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    觀察窗保護裝置、鍍膜設備觀察窗及鍍膜設備制造方法及圖紙

    技術編號:30392959 閱讀:25 留言:0更新日期:2021-10-19 23:44
    本實用新型專利技術公開了一種觀察窗保護裝置,涉及鍍膜玻璃生產技術領域,觀察窗保護裝置包括透明遮擋部和卡子,卡子用于將透明遮擋部可拆卸固定設置于觀察窗位于真空腔室室內的一側;本申請還提供了一種鍍膜設備觀察窗,包括觀察窗保護裝置和觀察窗,觀察窗保護裝置可拆卸固定設置于觀察窗位于真空腔室室內的一側;本申請還提供了一種生產設備,包括鍍膜設備觀察窗。本申請提供的觀察窗保護裝置、鍍膜設備觀察窗及鍍膜設備更換成本低、方便更換且不存在漏氣風險。漏氣風險。漏氣風險。

    【技術實現步驟摘要】
    觀察窗保護裝置、鍍膜設備觀察窗及鍍膜設備


    [0001]本技術涉及鍍膜玻璃生產
    ,特別是涉及一種觀察窗保護裝置、鍍膜設備觀察窗及鍍膜設備。

    技術介紹

    [0002]低輻射鍍膜玻璃,簡稱Low
    ?
    E玻璃,是在玻璃表面鍍上多層金屬或其他化合物組成的膜系產品。離線真空濺射法作為目前國際上普遍采用的Low
    ?
    E玻璃生產方法,由于采用真空鍍膜技術,生產過程中需要通過觀察窗觀察靶材和真空腔室內的狀態,之前觀察窗使用的是一塊15毫米厚的玻璃,通過密封圈和固定環安裝在特定位置,并在腔體內安裝一塊可在外部調節的活動擋板保護觀察窗玻璃,此方法的主要缺點是盡管有擋板保護觀察窗玻璃,擋板與玻璃存在一定距離,生產一段時間后仍會有濺射物附著到觀察窗玻璃上,這是無法避免的,濺射物積累一定厚度后不僅影響觀察效果,而且更換觀察窗需要更換整塊玻璃和密封圈,若操作不當存在漏氣風險,影響生產。且每個生產周期結束后都需要更換大量觀察窗,成本較高。

    技術實現思路

    [0003]本技術的目的是提供一種觀察窗保護裝置、鍍膜設備觀察窗及鍍膜設備,以解決上述現有技術存在的問題,更換成本低、方便更換且不存在漏氣風險。
    [0004]為實現上述目的,本技術提供了如下方案:
    [0005]本技術提供了一種觀察窗保護裝置,包括:透明遮擋部和卡子,所述卡子用于將所述透明遮擋部可拆卸固定設置于觀察窗位于真空腔室室內的一側。
    [0006]優選的,所述透明遮擋部為圓形并能夠將所述觀察窗完全遮擋。
    [0007]優選的,所述透明遮擋部為透明玻璃。
    [0008]優選的,所述卡子包括卡子本體和兩個固定端頭,所述卡子本體為一個開口圓環,所述開口圓環能夠沿開口方向發生彈性形變,所述開口圓環兩端固定連接有所述固定端頭,所述開口圓環與兩個所述固定端頭一體成型,所述開口圓環與所述固定端頭均用于固定所述透明玻璃。
    [0009]優選的,所述卡子為鐵質卡子。
    [0010]本技術還提供了一種鍍膜設備觀察窗,包括如上所述的觀察窗保護裝置和所述觀察窗,所述觀察窗保護裝置固定于所述觀察窗位于所述真空腔室室內的一側。
    [0011]優選的,所述觀察窗上設置有固定環,所述固定環用于將所述觀察窗固定設置在所述真空腔室的觀察口處,所述固定環與所述觀察口之間設置有密封圈。
    [0012]本技術還提供了一種鍍膜設備,包括如上所述的鍍膜設備觀察窗。
    [0013]本技術相對于現有技術取得了以下技術效果:
    [0014]本技術提供了一種觀察窗保護裝置,通過卡子將透明遮擋部固定于觀察窗位于真空腔室內的一側,取下卡子后只需取出透明遮擋部并對透明遮擋部進行更換,更換方
    便,更換成本低,同時又避免了拆除整個鍍膜設備觀察窗帶來的漏氣風險;本申請還提供了一種鍍膜設備觀察窗,包括觀察窗保護裝置和觀察窗;本申請還提供了一種鍍膜設備,包括鍍膜設備觀察窗。因此,本申請提供的觀察窗保護裝置、鍍膜設備觀察窗及鍍膜設備更換成本低、方便更換且不存在漏氣風險。
    附圖說明
    [0015]為了更清楚地說明本技術實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本技術的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
    [0016]圖1為本技術提供的鍍膜設備觀察窗的結構示意圖;
    [0017]圖2為本技術提供的觀察窗保護裝置的透明玻璃的結構示意圖;
    [0018]圖3為本技術提供的觀察窗保護裝置的卡子的結構示意圖;
    [0019]圖中:100
    ?
    鍍膜設備觀察窗;1
    ?
    觀察窗保護裝置;11
    ?
    透明遮擋部;12
    ?
    透明玻璃;13
    ?
    卡子;14
    ?
    固定端頭;2
    ?
    觀察窗;3
    ?
    固定環。
    具體實施方式
    [0020]下面將結合本技術實施例中的附圖,對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本技術保護的范圍。
    [0021]本技術的目的是提供一種觀察窗保護裝置、鍍膜設備觀察窗及鍍膜設備,以解決現有技術存在的問題,更換成本低、方便更換且不存在漏氣風險。
    [0022]為使本技術的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面結合附圖和具體實施方式對本技術作進一步詳細的說明。
    [0023]實施例一
    [0024]本實施例提供了一種觀察窗保護裝置1,如圖1~3所示,包括:透明遮擋部11和卡子13,卡子13用于將透明遮擋部11可拆卸固定設置于觀察窗2位于真空腔室室內的一側,通過卡子13將透明遮擋部11固定于觀察窗2位于真空腔室內的一側,取下卡子13后只需取出透明遮擋部11并對透明遮擋部11進行更換,更換方便,更換成本低,同時又避免了拆除整個鍍膜設備觀察窗100帶來的漏氣風險,因此,本申請提供的觀察窗保護裝置1更換成本低、方便更換且不存在漏氣風險。
    [0025]透明遮擋部11為圓形并能夠將觀察窗2完全遮擋,防止濺射物濺射附著到觀察窗2上。
    [0026]透明遮擋部11為透明玻璃12,透明玻璃12既能夠防止濺射物濺射附著到觀察窗2上,同時透明玻璃12厚度僅為1毫米,不影響觀察靶材和真空腔室內的狀態。
    [0027]卡子13包括卡子本體和兩個固定端頭14,卡子本體為一個開口圓環,開口圓環能夠沿開口方向發生彈性形變,開口圓環兩端固定連接有固定端頭14,開口圓環與兩個固定端頭14一體成型,開口圓環與固定端頭14均用于固定透明玻璃。
    [0028]卡子13為鐵質卡子。
    [0029]實施例二
    [0030]本實施例提供了一種鍍膜設備觀察窗100,包括實施例一中的觀察窗保護裝置1和觀察窗2,觀察窗保護裝置1固定于觀察窗2位于真空腔室室內的一側,只需對觀察窗保護裝置1進行拆卸更換,避免了拆除更換密封圈帶來的漏氣風險,因此,本申請提供的鍍膜設備觀察窗100更換成本低、方便更換且不存在漏氣風險。
    [0031]觀察窗2上設置有固定環3,固定環3用于將觀察窗2通過螺栓固定設置在真空腔室的觀察口處,固定環3與觀察口之間設置有密封圈,濺射物附著到透明玻璃12上。
    [0032]實施例三
    [0033]本實施例提供了一種鍍膜設備,包括實施例二中的鍍膜設備觀察窗,不需要對整個鍍膜設備觀察窗進行拆卸更換,避免了更換整個鍍膜設備觀察窗導致的漏氣風險,同時方便更換且更換成本低,因此,本申請提供的鍍膜設備更換成本低、方便更換且不存在漏氣風險。
    [0034]本技術中應用了具體個本文檔來自技高網
    ...

    【技術保護點】

    【技術特征摘要】
    1.一種觀察窗保護裝置,其特征在于:包括:透明遮擋部和卡子,所述卡子用于將所述透明遮擋部可拆卸固定設置于觀察窗位于真空腔室室內的一側;所述透明遮擋部為圓形并能夠將所述觀察窗完全遮擋;所述透明遮擋部為透明玻璃;所述卡子包括卡子本體和兩個固定端頭,所述卡子本體為一個開口圓環,所述開口圓環能夠沿開口方向發生彈性形變,所述開口圓環兩端固定連接有所述固定端頭,所述開口圓環與兩個所述固定端頭一體成型,所述開口圓環與所述固定端頭均用于固定所述透明玻璃。2.根據權利要求1所述的觀...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:李浩坤
    申請(專利權)人:武漢長利新材料科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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