一種安裝探針卡的設(shè)備制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)涉及一種安裝探針卡的設(shè)備，其中，包括：可移動的承載本體；升降機(jī)構(gòu)，垂直設(shè)置與所述承載本體的頂部；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，與所述升降機(jī)構(gòu)配合連接；鎖定機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于遠(yuǎn)離所述升降機(jī)構(gòu)的一端，所述鎖定機(jī)構(gòu)用以鎖定或解鎖鎖定的所述探針；其中，所述升降機(jī)構(gòu)用以控制所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于Z軸方向上下運動，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制所述鎖定機(jī)構(gòu)的翻轉(zhuǎn)運動。其技術(shù)方案的有益效果在于，該設(shè)備具有檢知、鎖定、上升下降、翻轉(zhuǎn)、方便移動等功能，從而達(dá)到減少人員因探針卡過重搬運時受傷及避免探針卡損壞等問題。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種安裝探針卡的設(shè)備
本技術(shù)涉及晶圓測試
，尤其涉及一種安裝探針卡的設(shè)備。
技術(shù)介紹
半導(dǎo)體的生產(chǎn)和制造在不斷的發(fā)展中形成了完善的生產(chǎn)流程。一般是芯片電路設(shè)計(為實現(xiàn)某些功能，設(shè)計出合理的電路)-晶圓的制造(將電路經(jīng)過特殊工藝集成在晶圓上)-晶圓的測試(對晶圓上集成的成千上萬顆芯片進(jìn)行功能測試，淘汰一部分功能缺陷的芯片)-晶圓的切割研磨(將晶圓上通過功能測試的芯片切割取下)-芯片的封裝(把從晶圓上取下的芯片進(jìn)行封裝，保護(hù)其電路不受環(huán)境的影響)-成品芯片的測試(對已經(jīng)封裝好的芯片進(jìn)行功能測試，淘汰功能缺陷的芯片)。其中，晶圓的測試對芯片的成本控制尤其重要。晶圓的測試可以將功能缺陷的芯片找出，不進(jìn)入后期較大成本的封裝中，節(jié)約了整體的成本。同時也對上一工序——晶圓的制造提供改良的指導(dǎo)方向?，F(xiàn)有的晶圓測試設(shè)備，由手動到半自動，再到現(xiàn)在的全自動針測機(jī)，效率、穩(wěn)定性、安全性都在成倍的提高。目前主要的晶圓測試設(shè)備如下圖由左向右分別是：探針卡、混合型號測試機(jī)、全自動針測機(jī)?，F(xiàn)有的測試設(shè)備，如圖1所示，連接電路板101和彈簧針?biāo)竭B接器102安裝固定在測試機(jī)100上，整個測試機(jī)100倒壓在探針卡200上，由針測機(jī)300托住，形成一個完整的測試系統(tǒng)，再由針測機(jī)內(nèi)的承載托盤301將待測晶圓302送到指定位置與探針卡200上的探針201接觸，這是整個測試系統(tǒng)與晶圓上的電路形成一個通路，即可進(jìn)行測試。承載托盤301承載著晶圓不斷的變換位置，完成整片晶圓上所有芯片的測試。上述中，晶圓上裸露的芯片特別脆弱，易損壞。測試晶圓使用的探針卡，是唯一會在測試過程中和晶圓接觸的器件。同樣其即精密也脆弱。晶圓302是一個8寸大小的芯片，其上集成有大約2萬顆1000um*1000um大小的芯片，每顆芯片上有上百個40um*40um(頭發(fā)絲60um*60um)大小的觸點。探針卡200上的探針201，每根針尖直徑在20um左右。每次測試，探針201都需要精確地扎在芯片的每一個觸點上，否則就會造成測試異常，甚至晶圓或者探針卡的損壞。測試晶圓使用的探針卡，由于精密且不易與保護(hù)，在實際生產(chǎn)過程中，經(jīng)常因為操作不慎造成探針卡損壞(一塊有陶瓷板的針探針卡成本在30000美金以上)，潛在中增加了成本和風(fēng)險。所以晶圓測試對設(shè)備保護(hù)探針卡的能力尤為依賴?，F(xiàn)有的高端測試機(jī)，探針卡很大很重。人工搬運，探針卡重達(dá)35kg難以搬運，且有工安風(fēng)險。翻轉(zhuǎn)維修時使用人力翻轉(zhuǎn)，探針卡掉落損壞風(fēng)險很大。
技術(shù)實現(xiàn)思路
針對現(xiàn)有的測試設(shè)備存在的搬運、安裝探針卡存在的不便，現(xiàn)提供一種方便移動，以及裝載探針卡的設(shè)備。具體包括以下：一種安裝探針卡的設(shè)備，其中，包括：可移動的承載本體；升降機(jī)構(gòu)，垂直設(shè)置與所述承載本體的頂部；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，與所述升降機(jī)構(gòu)配合連接；鎖定機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于遠(yuǎn)離所述升降機(jī)構(gòu)的一端，所述鎖定機(jī)構(gòu)用以鎖定或解鎖鎖定的所述探針；其中，所述升降機(jī)構(gòu)用以控制所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于Z軸方向上下運動，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制所述鎖定機(jī)構(gòu)的翻轉(zhuǎn)運動。優(yōu)選的，所述承載本體包括：具有操作臺面的本體；活動輪，設(shè)置于所述本體的底部，用以使所述承載本體整體能夠移動。優(yōu)選的，所述承載本體包括：防靜電金屬鏈，所述防靜電金屬鏈設(shè)置于所述承載本體的底部。優(yōu)選的，所述升降機(jī)構(gòu)包括：沿豎直方向設(shè)置的驅(qū)動機(jī)構(gòu)；沿X軸方向設(shè)置的活動臂，所述活動臂的一端與所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，通過所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)控制所述活動活動臂于Z軸方向上下移動。優(yōu)選的，還包括一柱體，沿豎直方向設(shè)置于所述承載本體的頂部，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)固定設(shè)置于所述柱體上，所述柱體的底部以及所述活動臂上分別設(shè)置有一距離傳感器，控制系統(tǒng)根據(jù)所述距離傳感器的檢測數(shù)據(jù)控制所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動行程。優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括：連接臂，一端與所述升降機(jī)構(gòu)連接；旋轉(zhuǎn)控制器，一端與連接臂連接，另一端與所述鎖定機(jī)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)控制器用以控制所述鎖定機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)，使所述鎖定機(jī)構(gòu)固定有所述探針卡的一面水平朝下，或翻轉(zhuǎn)至水平朝上。優(yōu)選的，所述鎖定機(jī)構(gòu)包括：旋轉(zhuǎn)盤體，所述旋轉(zhuǎn)盤體朝向所述探針卡的一面設(shè)置有與探針卡孔匹配的探針卡勾；卡勾控制器，用以控制所述探針卡勾固定所述探針卡或釋放固定的所述探針卡。優(yōu)選的，所述探針卡勾設(shè)置有一對。優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)盤體朝向所述探針卡的一面設(shè)置有紅外傳感器，所述紅外傳感器用以探測所述探針卡是否配置到托盤上。優(yōu)選的，所述紅外傳感器設(shè)置有兩對，等間距配置在所述旋轉(zhuǎn)盤體上。上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果：該設(shè)備具有檢知、鎖定、上升下降、翻轉(zhuǎn)、方便移動等功能，從而達(dá)到減少人員因探針卡過重搬運時受傷及避免探針卡損壞等問題。附圖說明圖1是本技術(shù)中的一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本技術(shù)中的一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3-4是本技術(shù)中的一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例中，關(guān)于升降機(jī)構(gòu)的升降操作的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5-6是本技術(shù)中的一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例中，關(guān)于升降機(jī)構(gòu)的升降操作以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本技術(shù)中的一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例中，關(guān)于升降機(jī)構(gòu)的設(shè)置距離傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是本技術(shù)中的一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例中，關(guān)于鎖定機(jī)構(gòu)與探針卡之間配合的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9是本技術(shù)中的一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例中，關(guān)于鎖定機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。上述附圖標(biāo)記表示：1、承載本體；2、升降機(jī)構(gòu)；3、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；4、鎖定機(jī)構(gòu)；5、探針卡；6、托盤；11、具有操作臺面的本體；12、活動輪；13、扶手；21、距離傳感器；22、驅(qū)動機(jī)構(gòu)；23、活動臂；31、連接臂；32、旋轉(zhuǎn)控制器；41、旋轉(zhuǎn)盤體；42、紅外傳感器；51、探針卡孔；61、托盤立柱。具體實施方式下面將結(jié)合本技術(shù)實施例中的附圖，對本技術(shù)實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術(shù)一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒炯夹g(shù)中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術(shù)保護(hù)的范圍。需要說明的是，在不沖突的情況下，本技術(shù)中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面結(jié)合附圖和具體實施例對本技術(shù)作進(jìn)一步說明，但不作為本技術(shù)的限定。具體包括以下內(nèi)容：如圖2所示，一種安裝探針卡的設(shè)備的實施例，其中，包括：可移動的承載本體1；升降機(jī)構(gòu)2，垂直設(shè)置與承載本體1的頂部；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3，與升降機(jī)構(gòu)2配合連接；鎖定機(jī)構(gòu)4，設(shè)置于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3于遠(yuǎn)離升降機(jī)構(gòu)2的一端，鎖定機(jī)構(gòu)4用以鎖定或解鎖鎖定的探針；其中，升降機(jī)構(gòu)2用以控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3于Z軸方向上下運動，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3控制鎖定機(jī)構(gòu)4的翻轉(zhuǎn)運動。上述技本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種安裝探針卡的設(shè)備，其特征在于，包括：/n可移動的承載本體；/n升降機(jī)構(gòu)，垂直設(shè)置與所述承載本體的頂部；/n旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，與所述升降機(jī)構(gòu)配合連接；/n鎖定機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于遠(yuǎn)離所述升降機(jī)構(gòu)的一端，所述鎖定機(jī)構(gòu)用以鎖定或解鎖鎖定的所述探針；/n其中，所述升降機(jī)構(gòu)用以控制所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于Z軸方向上下運動，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制所述鎖定機(jī)構(gòu)的翻轉(zhuǎn)運動。/n

【技術(shù)特征摘要】
1.一種安裝探針卡的設(shè)備，其特征在于，包括：
可移動的承載本體；
升降機(jī)構(gòu)，垂直設(shè)置與所述承載本體的頂部；
旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，與所述升降機(jī)構(gòu)配合連接；
鎖定機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于遠(yuǎn)離所述升降機(jī)構(gòu)的一端，所述鎖定機(jī)構(gòu)用以鎖定或解鎖鎖定的所述探針；
其中，所述升降機(jī)構(gòu)用以控制所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)于Z軸方向上下運動，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)控制所述鎖定機(jī)構(gòu)的翻轉(zhuǎn)運動。


2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述承載本體包括：
具有操作臺面的本體；
活動輪，設(shè)置于所述本體的底部，用以使所述承載本體整體能夠移動。


3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述承載本體包括：防靜電金屬鏈，所述防靜電金屬鏈設(shè)置于所述承載本體的底部。


4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括：
沿豎直方向設(shè)置的驅(qū)動機(jī)構(gòu)；
沿X軸方向設(shè)置的活動臂，所述活動臂的一端與所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，通過所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)控制所述活動臂于Z軸方向上下移動。


5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于，還包括一柱體，沿豎直方向設(shè)置于所述承載本體的頂部，所述驅(qū)動機(jī)...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：秦超，
申請(專利權(quán))人：安徽超元半導(dǎo)體有限公司，
類型：新型
國別省市：安徽;34