一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構制造技術

本實用新型專利技術涉及金屬鍍膜技術領域，具體為一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構，包括鍍膜裝置主體，所述鍍膜裝置主體一側設置有氣體回收裝置，所述氣體回收裝置右端和鍍膜裝置主體左端皆設置有回收管道，右側所述氣體回收裝置上設置有回收管道，右側所述氣體回收裝置上設置有拆裝機構，所述拆裝機構包括網架、活動套、固定塊和螺套和右側所述氣體回收裝置左端設置有網架，且網架內部設置有過濾網。本實用新型專利技術通過拆裝機構的設計，解決了過濾網拆卸操作較為繁瑣的問題，使得過濾網的拆裝操作更為簡便，提升了裝置的便捷性。提升了裝置的便捷性。提升了裝置的便捷性。

【技術實現步驟摘要】
一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構


[0001]本技術涉及金屬鍍膜
，具體為一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構。

技術介紹

[0002]在一些金屬零件生產出來后，會在上面鍍上一層金屬膜，這種膜可以讓零件的擁有許多新的、良好的物理和化學性能，而真空鍍膜是真空應用領域的一個重要方面，它是以真空技術為基礎，利用物理或化學方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術，為科學研究和實際生產提供薄膜制備的一種新工藝，所以現有的真空鍍膜設備得到了不斷的創新和發展，因此可知現在的真空鍍膜設備基本滿足人們需求，但是仍然存在一些問題。
[0003]現有的真空鍍膜設備在控制回收惰性氣體的管道內會設置有過濾網，防止回收氣體時將過多的金屬碎屑吸入，而濾網每隔一端時間需要清理防止堵塞，現有的過濾網拆卸操作較為繁瑣，降低了裝置便捷性，且鍍膜設備一般采用自然降溫，需要時間較長，間接地降低了裝置的生產效率。

技術實現思路

[0004]為了克服上述的技術問題，本技術的目的在于提供一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構，以解決上述
技術介紹
中提出的過濾網拆卸操作較為繁瑣以及自然降溫工作效率較低的問題。
[0005]為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構，包括鍍膜裝置主體，所述鍍膜裝置主體一側設置有氣體回收裝置，所述氣體回收裝置右端和鍍膜裝置主體左端皆設置有回收管道，右側所述氣體回收裝置上設置有回收管道，右側所述氣體回收裝置上設置有拆裝機構，所述拆裝機構包括網架、活動套、固定塊和螺套和右側所述氣體回收裝置左端設置有網架，且網架內部設置有過濾網，右側所述回收管道靠近氣體回收裝置的一端固定連接有插塊，且網架靠近鍍膜裝置主體的一端開設有與插塊相互配合的插槽，所述回收管道上套設有活動套，右側所述回收管道側表面外壁上固定連接有兩組固定塊，左側所述回收管道側表面外壁上螺紋連接有螺套。
[0006]優選的，所述鍍膜裝置主體右側設置有冷卻機構，所述冷卻機構包括通風板、活動板、抽風扇、密封板和固定板，所述鍍膜裝置主體右端設置有通風板，且通風板右端上側開設有連通鍍膜裝置主體內部的冷卻槽，所述通風板中部通過轉軸活動連接有活動板，且活動板一端固定連接有抽風扇，所述活動板另一端固定連接有密封板，所述鍍膜裝置主體靠近通風板的一端固定連接有固定板，所述固定板上開設有活動槽，且活動槽內插設有活動桿，所述活動桿遠離通風板的一端固定連接有拉塊，且拉塊靠近通風板的一端固定連接有彈簧，所述彈簧另一端與固定板固定連接，所述抽風扇和密封板遠離活動板的一端皆開設有與活動桿相互配合的卡槽。
[0007]優選的，所述活動套上下兩端內壁固定連接有限位塊。
[0008]優選的，所述固定塊靠近氣體回收裝置的一端開設有密封槽，所述活動套靠近固定塊的一端開設有與密封槽相互配合的密封塊，所述密封槽內壁和密封塊外表面上固定連接有半球塊，所述螺套靠近活動套的一端粘接有密封環，所述密封塊、半球塊和密封環皆采用橡膠材質制成。
[0009]優選的，所述抽風扇的直徑等于密封板的直徑，所述抽風扇的直徑大小大于冷卻槽的內徑大小。
[0010]與現有技術相比，本技術的有益效果是：
[0011]1、該真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構設置有拆裝機構，通過拆裝機構的設計，解決了過濾網拆卸操作較為繁瑣的問題，使得過濾網的拆裝操作更為簡便，提升了裝置的便捷性；
[0012]2、該真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構設置有冷卻機構，通過可以調節的冷卻機構，解決了自然降溫工作效率較低的問題，使得裝置在需要降溫時可以通過冷卻機構來提升裝置的降溫效率，間接地提升了裝置的工作效率。
附圖說明
[0013]圖1為本技術結構正視剖面示意圖；
[0014]圖2為本技術鍍膜裝置主體處的局部結構右側視示意圖；
[0015]圖3為本技術的圖1中A處結構的放大示意圖；
[0016]圖4為本技術的圖2中B處結構的放大示意圖；
[0017]圖5為本技術的圖3中C處結構的放大示意圖。
[0018]圖中：110、鍍膜裝置主體；120、氣體回收裝置；121、回收管道；130、過濾網；210、網架；211、插塊；220、活動套；221、限位塊；230、固定塊；231、密封槽；232、密封塊；233、半球塊；240、螺套；241、密封環；310、通風板；311、冷卻槽；320、活動板；330、抽風扇；340、密封板；350、固定板；351、活動槽；352、活動桿；353、拉塊；354、彈簧；355、卡槽。
具體實施方式
[0019]下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0020]請參閱圖1
?
5，本技術提供的一種實施例：一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構，包括鍍膜裝置主體110，鍍膜裝置主體110一側設置有氣體回收裝置120，氣體回收裝置120右端和鍍膜裝置主體110左端皆設置有回收管道121，右側氣體回收裝置120上設置有回收管道121，右側氣體回收裝置120上設置有拆裝機構，拆裝機構包括網架210、活動套220、固定塊230和螺套240和右側氣體回收裝置120左端設置有網架210，且網架210內部設置有過濾網130，右側回收管道121靠近氣體回收裝置120的一端固定連接有插塊211，且網架210靠近鍍膜裝置主體110的一端開設有與插塊211相互配合的插槽，回收管道121上套設有活動套220，右側回收管道121側表面外壁上固定連接有兩組固定塊230，左側回收管道121側
表面外壁上螺紋連接有螺套240，使得過濾網130的拆裝操作更為簡便，提升了裝置的便捷性。
[0021]進一步在于，鍍膜裝置主體110右側設置有冷卻機構，冷卻機構包括通風板310、活動板320、抽風扇330、密封板340和固定板350，鍍膜裝置主體110右端設置有通風板310，且通風板310右端上側開設有連通鍍膜裝置主體110內部的冷卻槽311，通風板310中部通過轉軸活動連接有活動板320，且活動板320一端固定連接有抽風扇330，活動板320另一端固定連接有密封板340，鍍膜裝置主體110靠近通風板310的一端固定連接有固定板350，固定板350上開設有活動槽351，且活動槽351內插設有活動桿352，活動桿352遠離通風板310的一端固定連接有拉塊353，且拉塊353靠近通風板310的一端固定連接有彈簧354，彈簧354另一端與固定板350固定連接，抽風扇330和密封板340遠離活動板320的一端皆開設有與活動桿352相互配合的卡槽355，使得裝置在需要降溫時可以通過冷卻機構來提升裝置的降溫效率，間接地提升了裝置的工作本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構，包括鍍膜裝置主體(110)，其特征在于：所述鍍膜裝置主體(110)一側設置有氣體回收裝置(120)，所述氣體回收裝置(120)右端和鍍膜裝置主體(110)左端皆設置有回收管道(121)，右側所述氣體回收裝置(120)上設置有回收管道(121)，右側所述氣體回收裝置(120)上設置有拆裝機構，所述拆裝機構包括網架(210)、活動套(220)、固定塊(230)和螺套(240)和右側所述氣體回收裝置(120)左端設置有網架(210)，且網架(210)內部設置有過濾網(130)，右側所述回收管道(121)靠近氣體回收裝置(120)的一端固定連接有插塊(211)，且網架(210)靠近鍍膜裝置主體(110)的一端開設有與插塊(211)相互配合的插槽，所述回收管道(121)上套設有活動套(220)，右側所述回收管道(121)側表面外壁上固定連接有兩組固定塊(230)，左側所述回收管道(121)側表面外壁上螺紋連接有螺套(240)。2.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備靶材強制冷卻機構，其特征在于：所述鍍膜裝置主體(110)右側設置有冷卻機構，所述冷卻機構包括通風板(310)、活動板(320)、抽風扇(330)、密封板(340)和固定板(350)，所述鍍膜裝置主體(110)右端設置有通風板(310)，且通風板(310)右端上側開設有連通鍍膜裝置主體(110)內部的冷卻槽(311)，所述通風板(310)中部通過轉軸活動連接有活動板(320)，且活動板(320)一端固定連接有抽風扇(330...

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉超，
申請(專利權)人：鎮江超威納米科技有限公司，
類型：新型
國別省市：