本實用新型專利技術涉及一種晶圓載運裝置，包括：一端設有開口且為中空結構的上蓋；與上蓋可拆卸裝配的底蓋，底蓋上設有支撐晶圓的支撐臺，支撐臺上設有支撐晶圓的支撐面，支撐面為平面；底蓋上且位于支撐臺的外側壁上設有與上蓋套接的擋墻；擋墻凸出支撐面設置；可拆卸設置在上蓋和底蓋中的彈片架，彈片架包括主體部以及間隔設置在主體部的外周緣且分別凸出主體部設置以抵靠在放置于底蓋上的晶圓上的多個彈性凸部；限位結構，限位結構設置在擋墻的內側，以對彈性凸部進行限位。該晶圓載運裝置可限制該彈片架轉動，進而可避免與該晶圓產生摩擦而產生顆粒污染物，起到避免晶圓污染和保護晶圓的作用，可避免晶圓傾斜而導致晶圓碎裂，可便于晶圓拾取和存放。可便于晶圓拾取和存放。可便于晶圓拾取和存放。
【技術實現步驟摘要】
一種晶圓載運裝置
[0001]本技術涉及晶圓存儲和運輸工具，更具體地說，涉及一種晶圓載運裝置。
技術介紹
[0002]目前市場上常見的晶圓載運裝置多為底蓋通過斜坡支撐晶圓，邊緣為完整的圓環狀擋墻，彈片直接抵靠在晶圓的表面上，載運裝置內沒有固定彈片的結構，彈片受力固定在載運裝置內，晶圓在載運裝置中有較大的活動空間，這樣的設計存在以下缺點：
[0003]1.在打開和關閉載運裝置時，需要旋轉上蓋，在旋轉過程中，彈片可能會隨著上蓋一起轉動，彈片下面固定的晶圓也隨之轉動，從而發生摩擦產生顆粒污染物，磨損嚴重時可能導致晶圓報廢。
[0004]2.晶圓放置在斜坡上，不易放平，有時可能傾斜，彈片抵靠在晶圓上，又有較大的活動空間，晶圓中間部位懸空，在存儲和運輸過程中晶圓可能抵靠在晶圓靠中間的位置，而晶圓本身較薄，在存儲和運輸過程中受到沖擊時可能碎裂。
[0005]3.晶圓不易拾取和存放。
技術實現思路
[0006]本技術要解決的技術問題在于，提供一種改進的晶圓載運裝置。
[0007]本技術解決其技術問題所采用的技術方案是：構造一種晶圓載運裝置，包括：
[0008]一端設有開口且為中空結構的上蓋；
[0009]與所述上蓋可拆卸裝配的底蓋，所述底蓋上設有支撐晶圓的支撐臺，所述支撐臺上設有支撐所述晶圓的支撐面，所述支撐面為平面；所述底蓋上且位于所述支撐臺的外側壁上設有與所述上蓋套接的擋墻；所述擋墻凸出所述支撐面設置；
[0010]可拆卸設置在所述上蓋和所述底蓋中的彈片架，所述彈片架包括主體部以及間隔設置在所述主體部的外周緣且分別凸出所述主體部設置以抵靠在放置于所述底蓋上的所述晶圓上的多個彈性凸部；
[0011]限位結構，所述限位結構設置在所述擋墻的內側，以對所述彈性凸部進行限位。
[0012]優選地，所述限位結構包括間隔設置在所述擋墻內側壁上的多個限位凸臺；相鄰設置的兩個限位凸臺之間形成限位卡槽；
[0013]所述限位卡槽與所述彈性凸部對應設置，以對所述彈性凸部進行限位。
[0014]優選地，所述上蓋包括第一蓋體以及設置在所述第一蓋體中的第一容置腔；
[0015]所述底蓋包括第二蓋體以及設置在所述第二蓋體上的第二容置腔；
[0016]所述第二容置腔形成于所述擋墻的內側；
[0017]所述支撐臺設置所述第二蓋體上且位于所述第二容置腔的內側，所述支撐臺上設有與所述支撐面連接且向所述第二容置腔傾斜設置的斜坡面。
[0018]優選地，所述擋墻為多個，多個所述擋墻沿所述底蓋的周向間隔設置；
[0019]相鄰設置的兩個擋墻之間形成缺口；所述缺口的底面與所述第二蓋體的端面齊
平。
[0020]優選地，所述支撐臺為多個；
[0021]多個所述支撐臺沿所述底蓋的周向間隔設置。
[0022]優選地，所述上蓋與所述底蓋上設有卡接結構；
[0023]所述卡接結構包括間隔設置在所述上蓋內側壁的多個第一卡臺、以及間隔設置在所述擋墻外側壁且與多個所述第一卡臺對應設置的多個第二卡臺；
[0024]相鄰設置的兩個所述第二卡臺之間間隔形成與所述第一卡臺配合的卡槽。
[0025]優選地，所述上蓋的外側壁上設有第一防滑結構。
[0026]優選地，所述底蓋的外側壁上設有第二防滑結構。
[0027]優選地，所述上蓋的橫截面呈圓形；
[0028]所述底蓋的橫截面呈圓形。
[0029]優選地，所述主體部呈圓形。
[0030]實施本技術的晶圓載運裝置，具有以下有益效果：該晶圓載運裝置通過在底蓋的擋墻中設置限位結構進而可對彈片架的彈性凸部進行限位，從而可限制該彈片架轉動，進而可避免與該晶圓產生摩擦而產生顆粒污染物，起到避免晶圓污染和保護晶圓的作用。該晶圓載運裝置通過將支撐臺的支撐面設置為平面，從而可避免晶圓傾斜而導致晶圓碎裂，并且可便于晶圓拾取和存放。
附圖說明
[0031]下面將結合附圖及實施例對本技術作進一步說明，附圖中：
[0032]圖1是本技術一些實施例中晶圓載運裝置的結構示意圖；
[0033]圖2是圖1所示晶圓載運裝置的結構分解示意圖；
[0034]圖3是圖1所示晶圓載運裝置的剖視圖；
[0035]圖4是圖3所示晶圓載運裝置的局部結構放大示意圖；
[0036]圖5是圖1所示晶圓載運裝置上蓋的結構示意圖；
[0037]圖6是圖1所示晶圓載運裝置底蓋與彈片架配合結構示意圖；
[0038]圖7是圖6所示晶圓載運裝置底蓋的結構示意圖；
[0039]圖8是圖1所示晶圓載運裝置彈片架的結構示意圖。
具體實施方式
[0040]為了對本技術的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖詳細說明本技術的具體實施方式。
[0041]圖1至圖2示出了本技術晶圓載運裝置的一些優選實施例。該晶圓載運裝置可用于存放晶圓100，便于晶圓100的運輸，其可起到保護晶圓100的作用，可避免晶圓100被污染和磨損。
[0042]如圖1至圖4所示，在一些實施例中，該晶圓載運裝置可包括上蓋10、底蓋20以及彈片架30。該上蓋10可與該底蓋20裝配，可用于收容晶圓100。該彈片架30可設置于該上蓋10和該底蓋20中，可用于固定晶圓100，避免晶圓100晃動，從而可起到保護晶圓100的作用。
[0043]如圖5所示，進一步地，在一些實施例中，該上蓋10的橫截面可呈圓形，該上蓋10可
以為一端設有開口的中空結構。該上蓋10可包括第一蓋體11以及第一容置腔12。該第一蓋體11可呈圓柱狀，其一端可設置開口。該第一容置腔12可設置在該第一蓋體11中。該上蓋10可蓋合該底蓋20，可與該底蓋20可拆卸連接。在一些實施例中，該第一蓋體11的外側壁可設置第一防滑結構111，該第一防滑結構111可以為花紋結構，也可以為包括沿第一蓋體11周向間隔設置若干凸棱，通過設置該第一防滑結構111一方面能改善上蓋10邊緣的彎度，從而提高強度，另一方面能加大使用者手與該上蓋10之間的摩擦力，便于旋轉該第一蓋體11，并且不易出現手滑。
[0044]如圖6及圖7所示，進一步地，在一些實施例中，該底蓋20的橫截面可呈圓形，該底蓋20可與該上蓋10可拆卸裝配。該底蓋20可包括第二蓋體21以及第二容置腔22，該第二蓋體21可圓柱狀，該第二蓋體21的橫截面形狀以及尺寸可與該第一蓋體11的橫截面形狀以及尺寸相適配。該第二蓋體21的外側壁上可設置第二防滑結構211，該第二防滑結構211可以為花紋結構，該花紋結構可沿該第二蓋體21的周向間隔設置。在一些實施例中，該第二防滑結構211可包括若干凸棱，該若干凸棱可沿該第一蓋體11周向間隔設置。通過設置該第二防滑結構211一方面能改善底蓋20邊緣的彎度，從而提高強度，另一方面能加大使用者手與該底蓋20之間的摩擦力，便于旋轉該第二蓋體21，并且不易出現本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種晶圓載運裝置，其特征在于，包括：一端設有開口且為中空結構的上蓋(10)；與所述上蓋(10)可拆卸裝配的底蓋(20)，所述底蓋(20)上設有支撐晶圓(100)的支撐臺(23)，所述支撐臺(23)上設有支撐所述晶圓(100)的支撐面(231)，所述支撐面(231)為平面；所述底蓋(20)上且位于所述支撐臺(23)的外側壁上設有與所述上蓋(10)套接的擋墻(24)；所述擋墻(24)凸出所述支撐面(231)設置；可拆卸設置在所述上蓋(10)和所述底蓋(20)中的彈片架(30)，所述彈片架(30)包括主體部(31)以及間隔設置在所述主體部(31)的外周緣且分別凸出所述主體部(31)設置以抵靠在放置于所述底蓋(20)上的所述晶圓(100)上的多個彈性凸部(32)；限位結構，所述限位結構設置在所述擋墻(24)的內側，以對所述彈性凸部(32)進行限位。2.根據權利要求1所述的晶圓載運裝置，其特征在于，所述限位結構包括間隔設置在所述擋墻(24)內側壁上的多個限位凸臺(241)；相鄰設置的兩個限位凸臺(241)之間形成限位卡槽(242)；所述限位卡槽(242)與所述彈性凸部(32)對應設置，以對所述彈性凸部(32)進行限位。3.根據權利要求1所述的晶圓載運裝置，其特征在于，所述上蓋(10)包括第一蓋體(11)以及設置在所述第一蓋體(11)中的第一容置腔(12)；所述底蓋(20)包括第二蓋體(21)以及設置在所述第二蓋體(21)上的第二容置腔(22)；所述第二容置腔(22)形成于所述擋墻(24)的內側；所述支撐臺...
【專利技術屬性】
技術研發人員：邱摩西，何江波，
申請(專利權)人：義柏應用技術深圳有限公司，
類型：新型
國別省市：
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