本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，包括懸浮載臺(tái)，所述懸浮載臺(tái)的一側(cè)表面設(shè)有多個(gè)氣孔，以通過所述氣孔往外吹出氣體和/或?qū)怏w抽吸進(jìn)所述懸浮載臺(tái)內(nèi)，以使硅片懸浮于所述懸浮載臺(tái)設(shè)有所述氣孔的一側(cè)；所述懸浮載臺(tái)上設(shè)有限位機(jī)構(gòu)，所述限位機(jī)構(gòu)具有可活動(dòng)的止擋件，所述止擋件能夠活動(dòng)至從所述硅片遠(yuǎn)離所述懸浮載臺(tái)的一側(cè)擋住所述硅片的邊緣部分。本發(fā)明專利技術(shù)提供的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，通過設(shè)置氣孔實(shí)現(xiàn)了硅片在懸浮載臺(tái)一側(cè)表面的懸浮，通過設(shè)置限位機(jī)構(gòu)，且限位機(jī)構(gòu)具有可活動(dòng)的止擋件，可從硅片遠(yuǎn)離懸浮載臺(tái)的一側(cè)攔住硅片，從而使得硅片能夠始終懸浮在懸浮載臺(tái)設(shè)有氣孔的一側(cè)。如此，可降低對(duì)氣浮控制的要求。可降低對(duì)氣浮控制的要求?？山档蛯?duì)氣浮控制的要求。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)
[0001]本專利技術(shù)涉及太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備
，特別是涉及一種硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)。
技術(shù)介紹
[0002]硅片是太陽能電池的基礎(chǔ)元件，在生產(chǎn)制造太陽能電池時(shí)，通常需要將硅片從一個(gè)位置轉(zhuǎn)移到另一個(gè)位置。其中，硅片通常放置在花籃中進(jìn)行制絨工序，制絨完成后硅片需要轉(zhuǎn)移到載板中進(jìn)行鍍膜工序，因此，硅片完成制絨工序后需要從花籃轉(zhuǎn)移到載板中。通常，硅片從花籃中取出后放置到皮帶上，通過皮帶進(jìn)行輸送，之后再通過其他移載機(jī)構(gòu)將硅片移載到載板上。然而，通過皮帶輸送的方式移載硅片時(shí)，由于硅片直接放置在皮帶上，因此硅片的下表面容易粘上皮帶印痕或者皮帶上的污漬，從而影響硅片的質(zhì)量。為此，有人提出采用氣浮的方式承載硅片，然而氣浮的方式容易將硅片吹跑或者吹偏，對(duì)氣浮的控制要求較高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0003]有鑒于此，有必要提供一種硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，通過氣浮的方式承載硅片，并且能夠降低對(duì)氣浮的控制要求。
[0004]本專利技術(shù)提供一種硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，包括懸浮載臺(tái)，所述懸浮載臺(tái)的一側(cè)表面設(shè)有多個(gè)氣孔，以通過所述氣孔往外吹出氣體和/或?qū)怏w抽吸進(jìn)所述懸浮載臺(tái)內(nèi)，以使硅片懸浮于所述懸浮載臺(tái)設(shè)有所述氣孔的一側(cè)；所述懸浮載臺(tái)上設(shè)有限位機(jī)構(gòu)，所述限位機(jī)構(gòu)具有可活動(dòng)的止擋件，所述止擋件能夠活動(dòng)至從所述硅片遠(yuǎn)離所述懸浮載臺(tái)的一側(cè)擋住所述硅片的邊緣部分。
[0005]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述懸浮平臺(tái)上設(shè)有擋邊部，所述擋邊部圍成用于容置硅片的容置槽，所述限位機(jī)構(gòu)設(shè)于所述擋邊部上，且所述止擋件能夠轉(zhuǎn)動(dòng)至擋住硅片的邊緣部分。
[0006]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述止擋件包括偏心輪部以及擋板部，所述偏心輪部連接有轉(zhuǎn)軸，所述止擋件通過所述轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述擋邊部，所述擋板部連接于所述偏心輪部一側(cè)且朝向所述容置槽設(shè)置，所述擋板部用于擋住硅片的邊緣部分。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述止擋件具有將硅片限制在所述容置槽內(nèi)的限位狀態(tài)和允許硅片移入或移出所述容置槽的開放狀態(tài)；當(dāng)所述止擋件處于限位狀態(tài)時(shí)，所述擋板部遠(yuǎn)離所述偏心輪部的一端在所述懸浮載臺(tái)上的投影位于所述容置槽內(nèi)；當(dāng)所述止擋件處于開放狀態(tài)時(shí)，所述擋板部遠(yuǎn)離所述偏心輪部的一端在所述懸浮載臺(tái)上的投影位于所述容置槽外。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述擋邊部上對(duì)應(yīng)所述偏心輪部開設(shè)有置物槽，所述限位機(jī)構(gòu)還包括頂桿、第一磁鐵以及第二磁鐵；所述頂桿可活動(dòng)地設(shè)于所述置物槽內(nèi)，所述頂桿能夠朝靠近或遠(yuǎn)離所述偏心輪部的方向移動(dòng)；所述第一磁鐵設(shè)于所述頂桿朝向所述偏心輪部的一端，所述第二磁鐵設(shè)于所述偏心輪部遠(yuǎn)離所述擋板部的一側(cè)，所述第一磁鐵與所述
第二磁鐵之間相互吸引，當(dāng)所述頂桿朝靠近所述頂桿的方向移動(dòng)時(shí)，所述頂桿抵推所述偏心輪部以使所述止擋件沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)所述頂桿朝遠(yuǎn)離所述偏心輪部的方向移動(dòng)時(shí)，所述第一磁鐵與所述第二磁鐵之間的引力作用使得所述止擋件沿第二方向轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)所述止擋件沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述止擋件能夠由開放狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)至限位狀態(tài)；當(dāng)所述止擋件沿第二方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述止擋件能夠由限位狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)至開放狀態(tài)。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述限位機(jī)構(gòu)還包括第一彈性件，所述第一彈性件連接所述頂桿和所述擋邊部，以使所述頂桿具有朝向所述偏心輪部移動(dòng)的趨勢(shì)。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述置物槽內(nèi)設(shè)有臺(tái)階，所述第一彈性件為壓縮彈簧，所述頂桿靠近所述偏心輪部的一端設(shè)有凸環(huán)，所述第一彈性件套設(shè)于所述頂桿外側(cè)，且所述第一彈性件的兩端分別抵接于所述臺(tái)階和所述凸環(huán)。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述限位機(jī)構(gòu)還包括牽引件，所述牽引件連接于所述頂桿，以通過所述牽引件帶動(dòng)所述頂桿朝遠(yuǎn)離所述偏心輪部的方向移動(dòng)。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述限位機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于所述擋邊部上的限位板，所述限位板位于所述偏心輪部遠(yuǎn)離所述容置槽且遠(yuǎn)離所述置物槽的一側(cè)，當(dāng)所述止擋件處于限位狀態(tài)時(shí)，所述偏心輪部抵靠于所述限位板。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述限位機(jī)構(gòu)還包括第二彈性件，所述第二彈性件連接所述擋板部和所述擋邊部，以使所述止擋件具有沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)的趨勢(shì)。
[0014]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二彈性件為拉伸彈簧。
[0015]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述懸浮載臺(tái)內(nèi)設(shè)有相互獨(dú)立的第一腔和第二腔，所述氣孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔與所述第一腔連通，所述第二孔與所述第二腔連通。
[0016]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述懸浮載臺(tái)還設(shè)有第一進(jìn)出孔，所述第一進(jìn)出孔連通所述第一腔以通過所述第一進(jìn)出孔向所述第一腔通入氣體或往外抽吸所述第一腔內(nèi)的氣體；所述懸浮載臺(tái)還設(shè)有第二進(jìn)出孔，所述第二進(jìn)出孔連通所述第二腔以通過所述第二進(jìn)出孔向所述第二腔通入氣體或往外抽吸所述第二腔內(nèi)的氣體。
[0017]本專利技術(shù)提供的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，通過設(shè)置氣孔實(shí)現(xiàn)了硅片在懸浮載臺(tái)一側(cè)表面的懸浮，通過設(shè)置限位機(jī)構(gòu)，且限位機(jī)構(gòu)具有可活動(dòng)的止擋件，可從硅片遠(yuǎn)離懸浮載臺(tái)的一側(cè)攔住硅片，從而使得硅片能夠始終懸浮在懸浮載臺(tái)設(shè)有氣孔的一側(cè)。如此，可降低對(duì)氣浮控制的要求。
附圖說明
[0018]圖1為本專利技術(shù)一實(shí)施例的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為本專利技術(shù)一實(shí)施例的擋邊部和限位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3為圖2所示結(jié)構(gòu)的分解圖；
[0021]圖4為本專利技術(shù)一實(shí)施例的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)的局部結(jié)構(gòu)剖視圖，止擋件處于限位狀態(tài)；
[0022]圖5為本專利技術(shù)一實(shí)施例的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)的局部結(jié)構(gòu)剖視圖，止擋件處于開放狀態(tài)；
[0023]圖6為本專利技術(shù)另一實(shí)施例的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)的局部結(jié)構(gòu)剖視圖，止擋件處于限位狀態(tài)；
[0024]圖7為本專利技術(shù)另一實(shí)施例的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)的局部結(jié)構(gòu)剖視圖，止擋件處于開放狀態(tài)；
[0025]圖8為本專利技術(shù)一實(shí)施例的懸浮載臺(tái)的剖視圖；
[0026]圖9為本專利技術(shù)另一實(shí)施例的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]附圖標(biāo)記：100、懸浮載臺(tái)；101、氣孔；1011、第一孔；1012、第二孔；102、容置槽；103、第一腔；104、第二腔；105、第一進(jìn)出孔；106、第二進(jìn)出孔；110、擋邊部；111、置物槽；1111、臺(tái)階；121、第一部分；122、第二部分；200、限位機(jī)構(gòu)；210、止擋件；211、偏心輪部；2111、軸孔；212、擋板部；213、轉(zhuǎn)軸；220、頂桿；221、凸環(huán)；230、第一彈性件；240、牽引件；250、第一磁鐵；260、第二磁鐵；270、限位板；280、第二彈性件；900、硅片。
具體實(shí)施方式
[0028]下面將結(jié)合本專利技術(shù)實(shí)施方式中的附圖，對(duì)本專利技術(shù)實(shí)施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施方式僅僅是本專利技術(shù)一部分實(shí)施方式，而不是全部的實(shí)施方式?；诒緦＠夹g(shù)中的實(shí)施方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施方式，都屬于本專利技術(shù)保護(hù)的范圍。
[0029]需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“設(shè)于”另一個(gè)元件，它可以本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括懸浮載臺(tái)(100)，所述懸浮載臺(tái)(100)的一側(cè)表面設(shè)有多個(gè)氣孔(101)，所述氣孔(101)往外吹出氣體和/或?qū)怏w抽吸進(jìn)所述懸浮載臺(tái)(100)內(nèi)，以使硅片(900)懸浮于所述懸浮載臺(tái)(100)設(shè)有所述氣孔(101)的一側(cè)；所述懸浮載臺(tái)(100)上設(shè)有限位機(jī)構(gòu)(200)，所述限位機(jī)構(gòu)(200)具有可活動(dòng)的止擋件(210)，所述止擋件(210)能夠活動(dòng)至從所述硅片(900)遠(yuǎn)離所述懸浮載臺(tái)(100)的一側(cè)擋住所述硅片(900)的邊緣部分。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述懸浮平臺(tái)上設(shè)有擋邊部(110)，所述擋邊部(110)圍成用于容置硅片(900)的容置槽(102)，所述限位機(jī)構(gòu)(200)設(shè)于所述擋邊部(110)上，且所述止擋件(210)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)至擋住硅片(900)的邊緣部分。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述止擋件(210)包括偏心輪部(211)以及擋板部(212)，所述偏心輪部(211)連接有轉(zhuǎn)軸(213)，所述止擋件(210)通過所述轉(zhuǎn)軸(213)可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述擋邊部(110)，所述擋板部(212)連接于所述偏心輪部(211)一側(cè)且朝向所述容置槽(102)延伸，所述擋板部(212)用于擋住硅片(900)的邊緣部分。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述止擋件(210)具有將硅片(900)限制在所述容置槽(102)內(nèi)的限位狀態(tài)和允許硅片(900)移入或移出所述容置槽(102)的開放狀態(tài)；當(dāng)所述止擋件(210)處于限位狀態(tài)時(shí)，所述擋板部(212)遠(yuǎn)離所述偏心輪部(211)的一端在所述懸浮載臺(tái)(100)上的投影位于所述容置槽(102)內(nèi)；當(dāng)所述止擋件(210)處于開放狀態(tài)時(shí)，所述擋板部(212)遠(yuǎn)離所述偏心輪部(211)的一端在所述懸浮載臺(tái)(100)上的投影位于所述容置槽(102)外。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述擋邊部(110)上對(duì)應(yīng)所述偏心輪部(211)開設(shè)有置物槽(111)，所述限位機(jī)構(gòu)(200)還包括頂桿(220)、第一磁鐵(250)以及第二磁鐵(260)；所述頂桿(220)可活動(dòng)地設(shè)于所述置物槽(111)內(nèi)，所述頂桿(220)能夠朝靠近或遠(yuǎn)離所述偏心輪部(211)的方向移動(dòng)；所述第一磁鐵(250)設(shè)于所述頂桿(220)朝向所述偏心輪部(211)的一端，所述第二磁鐵(260)設(shè)于所述偏心輪部(211)遠(yuǎn)離所述擋板部(212)的一側(cè)，所述第一磁鐵(250)與所述第二磁鐵(260)之間相互吸引，當(dāng)所述頂桿(220)朝靠近所述頂桿(220)的方向移動(dòng)時(shí)，所述頂桿(220)抵推所述偏心輪部(211)以使所述止擋件(210)沿第一方向轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)所述頂桿(220)朝遠(yuǎn)離所述偏心輪部(211)的方向移動(dòng)時(shí)，所述第一磁鐵(250)與所述第二磁鐵(260)之間的引力作用使得...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：許明現(xiàn)，蔡涔，谷士斌，胡林，馬勝濤，張杜超，洪昀，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：東方日升常州新能源有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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