一種砷化鎵晶種加工設備制造技術

本實用新型專利技術涉及砷化鎵生產技術領域，尤其是一種砷化鎵晶種加工設備，包括防塵箱，所述防塵箱固定設有導流臺，所述導流臺轉動連接設有傳動軸，所述傳動軸固定設有打磨盤，所述傳動軸固定設有減速電機，所述滑槽滑動連接設有移動座，所述移動座固定設有電動液壓缸，所述電動液壓缸固定設有調節固定座，所述調節固定座轉動連接設有調節軸，所述調節軸固定設有步進電機，所述調節軸固定設有調節座，所述調節座固定設有夾具組件。本實用新型專利技術在普通加工設備的基礎上，設置了防護、驅動和調節裝置，提高了精確度、工作效率、環保性和防護性，具有廣闊的市場前景，適合推廣。

【技術實現步驟摘要】
一種砷化鎵晶種加工設備
本技術涉及砷化鎵生產
，尤其涉及一種砷化鎵晶種加工設備。
技術介紹
砷化鎵(galliumarsenide)，化學式GaAs。黑灰色固體，熔點1238℃。它在600℃以下，能在空氣中穩定存在，并且不被非氧化性的酸侵蝕。砷化鎵是一種重要的半導體材料。在砷化鎵晶體制造領域，晶種在初步加工完成后，還需要對晶種長度進一步加工以達到目標長度，但是，目前通常是使用手工砂紙打磨不僅效率低，而且打磨出的廢料容易形成粉塵，不僅造成浪費，還危害工人身體，針對以上不足，我們推出一種砷化鎵晶種加工設備，來代替舊式的加工設備，滿足人們的生活需求。
技術實現思路
本技術的目的是為了解決現有技術中存在效率低和不環保的缺點，而提出的一種砷化鎵晶種加工設備。為了實現上述目的，本技術采用了如下技術方案：設計一種砷化鎵晶種加工設備，包括防塵箱，所述防塵箱內壁底部的一側固定設有導流臺，所述導流臺轉動連接設有傳動軸，所述傳動軸的一端固定設有打磨盤，所述傳動軸遠離打磨盤的一端依次貫穿導流臺和防塵箱并固定設有減速電機，所述減速電機與防塵箱固定連接，所述防塵箱上表面的中間設有滑槽，所述滑槽的內壁滑動連接設有移動座，所述防塵箱的上表面固定設有使移動座產生位移的驅動組件，所述移動座下表面的中間固定設有電動液壓缸，所述電動液壓缸遠離移動座的一端固定設有調節固定座，所述調節固定座與移動座之間對稱固定設有導向伸縮柱，所述調節固定座轉動連接設有調節軸，所述調節軸的一端固定設有步進電機，所述步進電機與調節固定座固定連接，所述調節軸固定設有調節座，所述調節座的下表面固定設有夾具組件。優選的，所述防塵箱下表面的一側固定設有U形支撐座，所述防塵箱下表面遠離U形支撐座的一側固定設有導流管道，所述防塵箱內壁底部遠離導流臺的一側設有與導流管道相連通的貫穿孔，所述U形支撐座和導流管道的下表面固定設有儲水箱，所述導流管道插接設有過濾組件，所述儲水箱的一側固定設有出水管，所述出水管遠離儲水箱的一端固定設有循環水泵，所述循環水泵與防塵箱固定連接，所述循環水泵的出水口固定設有噴水管，所述噴水管遠離循環水泵的一端貫穿防塵箱延伸至防塵箱的內部并固定設有噴頭。優選的，所述驅動組件包括兩個固定塊，所述固定塊均與防塵箱固定連接，兩個所述固定塊轉動連接設有螺紋絲桿，所述螺紋絲桿的一端貫穿固定塊并固定設有驅動電機，所述驅動電機與固定塊固定連接，所述螺紋絲桿的表面螺紋連接設有移動塊，所述移動塊與移動座固定連接。優選的，所述防塵箱對稱通過鉸鏈轉動連接設有箱門，所述箱門均固定設有觀察罩。本技術提出的一種砷化鎵晶種加工設備，有益效果在于：本技術通過防塵箱、導流臺、導流管道、貫穿孔、儲水箱、過濾組件、出水管、循環水泵、噴水管和噴頭之間的相互配合，可以有效的防止砷化鎵晶種在進行打磨時粉塵飛濺的現象，同時可以循環使用水資源，環保性能較佳，通過傳動軸、打磨盤、減速電機、滑槽、移動座、驅動組件、電動液壓缸、調節固定座、導向伸縮柱、調節軸、步進電機、調節座和夾具組件之間的相互配合，在提高了打磨精確度的同時可以根據需要控制打磨角度，降低了工作人員的勞動強度提高了工作效率，通過設置觀察罩，便于工作人員對打磨情況進行實時觀察。附圖說明圖1為本技術提出的一種砷化鎵晶種加工設備的主視圖；圖2為本技術提出的一種砷化鎵晶種加工設備的剖視圖。圖中：防塵箱1、導流臺2、傳動軸3、打磨盤4、減速電機5、滑槽6、移動座7、驅動組件8、電動液壓缸9、調節固定座10、導向伸縮柱11、調節軸12、步進電機13、調節座14、夾具組件15、U形支撐座16、導流管道17、貫穿孔18、儲水箱19、過濾組件20、出水管21、循環水泵22、噴水管23、噴頭24、箱門25、觀察罩26、驅動電機801、螺紋絲桿802、固定塊803、移動塊804。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。參照圖1-2，一種砷化鎵晶種加工設備，包括防塵箱1，防塵箱1內壁底部的一側固定設有導流臺2，導流臺2轉動連接設有傳動軸3，傳動軸3的一端固定設有打磨盤4，傳動軸3遠離打磨盤4的一端依次貫穿導流臺2和防塵箱1并固定設有減速電機5，減速電機5與防塵箱1固定連接，防塵箱1上表面的中間設有滑槽6，滑槽6的內壁滑動連接設有移動座7，防塵箱1的上表面固定設有使移動座7產生位移的驅動組件8，移動座7下表面的中間固定設有電動液壓缸9，電動液壓缸9遠離移動座7的一端固定設有調節固定座10，調節固定座10與移動座7之間對稱固定設有導向伸縮柱11，調節固定座10轉動連接設有調節軸12，調節軸12的一端固定設有步進電機13，步進電機13與調節固定座10固定連接，調節軸12固定設有調節座14，調節座14的下表面固定設有夾具組件15。參照圖1-2，一種砷化鎵晶種加工設備，防塵箱1下表面的一側固定設有U形支撐座16，防塵箱1下表面遠離U形支撐座16的一側固定設有導流管道17，防塵箱1內壁底部遠離導流臺2的一側設有與導流管道17相連通的貫穿孔18，U形支撐座16和導流管道17的下表面固定設有儲水箱19，導流管道17插接設有過濾組件20，儲水箱19的一側固定設有出水管21，出水管21遠離儲水箱19的一端固定設有循環水泵22，循環水泵22與防塵箱1固定連接，循環水泵22的出水口固定設有噴水管23，噴水管23遠離循環水泵22的一端貫穿防塵箱1延伸至防塵箱1的內部并固定設有噴頭24，驅動組件8包括兩個固定塊803，固定塊803均與防塵箱1固定連接，兩個固定塊803轉動連接設有螺紋絲桿802，螺紋絲桿802的一端貫穿固定塊803并固定設有驅動電機801，驅動電機801與固定塊803固定連接，螺紋絲桿802的表面螺紋連接設有移動塊804，移動塊804與移動座7固定連接，防塵箱1對稱通過鉸鏈轉動連接設有箱門25，箱門25均固定設有觀察罩26。本技術提出的一種砷化鎵晶種加工設備，在使用時，工作人員將待打磨的砷化鎵晶種固定在夾具組件15上，然后關閉箱門25并在控制器上輸入相關的數據，控制器控制驅動電機801開始工作使螺紋絲桿802開始旋轉，移動塊804隨之帶動移動座7開始移動，同時電動液壓缸9開始工作推動砷化鎵晶種開始移動，直至將砷化鎵晶種移動至適當的位置，然后減速電機5開始工作使打磨盤4開始旋轉，進行打磨工作，當需要對砷化鎵晶種其它角度進行打磨時控制器控制步進電機13開始工作，在調節軸12和調節座14的配合下對砷化鎵晶種的角度進行調節，然后在驅動組件8和電動液壓缸9的配合下進行打磨，在進行打磨的過程中，循環水泵22開始工作，將儲水箱19中的液體依次通過出水管21和噴水管23，最終通過噴頭24噴射在打磨盤4的表面，并在防塵箱1的配合下防止粉塵飛濺，然后液體在導流臺2的導流下并通過過濾組件20的過濾，再次落回至儲水箱19進行循環使用本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種砷化鎵晶種加工設備，包括防塵箱(1)，其特征在于，所述防塵箱(1)內壁底部的一側固定設有導流臺(2)，所述導流臺(2)轉動連接設有傳動軸(3)，所述傳動軸(3)的一端固定設有打磨盤(4)，所述傳動軸(3)遠離打磨盤(4)的一端依次貫穿導流臺(2)和防塵箱(1)并固定設有減速電機(5)，所述減速電機(5)與防塵箱(1)固定連接，所述防塵箱(1)上表面的中間設有滑槽(6)，所述滑槽(6)的內壁滑動連接設有移動座(7)，所述防塵箱(1)的上表面固定設有使移動座(7)產生位移的驅動組件(8)，所述移動座(7)下表面的中間固定設有電動液壓缸(9)，所述電動液壓缸(9)遠離移動座(7)的一端固定設有調節固定座(10)，所述調節固定座(10)與移動座(7)之間對稱固定設有導向伸縮柱(11)，所述調節固定座(10)轉動連接設有調節軸(12)，所述調節軸(12)的一端固定設有步進電機(13)，所述步進電機(13)與調節固定座(10)固定連接，所述調節軸(12)固定設有調節座(14)，所述調節座(14)的下表面固定設有夾具組件(15)。/n

【技術特征摘要】
1.一種砷化鎵晶種加工設備，包括防塵箱(1)，其特征在于，所述防塵箱(1)內壁底部的一側固定設有導流臺(2)，所述導流臺(2)轉動連接設有傳動軸(3)，所述傳動軸(3)的一端固定設有打磨盤(4)，所述傳動軸(3)遠離打磨盤(4)的一端依次貫穿導流臺(2)和防塵箱(1)并固定設有減速電機(5)，所述減速電機(5)與防塵箱(1)固定連接，所述防塵箱(1)上表面的中間設有滑槽(6)，所述滑槽(6)的內壁滑動連接設有移動座(7)，所述防塵箱(1)的上表面固定設有使移動座(7)產生位移的驅動組件(8)，所述移動座(7)下表面的中間固定設有電動液壓缸(9)，所述電動液壓缸(9)遠離移動座(7)的一端固定設有調節固定座(10)，所述調節固定座(10)與移動座(7)之間對稱固定設有導向伸縮柱(11)，所述調節固定座(10)轉動連接設有調節軸(12)，所述調節軸(12)的一端固定設有步進電機(13)，所述步進電機(13)與調節固定座(10)固定連接，所述調節軸(12)固定設有調節座(14)，所述調節座(14)的下表面固定設有夾具組件(15)。


2.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶種加工設備，其特征在于，所述防塵箱(1)下表面的一側固定設有U形支撐座(16)，所述防塵箱(1)下表面遠離U形支撐座(16)的一側固定設有導流管道(17)，所述防塵...

【專利技術屬性】
技術研發人員：郭輝，劉欣，蔡祗首，楊濤，
申請(專利權)人：惠州市中惠宇航半導體新材料有限公司，
類型：新型
國別省市：廣東;44