化學(xué)處理裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種化學(xué)處理裝置，該裝置用于通過向基板的主表面運送處理溶液而對其進行預(yù)定處理。該裝置包括一個用于向基板的主表面運送處理溶液的處理溶液運送噴嘴。該噴嘴具有一個與其尖端相鄰用于貯存處理溶液的處理溶液容器。一溫度控制裝置保持住溫度溶液容器，從而通過與處理溶液的熱交換來控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度。（*該技術(shù)在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及用于通過向諸如半導(dǎo)體晶片、光掩膜的玻璃基板、液晶顯示器的玻璃基板或光盤的基板之類的基板表面供給諸如抗蝕劑溶液、顯影劑或沖洗溶液之類的處理溶液對基板進行所需處理的化學(xué)處理裝置。更具體地說，本專利技術(shù)涉及一種無需擴大裝置便可有效控制處理溶液溫度的技術(shù)。
技術(shù)介紹
上述化學(xué)處理裝置的一種已知實例為一種旋轉(zhuǎn)涂覆裝置，該裝置可向基板表面運送處理溶液，以在其上形成一層薄膜。以下，將參照圖1和圖2描述已知的旋轉(zhuǎn)涂覆裝置。圖1為已知的旋轉(zhuǎn)涂覆裝置的處理溶液供給臂110的剖視圖。圖2為已知的旋轉(zhuǎn)涂覆裝置的側(cè)視圖。如圖1和圖2所示，這種旋轉(zhuǎn)涂覆裝置包括一轉(zhuǎn)盤100，該轉(zhuǎn)盤100用于以水平狀態(tài)支承并旋轉(zhuǎn)晶片W；以及處理溶液供給臂110，該供給臂110用于向晶片W運送處理溶液。處理溶液供給臂110的近端與一支承塊111相連，并且它的末端連有一噴嘴112，它可沿X、Y和Z方向移動。處理溶液供給臂110具有一個三重管結(jié)構(gòu)的臂部分113，這種結(jié)構(gòu)包括一處理溶液管114、一溫度控制管115以及一金屬管116。噴嘴112與處理溶液供給臂110的末端相連，它用于向晶片W的表面運送處理溶液。處理溶液管114的前端與噴嘴112相連，其另一端與處理溶液源(未圖示)相連。例如在處理溶液為抗蝕劑溶液的情況下，已知的是，根據(jù)抗蝕劑的溫度，形成在晶片W上的抗蝕劑膜沿晶片W平面方向的厚度是可變化的。因此，旋轉(zhuǎn)涂覆裝置具有圍繞處理溶液管114的溫度控制管115，以調(diào)節(jié)處理溶液管114中的處理溶液的溫度。具體地說，對于置于處理溶液管114和金屬管116之間的溫度控制管115，一溫度控制水的向前通道117形成在處理溶液管114和溫度控制管115之間，而溫度控制水的返回通道118形成在溫度控制管115和金屬管116之間。從外部恒溫箱供應(yīng)的溫度控制水(即調(diào)節(jié)在恒定溫度的水)沿著處理溶液管114通過向前通道117流向噴嘴112，由此將處理溶液管114中的處理溶液調(diào)節(jié)至預(yù)定溫度。達到噴嘴112的溫度控制水引入返回通道118中，以流回到恒溫箱。以這種結(jié)構(gòu)，從噴嘴112運送出的處理溶液可調(diào)節(jié)至預(yù)定溫度，從而在晶片W的表面上形成厚度均勻的薄膜。上述傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)有下列缺陷。如圖1和圖2所示，在溫度控制水沿圍繞具有與前端相連的噴嘴112的處理溶液管114的溫度控制管115循環(huán)的情況中，在噴嘴112的移動時，溫度控制管115的較大直徑僅允許用于處理溶液管114的有限的曲率。因此，晶片W上需要有較大的垂直空間，這使裝置垂直方向不能做得緊湊。隨著近年來半導(dǎo)體裝置結(jié)構(gòu)的日益精細化以及基板直徑的增大，新型的處理溶液被開發(fā)出來，并且目前的基板被供以更多種類的處理溶液。因此，必須為每一種處理溶液提供一種溫度控制管115。管線路徑變得復(fù)雜化。循環(huán)器的數(shù)量也必須增加，以調(diào)節(jié)每個溫度控制管115中的溫度控制水的溫度。所有這些需要擴大而復(fù)雜的裝置。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)是針對本
的上述情況而做出的，其目的在于提供一種具有緊湊結(jié)構(gòu)的化學(xué)處理裝置，但它又能夠有效地控制處理溶液的溫度。根據(jù)本專利技術(shù)，上述目的可通過一種化學(xué)處理裝置來滿足，該裝置用于通過向一基板的主表面運送處理溶液而執(zhí)行預(yù)定的處理，該裝置包括一個用于向基板的主表面運送處理溶液的處理溶液運送噴嘴，所述噴嘴包括一與其尖端相鄰的、用于貯存處理溶液的處理溶液容器；以及溫度控制裝置，該裝置用于保持處理溶液容器以通過與處理溶液的熱交換來控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度。根據(jù)本專利技術(shù)，相鄰于噴嘴尖端的處理溶液容器被保持成可通熱交換來控制容器中處理溶液的溫度。容器中的溫度受到控制的處理溶液被運送到基板以進行處理。因此，可以免去使用如傳統(tǒng)裝置中設(shè)置的那種沿處理溶液管延伸的溫度控制管，由此使得處理溶液供給系統(tǒng)更加緊湊。這樣，為處理溶液容器中的處理溶液提供了一種有效的熱交換，從而有效地控制了處理溶液的溫度。較佳地，溫度控制裝置包括一個溫度控制容器，該容器用于接納處理溶液運送噴嘴以及保持處理溶液容器，從而通過與處理溶液熱交換來控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度。以這種結(jié)構(gòu)，溫度控制容器可接納處理溶液運送噴嘴并且保持處理溶液容器，從而通過與處理溶液的熱交換來控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度。這種結(jié)構(gòu)可以免去使用如傳統(tǒng)裝置中設(shè)置的那種沿處理溶液管延伸的溫度控制管，由此使得處理溶液供給系統(tǒng)更加緊湊。這樣，為處理溶液容器中的處理溶液提供了一種有效的熱交換，從而有效地控制了處理溶液的溫度。較佳地，溫度控制裝置包括一個噴嘴溫度控制和移動裝置，該裝置用于保持處理溶液容器，以通過與處理溶液的熱交換來控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度，并且它在保持處理溶液容器的同時使處理溶液運送噴嘴移至基板的主表面上的一預(yù)定位置。以這種結(jié)構(gòu)，噴嘴溫度控制和移動裝置在保持處理溶液容器的同時使處理溶液運送噴嘴移至基板的主表面上的一預(yù)定位置。因此，這種結(jié)構(gòu)可以免去使用如傳統(tǒng)裝置中設(shè)置的那種沿處理溶液管延伸的溫度控制管，由此使得處理溶液供給系統(tǒng)更加緊湊。這樣，可以為處理溶液容器的處理溶液提供一種有效的熱交換，從而有效地控制處理溶液的溫度。此外，這種結(jié)構(gòu)可有效地避免在噴嘴移至基板的主表面上預(yù)定位置的過程中在處理溶液容器中的處理溶液中發(fā)生的溫度變化。在本專利技術(shù)的另一個方面，化學(xué)處理裝置通過向基板的主表面運送一處理溶液而對其進行預(yù)定的處理，該裝置包括一處理溶液運送噴嘴，該噴嘴包括一個與其尖端相鄰的、用于貯存處理溶液的處理溶液容器；以及一溫度控制裝置，該裝置用于至少接觸或接近形成處理溶液容器的表面之一的主要部分，從而通過與處理溶液的熱交換來控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度。根據(jù)本專利技術(shù)，溫度控制裝置至少接觸或接近形成處理溶液容器的表面之一的一個主要部分，從而通過熱交換來控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度。容器中溫度受到控制的處理溶液被輸送到基板以進行處理。因此，這樣可以免去使用如傳統(tǒng)裝置中設(shè)置的那種沿處理溶液管延伸的溫度控制管，由此使得處理溶液供給系統(tǒng)更加緊湊。此外，可以為處理溶液容器的處理溶液提供一種有效的熱交換，從而有效地控制處理溶液的溫度。說明書中揭示的專利技術(shù)還與下列化學(xué)處理方法和化學(xué)處理裝置相關(guān)(1)一種通過向基板的主表面運送處理溶液來對其進行預(yù)定處理的化學(xué)處理方法，該方法包括一貯存步驟，該步驟用于將處理溶液貯存在與處理溶液運送噴嘴的尖端相鄰形成的、用于將處理溶液運送到基板主表面的一處理溶液容器中；一溫度控制步驟，該步驟通過與處理溶液的熱交換來保持處理溶液容器并且控制處理溶液容器中的處理溶液的溫度；以及一運送步驟，該步驟用于將所述溫度控制步驟中溫度受到控制的處理溶液運送到基板的主表面上。根據(jù)上述化學(xué)處理方法(1)，處理溶液容器保持為可通過熱交換來控制容器中的處理溶液的溫度。容器中溫度受到控制的處理溶液被運送到基板以進行處理。因此，這樣可以免去使用如傳統(tǒng)裝置中設(shè)置的那種沿處理溶液管延伸的溫度控制管，由此使得處理溶液供給系統(tǒng)更加緊湊。并且可以為處理溶液容器的處理溶液提供一種有效的熱交換，從而有效地控制處理溶液的溫度。(2)一種化學(xué)處理裝置，該裝置用于通過向基板的一主表面運送處理溶液來對其進行預(yù)定的處理，該裝置包括一處理溶液運送噴嘴，該噴嘴用于向基板的主表面運送處理溶液，該噴嘴包括一個與其尖端本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種化學(xué)處理裝置，所述裝置通過向基板的主表面運送處理溶液而進行預(yù)定的處理，所述裝置包括：一用于向基板的主表面運送處理溶液的處理溶液運送噴嘴，所述噴嘴包括一與其尖端相鄰的、用于貯存處理溶液的處理溶液容器；以及溫度控制裝置，所述裝置保持所述處理溶液容器以通過與處理溶液的熱交換來控制所述處理溶液容器中的處理溶液的溫度。

【技術(shù)特征摘要】
...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：后藤茂宏，吉岡勝司，松永實信，
申請(專利權(quán))人：日本網(wǎng)目版制造株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：JP[日本]