的缺陷檢查。下述專利文獻(xiàn)1中所述的宏觀檢查裝置具有基板保持器，其由具有比矩形狀的玻璃基板稍小的開口部的矩形框狀的框體構(gòu)成；以及2軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其可進(jìn)行如下旋轉(zhuǎn)用于將基板保持器以朝向觀察者側(cè)的方式立起成預(yù)定角度的上下方向的旋轉(zhuǎn)、以及用于使基板保持器擺動(dòng)·翻轉(zhuǎn)的左右方向的旋轉(zhuǎn)。在該宏觀檢查裝置中，用基板保持器的上面支承基板背面的周邊部。在基板保持器的上面，設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)，該定位機(jī)構(gòu)夾持玻璃基板并對(duì)其進(jìn)行定位。該定位機(jī)構(gòu)具有多個(gè)基準(zhǔn)銷，限制玻璃基板的相互鄰接的2邊的基準(zhǔn)位置，該玻璃基板沿基板保持器的矩形開口部的相互鄰接的2邊被固定；以及壓緊銷，其面對(duì)這些基準(zhǔn)銷，沿基板保持器的矩形開口部相互鄰接的其它2邊設(shè)置，可向上述各基準(zhǔn)銷側(cè)移動(dòng)。在將玻璃基板載置于基板保持器上的狀態(tài)下，通過將各壓緊銷壓緊在玻璃基板側(cè)，玻璃基板的2邊抵靠在各基準(zhǔn)銷上，其結(jié)果，被定位在基板保持器上的基準(zhǔn)位置。下述專利文獻(xiàn)2中所述的宏觀檢查裝置具有基板保持器，其保持玻璃基板；以及提升驅(qū)動(dòng)部，其連接到該基板保持器的中央部。通過交換基板保持器的前端部和后端部，使基板保持器向表面?zhèn)然虮趁鎮(zhèn)绒D(zhuǎn)動(dòng)。在該宏觀檢查裝置中，可以通過在使基板保持器向表面?zhèn)绒D(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，從上方進(jìn)行宏觀照明，來進(jìn)行表面的目視觀察，通過在使其向背面?zhèn)绒D(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，進(jìn)行后照光照明，來進(jìn)行背面的目視觀察。下述專利文獻(xiàn)3中表示的宏觀檢查裝置，是用于目視檢查與FPD用玻璃基板(2000mm)相比，為200mm、300mm非常小的晶片(wafer)基板的檢查裝置。該宏觀檢查裝置具有機(jī)械手，該機(jī)械手在其臂的前端具有可自由扭轉(zhuǎn)的手腕部，該臂沿水平方向轉(zhuǎn)動(dòng)自由地連接到基座(base)上。在上述手腕部的前端，安裝有晶片保持器，其把持晶片基板并進(jìn)行自轉(zhuǎn)。用晶片保持器把持由晶片出入機(jī)搬送的晶片基板的周邊，并通過使手腕部扭轉(zhuǎn)，來使晶片基板向表面?zhèn)然虮趁鎮(zhèn)茸赞D(zhuǎn)，進(jìn)行姿態(tài)控制，從而可以進(jìn)行晶片基板的定位及其表背面的目視觀察。專利文獻(xiàn)1特開平7-306153號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開平11-94752號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3特開平8-125004號(hào)公報(bào)但是，在FPD用的宏觀檢查裝置中，基片尺寸逐年大型化，目前，已出現(xiàn)一個(gè)邊超過2000mm、接近3000mm的玻璃基板。伴隨玻璃基板的大型化，基板保持器也必須大型化，但當(dāng)基板保持器大型化時(shí)，就存在施加到使基板保持器旋轉(zhuǎn)·擺動(dòng)的基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的負(fù)荷變大的問題。特別地，在要實(shí)現(xiàn)利用多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手作為基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過該多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手懸臂支承基板保持器，使基板保持器立起成預(yù)定角度來用目視進(jìn)行檢查的宏觀檢查裝置的情況下，由于大的負(fù)荷施加到多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手上，因此，實(shí)現(xiàn)困難。此外，當(dāng)基板保持器的尺寸變大時(shí)，用于使基板保持器擺動(dòng)的空間也必須變大，因此，就存在裝置大型化的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)鑒于上述狀況而完成的，其目的在于，降低施加到使基板保持器旋轉(zhuǎn)·擺動(dòng)的基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的負(fù)擔(dān)。此外，其目的還在于防止裝置的大型化。此外，在現(xiàn)有的宏觀檢查裝置中，由于在基板保持器的一邊設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸，進(jìn)行懸臂支承，因此，伴隨該基板保持器的大型化，當(dāng)使重的基板保持器轉(zhuǎn)動(dòng)后停止時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生基板保持器的前端部振動(dòng)大的問題。如果在基板保持器停止時(shí)產(chǎn)生振動(dòng)，則直到靜止為止就要相當(dāng)長的時(shí)間。因此，在基板保持器靜止之前，就不能由搬送裝置進(jìn)行基板的交接，隨著待機(jī)時(shí)間的增加，相應(yīng)地，就會(huì)產(chǎn)生檢查所需的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間增加的問題。特別地，當(dāng)要實(shí)現(xiàn)通過多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手懸臂支承基板保持器的宏觀檢查裝置的情況下，當(dāng)通過多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手，使基板保持器停止在基板的交接位置時(shí)，由于在基板保持器的前端部上施加大的轉(zhuǎn)矩，使基板保持器振動(dòng)，因此實(shí)現(xiàn)困難。本專利技術(shù)就是鑒于上述狀況而完成的，其目的在于，使由基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)自由·擺動(dòng)自由地支承的基板保持器，迅速地靜止在基板的交接位置上，從而，實(shí)現(xiàn)基板交接的平穩(wěn)化，縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，實(shí)現(xiàn)檢查的高效化。此外，其目的還在于，通過對(duì)基板保持器上的基板迅速地進(jìn)行定位，縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，實(shí)現(xiàn)檢查的高效化。此外，為了能自由地控制基板保持器的姿態(tài)，用多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手懸臂支承基板保持器的宏觀檢查裝置的實(shí)用化正在進(jìn)展。在像晶片基板那樣的小型且重量輕的基板中，如上述引用文獻(xiàn)3所示，即使懸臂支承基板保持器，由基板保持器停止時(shí)的基板保持器的振動(dòng)產(chǎn)生的影響也很小，此外，施加到連接部位的負(fù)荷也小，因此，可以沒有問題地進(jìn)行處理。但是，保持FPD用的大型玻璃基板的基板保持器，存在著大型·重量化的傾向。從而，當(dāng)要利用懸臂支承該基板保持器的多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手，對(duì)基板保持器在多方向進(jìn)行姿態(tài)控制時(shí)，從多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手的臂與基板保持器的連接部到基板保持器前端的距離，與基板的尺寸成比例地變長，因此，在基板保持器的前端側(cè)就會(huì)大大地偏離平衡，因停止時(shí)的轉(zhuǎn)矩，使基板保持器產(chǎn)生大的振動(dòng)，并且會(huì)產(chǎn)生在臂與基板保持器的連接部上施加大的負(fù)荷這一新問題。根據(jù)這樣的各種問題，不能容易地實(shí)現(xiàn)利用多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手的宏觀檢查裝置。本專利技術(shù)就是鑒于上述狀況而完成的，目的在于實(shí)現(xiàn)一種宏觀檢查裝置，其可以減輕施加到使基板保持器移動(dòng)的基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(具有多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手的檢查用機(jī)械手)的驅(qū)動(dòng)部上的負(fù)擔(dān)，并使用多關(guān)節(jié)臂機(jī)械手。為解決上述課題，本專利技術(shù)采用了以下手段。即，本專利技術(shù)的宏觀檢查裝置具有基板保持器，其保持接受檢查的基板；宏觀照明光學(xué)系統(tǒng)，其將照明光照射到上述基板上；基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其支承上述基板保持器，同時(shí)，在上述基板被上述照明光照射的狀態(tài)下，控制上述基板保持器的姿態(tài)；基板搬送機(jī)構(gòu)，其在與上述基板保持器之間進(jìn)行上述基板的交接；基板浮起機(jī)構(gòu)，其通過對(duì)交接在上述基板保持器上的上述基板進(jìn)行空氣的噴出，使該基板從上述基板保持器上浮起；基板定位機(jī)構(gòu)，其使通過該基板浮起機(jī)構(gòu)而處于浮起狀態(tài)的上述基板定位在上述基板保持器上的基準(zhǔn)位置；以及基板固定機(jī)構(gòu)，其將由該基板定位機(jī)構(gòu)定位后的上述基板，固定在上述基板保持器上。在該宏觀檢查裝置中，基板搬送機(jī)構(gòu)將基板載置于在基板交接位置待機(jī)的基板保持器上。這樣被載置的基板通過基板浮起機(jī)構(gòu)的空氣噴出，從基板保持器上浮起。進(jìn)而，將處于該浮起狀態(tài)的基板通過基板定位機(jī)構(gòu)定位在基準(zhǔn)位置后，由基板固定機(jī)構(gòu)進(jìn)行固定。這樣，在完成基板向基板保持器上的固定之后，通過由基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行基板保持器的姿態(tài)控制，來進(jìn)行基板的移動(dòng)控制，以使觀察者容易進(jìn)行宏觀觀察。從而，根據(jù)該宏觀檢查裝置，由于可以迅速地進(jìn)行基板保持器上的基板的定位，因此，就可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，實(shí)現(xiàn)檢查的高效化。上述基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，也可以具本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種宏觀檢查裝置，其特征在于，具有：基板保持器，其保持接受檢查的基板；宏觀照明光學(xué)系統(tǒng)，其將照明光照射到所述基板上；基板保持器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其支承所述基板保持器，同時(shí)，在所述基板被所述照明光照射的狀態(tài)下，控制所述基板保持器的姿態(tài)；基板搬送機(jī)構(gòu)，其在與所述基板保持器之間進(jìn)行所述基板的交接；基板浮起機(jī)構(gòu)，其通過對(duì)交接到所述基板保持器上的所述基板進(jìn)行空氣的噴出，使該基板從所述基板保持器上浮起；基板定位機(jī)構(gòu)，其使通過該基板浮起機(jī)構(gòu)而處于浮起狀態(tài)的所述基板，定位在所述基板保持器上的基準(zhǔn)位置；以及基板固定機(jī)構(gòu)，其將由該基板定位機(jī)構(gòu)定位后的所述基板，固定在所述基板保持器上。

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：岡平裕幸，藤崎暢夫，加藤洋，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：奧林巴斯株式會(huì)社，
類型：發(fā)明
國別省市：JP[日本]