【技術實現步驟摘要】
引晶功率確定方法、裝置和計算機可讀介質
本申請涉及單晶硅生產
，尤其涉及引晶功率確定方法、裝置和計算機可讀介質。
技術介紹
直拉單晶爐是一種用于通過直拉法生產單晶硅的制造設備，通過對直拉單晶爐生產出的單晶硅錠進行切片可以獲得單晶硅片，而單晶硅片可用于制造半導體器件和太陽能電池。在通過直拉單晶爐生產單晶硅的過程中，引晶功率是控制直拉單晶爐的一個重要參數，其決定能否穩溫并達到適合引晶的條件。每次更換直拉單晶爐的石英坩堝、加熱器、保溫層等都會改變爐內熱特性，導致直拉單晶爐生產單晶硅的每個爐次需要不同的引晶功率。目前，在通過直拉單晶爐生成單晶硅時，采用人工依據經驗確定直拉單晶爐的引晶功率。對于目前確定引晶功率的方法，由于人工經驗的不同或缺乏科學支撐，導致所確定出的引晶功率準確性較低，后續需要耗費較長的時間對引晶功率進行調整，進而影響單晶硅生成的效率和成本。
技術實現思路
有鑒于此，本申請提供的引晶功率確定方法、裝置和計算機可讀介質，能夠提高所確定引晶功率的準確性。第一方面，本申請實施例提供了一種引晶功率確定方法，包括：獲取直拉單晶爐在當前爐次的熔料階段的特征數據，其中，所述特征數據用于表征所述直拉單晶爐在熔料階段內爐內溫度與加熱器能量輸出值的關系；將所述特征數據輸入功率預測模型，獲得所述功率預測模型的輸出，并將所述功率預測模型的輸出確定為所述當前爐次的引晶功率，其中，所述功率預測模型通過所述直拉單晶爐的歷史生產數據訓練獲得。在第一種可能的實現方式中，結...
【技術保護點】
1.引晶功率確定方法(10)，其特征在于，包括：/n獲取直拉單晶爐在當前爐次的熔料階段的特征數據，其中，所述特征數據用于表征所述直拉單晶爐在熔料階段內爐內溫度與加熱器能量輸出值的關系；/n將所述特征數據輸入功率預測模型，獲得所述功率預測模型的輸出，并將所述功率預測模型的輸出確定為所述當前爐次的引晶功率，其中，所述功率預測模型通過所述直拉單晶爐的歷史生產數據訓練獲得。/n
【技術特征摘要】
1.引晶功率確定方法(10)，其特征在于，包括：
獲取直拉單晶爐在當前爐次的熔料階段的特征數據，其中，所述特征數據用于表征所述直拉單晶爐在熔料階段內爐內溫度與加熱器能量輸出值的關系；
將所述特征數據輸入功率預測模型，獲得所述功率預測模型的輸出，并將所述功率預測模型的輸出確定為所述當前爐次的引晶功率，其中，所述功率預測模型通過所述直拉單晶爐的歷史生產數據訓練獲得。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取直拉單晶爐在當前爐次的熔料階段的特征數據，包括：
每經過一個預設的采樣周期，對所述當前爐次的熔料階段的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值進行一次采集，并將每次采集到的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值確定為一個當前特征向量；
將采集到的至少兩個所述當前特征向量，確定為所述特征數據。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，在所述將所述特征數據輸入功率預測模型之前，所述方法還包括：
獲取所述直拉單晶爐的至少兩個所述歷史生產數據，其中，每個所述歷史生產數據對應所述直拉單晶爐生產單晶硅的一個歷史爐次；
針對每個所述歷史生產數據，均執行：
以所述采樣周期為間隔時間，從該歷史生產數據中采集熔料階段的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值，并將每次采集到的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值確定為一個歷史特征向量；
從該歷史生產數據中獲取該歷史生產數據所對應歷史爐次所使用的第一引晶功率；
將各所述歷史特征向量和所述第一引晶功率，確定為一個第一訓練樣本；
將所述第一訓練樣本包括的各所述歷史特征向量作為模型輸入，將所述第一訓練樣本包括的所述第一引晶功率作為模型輸出，通過各所述第一訓練樣本進行模型訓練，獲得所述功率預測模型。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取直拉單晶爐在當前爐次的熔料階段的特征數據，包括：
對所述當前爐次的熔料階段的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值進行采集；
根據采集到的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值，確定在所述當前爐次的熔料階段內爐內溫度與加熱器能量輸出值的第一映射關系；
從所述第一映射關系中采集至少兩個目標加熱器能量輸出值所映射的第一爐內溫度；
將采集到的至少兩個所述第一爐內溫度，確定為所述特征數據。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，在所述將所述特征數據輸入功率預測模型之前，所述方法還包括：
獲取所述直拉單晶爐的至少兩個所述歷史生產數據，其中，每個所述歷史生產數據對應所述直拉單晶爐生產單晶硅的一個歷史爐次；
針對每個所述歷史生產數據，均執行：
從該歷史生產數據中獲取熔料階段的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值；
根據獲取到的爐內溫度、加熱器功率和加熱器電阻值，確定在該歷史生產數據所對應歷史爐次的熔料階段內爐內溫度與加熱器能量輸出值的第二映射關系；
從所述第二映射關系中采集各所述目標加熱器能量輸出值所映射的第二爐內溫度；
從該歷史生產數據中獲取該歷史生產數據所對應歷史爐次所使用的第二引晶功率；
將各所述第二爐內溫度和所述第二引晶功率，確定為一個第二訓練樣本；
將所述第二訓練樣本包括的各所述第二爐內溫度作為模型輸入，將所述第二訓練樣本包括的所述第二引晶功率作為模型輸出，通過各所述第二訓練樣本進行模型訓練，獲得所述功率預測模型。
6.根據權利要求2-5中任一所述的方法，其特征在于，
所述加熱器功率包括主加熱器功率和底部加熱器功率，所述加熱器電阻值包括主加熱器的電阻值和底部加熱器的電阻值；
和/或，
所述爐內溫度根據所述直拉單晶爐內至少兩個溫度傳感器的測量值確定。
7.引晶功率確定裝置(90)，其特征在于，包括：
一個數據獲取模塊(91)，用于獲取直拉單晶爐在當前爐次的熔料階段的特征數據，其中，所述特征數據用于表征所述直拉單晶爐在熔料階段內爐內溫度與加熱器能量輸出值的關系；
一個功率預測模塊(92)，用于將所述數據獲取模塊(91)獲取到的所述特征數據輸入功率預測模型，獲得所述功率預測模型的輸出，將所述功率預測模型的輸出確定為所述當前爐...
【專利技術屬性】
技術研發人員：程瀚儂，
申請(專利權)人：西門子工廠自動化工程有限公司，
類型：發明
國別省市：北京;11
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