【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種用于檢查鏡面表面的裝置，其特征在于包括：光源；集光器光學器件，用于收集來自所述光源的光；均勻化光學器件，用于透射來自所述集光器光學器件的所述光，具有位于所述集光器光學器件下游的第一微透鏡陣列和位于所述第一微透鏡陣 列下游的第二微透鏡陣列； 傅里葉光學器件，用于將來自所述均勻化光學器件的所述光透射于所述鏡面表面上；物鏡光學器件；以及檢測器，用于記錄圖像；其中所述集光器光學器件和所述第一微透鏡陣列將所述光源投影于所述第二微 透鏡陣列上，且其中所述第二微透鏡陣列和所述傅里葉光學器件將所述第一微透鏡陣列投影于所述鏡面表面上，且其中所述物鏡光學器件將所述鏡面表面投影于所述檢測器上。
【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：丹納藍伯特，海登麥可，布特納艾立克斯恩德，
申請(專利權)人：比斯泰克半導體系統股份有限公司，
類型：發明
國別省市：KR[韓國]
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