本實用新型專利技術公開了一種用于掩膜板干燥的多功能裝置，包括干燥箱體，待干燥的掩膜板置于干燥箱體內部，所述干燥箱體側面設有箱門，干燥箱體內設有用于干燥掩膜板的干燥機，干燥機與外部的控制柜連接，所述干燥箱體的上、下內壁及與箱門對立的側壁上分別設有上板、下板和后板，各板上間隔設有多個用于放置掩膜板的條形凹槽，上板與下板之間的凹槽相對設置且凹槽沿著掩膜板進入箱體的方向，后板上的凹槽方向與上板的凹槽垂直，干燥箱體頂面和箱門對立面分別設有用于驅動上板、后板移動的電液壓桿，電液壓桿與控制柜連接。本實用新型專利技術提高了掩膜板干燥后產品良率，能干燥多種尺寸的掩膜板，生產效率高，成本低。成本低。成本低。
【技術實現步驟摘要】
一種用于掩膜板干燥的多功能裝置
[0001]本技術涉及顯示設備
，具體涉及一種用于掩膜板干燥的多功能裝置。
技術介紹
[0002]有機電致發光顯示器件(OLED)作為顯示器的一大分支，因OLED屬于自發光，不像LCD需要借助背光，故厚度薄、可視度和亮度均高，其次是電壓需求低且省電效率高，加上響應速度快、重量輕等特性，被視為21世紀最具有前途的產品之一。
[0003]OLED制程中，在掩膜板(或擋板)與其基板對位的過程中，如果擋板或掩膜板開孔處存在雜質或異物，制作出的OLED會出現像素不良、破壞OLED基板等而導致不良。
[0004]目前，針對OLED制程過程中使用的掩膜板通常采用化學方式清洗后，轉運至干燥箱體中進行干燥。通常，在掩膜板中轉過程中因掩膜板放置時錯位導致設備報警影響生產效率；同時，因環境中及干燥箱體中存在較多微小顆粒，在掩膜板干燥過程中，這些顆粒物總會附著在掩膜板上，后續在進行OLED顯示屏蒸鍍工藝時，附著在掩膜板上的顆粒物會落在待蒸鍍基板上，從而影響OLED顯示屏的質量，影響產品良率。另外，現在的干燥箱體基本上只能應對一種尺寸的掩膜板的處理，其他尺寸的掩膜板的干燥要么單獨設計干燥箱體要么通知外置夾具的方式進行，影響生產效率，增加成本。
技術實現思路
[0005]本技術的目的在于提供一種用于掩膜板干燥的多功能裝置，用以解決掩膜板干燥后產品良率低，不能干燥多種尺寸的掩膜板導致生產效率低，成本高的問題。
[0006]為解決上述技術問題，本技術采用了以下方案：
[0007]一種用于掩膜板干燥的多功能裝置，包括干燥箱體，待干燥的掩膜板置于干燥箱體內部，所述干燥箱體側面設有箱門，干燥箱體內設有用于干燥掩膜板的干燥機，干燥機與外部的控制柜連接，所述干燥箱體的上、下內壁及與箱門對立的側壁上分別設有上板、下板和后板，各板上間隔設有多個用于放置掩膜板的條形凹槽，上板與下板之間的凹槽相對設置且凹槽沿著掩膜板進入箱體的方向，后板上的凹槽方向與上板的凹槽垂直，干燥箱體頂面和箱門對立面分別設有用于驅動上板、后板移動的電液壓桿，電液壓桿與控制柜連接。
[0008]優選的，所述凹槽的底面設有電磁感應凸塊，電磁感應凸塊與控制柜連接。
[0009]優選的，所述箱門兩側的內壁上設有環形導軌，環形導軌上安裝有噴嘴，噴嘴通過管路與外部的壓縮機連接，所述噴嘴通過安裝座與干燥箱體外的驅動裝置輸出端連接，驅動裝置與控制柜連接且用于驅動噴嘴沿環形導軌滑動。驅動裝置驅動噴嘴在環形導軌上滑動，能大大提高噴嘴的吹掃范圍。
[0010]優選的，所述噴嘴為空心錐形噴嘴。
[0011]優選的，所述噴嘴與掩膜板側面的間距為100
?
350mm。該距離為吹掃的最佳距離范圍，能有效的提高吹掃的質量。
[0012]優選的，所述噴嘴的角度在50
°?
140
°
內自由調節。使得噴嘴噴出的空氣介質能大范圍的對干燥箱體及掩膜板進行吹掃，最大限度的保證內部的階潔凈度。
[0013]優選的，所述箱門內側的上方或邊上設有門磁探測器，門磁探測器與控制柜連接。門磁探測器用于監測箱門的開啟或者關閉，當干燥箱體的箱門打開時、掩膜板置于箱體內的過程中以及箱門關閉前，門磁探測器的磁性消失或者恢復，控制柜控制壓縮機供給氣體，由箱體左右兩側的噴嘴吹出，以避免在箱門開啟時環境中或轉運工具上的顆粒物附著于掩膜板上。
[0014]優選的，所述壓縮機用于供給高純氮氣或者高過濾后的空氣。噴嘴內吹出的高純度氮氣或者壓縮空氣能保證干燥箱體內的潔凈度，避免顆粒物附著宇掩膜板上，保證掩膜板的潔凈度，加強掩膜板干燥后的良品率。
[0015]優選的，所述高純氮氣的供給壓力為3
?
10kgf。
[0016]優選的于，所述高過濾后的空氣供給質量等級為一級或者二級。
[0017]本技術具有的有益效果：
[0018]1、掩膜板放置部位的凹槽內設置電磁感應凸塊，避免掩膜板滑落，造成掩膜板損壞；
[0019]2、干燥箱體外設置頂部、后部的電液壓桿，可以滿足多種尺寸的掩膜板的干燥；
[0020]3、干燥箱體左側壁、右側壁設置氣體噴嘴(噴嘴介質包含但不限于以下：高純氮氣或壓縮空氣)，在掩膜板干燥過程中噴出氣體，避免顆粒物附著于掩膜板上，影響良率，同時加快掩膜板干燥速率。
[0021]4、另外，在箱門開啟的過程中，干燥箱體內吹出高純氮氣或壓縮空氣，保證箱體內的潔凈度，避免顆粒物附著于掩膜板，保證掩膜板的潔凈度。
附圖說明
[0022]圖1為本技術的立體結構示意圖；
[0023]圖2為本技術的內部結構示意圖；
[0024]圖3為環形導軌的結構示意圖，
[0025]圖4為后板的正視結構圖
[0026]附圖標記：1
?
干燥箱體，2
?
電磁感應凸塊，3
?
凹槽，4
?
電液壓桿，5
?
箱門，6
?
門磁探測器，7
?
掩膜板，8
?
上板，9
?
環形導軌，10
?
安裝座，11
?
噴嘴，12
?
干燥機，13
?
下板，14
?
后板，15
?
驅動裝置。
具體實施方式
[0027]下面結合實施例及附圖，對本技術作進一步的詳細說明，但本技術的實施方式不限于此。
[0028]在本技術的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎向”、“縱向”、“側向”、“水平”、“內”、“外”、“前”、“后”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，或者是該技術產品使用時慣常擺放的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。
[0029]在本技術的描述中，還需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“設置”、“開有”、“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本技術中的具體含義。
[0030]實施例1
[0031]如圖1、2、4所示，一種用于掩膜板干燥的多功能裝置，包括干燥箱體1，待干燥的掩膜板7置于干燥箱體1內部，所述干燥箱體1側面設有便于開啟或者關閉的箱門5，箱門5與干燥箱體1之間通過合頁或者銷軸鉸接，干燥箱體1內設有用于干燥掩膜板7的干燥機12，干燥機12為現有的干燥設備，通電即可本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種用于掩膜板干燥的多功能裝置，包括干燥箱體(1)，待干燥的掩膜板(7)置于干燥箱體(1)內部，所述干燥箱體(1)側面設有箱門(5)，干燥箱體(1)內設有用于干燥掩膜板(7)的干燥機(12)，干燥機(12)與外部的控制柜連接，其特征在于，所述干燥箱體(1)的上、下內壁及與箱門(5)對立的側壁上分別設有上板(8)、下板(13)和后板(14)，各板上間隔設有多個用于放置掩膜板(7)的條形凹槽(3)，上板(8)與下板(13)之間的凹槽(3)相對設置且凹槽(3)沿著掩膜板(7)進入箱體的方向，后板(14)上的凹槽(3)方向與上板(8)的凹槽(3)垂直，干燥箱體(1)頂面和箱門(5)對立面分別設有用于驅動上板(8)、后板(14)移動的電液壓桿(4)，電液壓桿(4)與控制柜連接。2.根據權利要求1所述的一種用于掩膜板干燥的多功能裝置，其特征在于，所述凹槽(3)的底面設有電磁感應凸塊(2)，電磁感應凸塊(2)與控制柜連接。3.根據權利要求1所述的一種用于掩膜板干燥的多功能裝置，其特征在于，所述箱門(5)兩側的內壁上設有環形導軌(9)，環形導軌(9)上安裝有噴嘴(11)，噴嘴(11)通過管路與外部的壓縮機連接，所述噴嘴(11)通過安裝座(10)與干燥箱體(1)外...
【專利技術屬性】
技術研發人員：羅雪春，萬其凱，李承禧，范興文，
申請(專利權)人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。