本實用新型專利技術涉及一種晶圓載運裝置，包括第一蓋體；所述第一蓋體包括第一本體、形成于所述第一本體中以收容晶圓的第一容置腔、設置于所述第一本體的內側壁且朝所述第一容置腔凸出以對晶圓進行限位的彈性限位件。該晶圓載運裝置可通過在該第一蓋體的第一本體的內側壁設置朝第一容置腔凸出的彈性限位件，進而對晶圓進行限位，省去泡沫環。該晶圓載運裝置一方面可以使得晶圓在運輸過程中受到的沖擊力可以被該第一本體內側壁上的彈性體緩震，另一方面可以省去泡沫環，防止產生顆粒物污染晶圓，從而起到保護晶圓的作用。從而起到保護晶圓的作用。從而起到保護晶圓的作用。
【技術實現步驟摘要】
晶圓載運裝置
[0001]本技術涉及晶圓運輸領域，更具體地說，涉及一種晶圓載運裝置。
技術介紹
[0002]目前市場上常見的圓形晶圓載運裝置多為底蓋內部空間較大，晶圓放入其中時活動空間較大，在存儲和運輸過程中晶圓容易因為撞擊而損壞，因此在晶圓載運裝置的底蓋邊沿放入泡沫環的方式一方面限制晶圓的活動空間，另一方面使晶圓在存儲和運輸過程中受到撞擊時可以通過泡沫環緩沖，以此保護晶圓，但這樣的設計存在以下缺點：
[0003]1.在存儲和運輸過程中，晶圓與泡沫環撞擊和摩擦易產生泡沫顆粒，污染晶圓。
[0004]2.泡沫環的變形量較大，晶圓的活動空間還是較大。
[0005]3.包裝零件較多，包裝過程較復雜，包裝成本較高。
技術實現思路
[0006]本技術要解決的技術問題在于，提供一種改進的晶圓載運裝置。
[0007]本技術解決其技術問題所采用的技術方案是：構造一種晶圓載運裝置，包括第一蓋體；所述第一蓋體包括第一本體、形成于所述第一本體中以收容晶圓的第一容置腔、設置于所述第一本體的內側壁且朝所述第一容置腔凸出以對晶圓進行限位的彈性限位件。
[0008]優選地，所述彈性限位件呈筒狀，所述彈性限位件的內側形成增加所述彈性限位件彈性力的通孔。
[0009]優選地，所述彈性限位件靠近所述第一容置腔的底部設置的一端設有增加所述彈性限位件彈性力的缺口；
[0010]所述缺口與所述通孔連通。
[0011]優選地，所述彈性限位件為多個，多個所述彈性限位件沿所述第一本體的周向間隔設置。
[0012]優選地，相鄰設置的兩個彈性限位件之間的間隔形成供晶圓存放或拾取手指放置的第一手指位。
[0013]優選地，所述第一蓋體的底壁內側設有對晶圓墊片進行限位的限位結構。
[0014]優選地，所述限位結構包括設置于所述第一本體的底壁且朝所述第一容置腔凸出設置的多個限位凸筋。
[0015]優選地，所述第一蓋體的外側壁上設有第二手指位。
[0016]優選地，還包括與所述第一蓋體配合的第二蓋體；所述第二蓋體包括第二本體以及形成于所述第二本體中的第二容置腔；
[0017]所述第二蓋體與所述第一蓋體通過設置連接結構可拆卸連接；
[0018]所述連接結構包括設置于所述第二本體內側壁且朝所述第二容置腔凸出設置的卡臺、以及設置于所述第一蓋體外側壁且與所述卡臺配合的卡勾。
[0019]優選地，所述第二蓋體的外側壁上設有第三手指位。
[0020]實施本技術的晶圓載運裝置，具有以下有益效果：該晶圓載運裝置可通過在該第一蓋體的第一本體的內側壁設置朝第一容置腔凸出的彈性限位件，進而對晶圓進行限位，省去泡沫環。該晶圓載運裝置一方面可以使得晶圓在運輸過程中受到的沖擊力可以被該第一本體內側壁上的彈性體緩震，另一方面可以省去泡沫環，防止產生顆粒物污染晶圓，從而起到保護晶圓的作用。
附圖說明
[0021]下面將結合附圖及實施例對本技術作進一步說明，附圖中：
[0022]圖1是本技術一些實施例中晶圓載運裝置的結構示意圖；
[0023]圖2是圖1所示晶圓載運裝置的剖視圖；
[0024]圖3是圖1所示晶圓載運裝置的結構分解示意圖；
[0025]圖4是圖3所示晶圓載運裝置的第一蓋體的結構示意圖；
[0026]圖5是圖3所示晶圓載運裝置的第二蓋體的結構示意圖。
具體實施方式
[0027]為了對本技術的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖詳細說明本技術的具體實施方式。
[0028]圖1至圖2示出了本技術晶圓載運裝置的一些優選實施例。該晶圓載運裝置可用于晶圓運輸，通過使用該晶圓載運裝置可省去泡沫環，該晶圓載運裝置可減少晶圓污染，避免晶圓受損，包裝零部件少，可簡化包裝工序，提高包裝效率和降低包裝成本。
[0029]如圖1及圖2所示，在一些實施例中，該晶圓載運裝置整體可呈圓柱狀，該晶圓載運裝置可包括第一蓋體10以及第二蓋體20，該第一蓋體10可與該第二蓋體20可拆卸裝配，該第一蓋體10和該第二蓋體20的內側可形成收容空間，用于收容晶圓。
[0030]如圖3及圖4所示，進一步地，在一些實施例中，該第一蓋體10可以為底蓋，當然，可以理解地，在其他一些實施例中，該第一蓋體10可不限于底蓋。在一些實施例中，該第一蓋體10可采用塑膠材質制成，當然，可以理解地，在其他一些實施例中，該第一蓋體10可不限于成采用塑膠材質制成。在一些實施例中，該第一蓋體10可包括第一本體11、以及第一容置腔12。在一些實施例中，該第一本體11可大致呈圓柱狀，其橫截面可大致呈圓形。該第一本體11可以為一端設有開口的中空結構，該第一容置腔12可形成于該第一本體11的內側，可用于收容晶圓。
[0031]進一步地，在一些實施例中，該第一蓋體10還可包括彈性限位件13，該彈性限位件13可設置于該第一本體11的內側壁且可朝該第一容置腔12凸出設置，可用于對晶圓進行限位。在一些實施例中，該彈性限位件13可以為多個，該多個彈性限位件13可沿該第一本體11的周向間隔設置。該彈性限位件13可與該第一本體11一體成型，在一些實施例中，該彈性限位件13可與該第一本體11通過注塑一體成型。當然，可以理解地，在其他一些實施例中，該彈性限位件13也可與該第一本體11為分體結構，可通過設置卡扣或者粘貼件等連接組件與該第一本體11可拆卸連接。
[0032]進一步地，在一些實施例中，該彈性限位件13可以呈筒狀，具體地，該彈性限位件13的橫截面可以為橢圓形，該彈性限位件13可沿該第一本體11的軸向設置，并朝該第一本
體11的底壁延伸。該彈性限位件13的內側可設置通孔131，該通孔131可沿該第一本體11的軸向貫穿該彈性限位件13設置，該通孔13可用于增加該彈性限位件13的彈性力。在一些實施例中，該彈性限位件13靠近該第一容置腔12的底部設置的一端設有缺口132，該缺口132可沿該第一本體11的周向貫穿該彈性限位件13設置，并與該通孔131連通，可用于增加該彈性限位件13的彈性力。使用時，該晶圓的邊緣可通過與該彈性限位件13彈性抵接從而由該彈性限位件13進行限位，并可在運輸過程中受到沖擊時通過該彈性限位件13對該晶圓進行緩沖和減震，且可省去泡沫環，放置產生泡沫顆粒污染晶圓，從而起到保護晶圓的作用。
[0033]進一步地，在一些實施例中，該第一蓋體10的底壁內側還可設置限位結構14，該限位結構14可位于該第一本體11的底壁，在一些實施例中，該第一限位結構14可以為限位凸筋，該限位凸筋可朝該第一容置腔12凸出設置于該第一本體11的底壁上，且可與該第一本體11一體成型，具體地，在一些實施例中，該限位凸筋可與該第一本體11通過注塑一體成型。該限位凸筋可以為多個，該多個限位凸筋可沿該第一本體11的周向間隔設置，具體地，該每一限位凸筋可與相鄰設置的兩個彈性限位件13之間的間隔對應設置。通過設置該限位凸筋，可本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種晶圓載運裝置，其特征在于，包括第一蓋體(10)；所述第一蓋體(10)包括第一本體(11)、形成于所述第一本體(11)中以收容晶圓的第一容置腔(12)、設置于所述第一本體(11)的內側壁且朝所述第一容置腔(12)凸出以對晶圓進行限位的彈性限位件(13)。2.根據權利要求1所述的晶圓載運裝置，其特征在于，所述彈性限位件(13)呈筒狀，所述彈性限位件(13)的內側形成增加所述彈性限位件(13)彈性力的通孔(131)。3.根據權利要求2所述的晶圓載運裝置，其特征在于，所述彈性限位件(13)靠近所述第一容置腔(12)的底部設置的一端設有增加所述彈性限位件(13)彈性力的缺口(132)；所述缺口(132)與所述通孔(131)連通。4.根據權利要求1所述的晶圓載運裝置，其特征在于，所述彈性限位件(13)為多個，多個所述彈性限位件(13)沿所述第一本體(11)的周向間隔設置。5.根據權利要求4所述的晶圓載運裝置，其特征在于，相鄰設置的兩個彈性限位件(13)之間的間隔形成供晶圓存放或拾取手指放置的第一手指位(15)。6.根據權...
【專利技術屬性】
技術研發人員：邱摩西，劉汝拯，陳松平，何江波，
申請(專利權)人：義柏應用技術深圳有限公司，
類型：新型
國別省市：
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