本實(shí)用新型專利技術(shù)使用在粉末冶金真空溶解行業(yè)，屬于單晶硅、多晶硅工業(yè)生產(chǎn)中工藝粉塵處理的阻隔除塵技術(shù)，一種過濾機(jī)構(gòu)及氣體過濾器，包括基板，以及設(shè)置在基板上的過濾組件，以及驅(qū)動(dòng)所述過濾組件運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；所述過濾組件包括濾件支架和濾袋，基板上設(shè)有通氣口；所述濾件支架活動(dòng)連接在基板上，濾袋的一端開口連接在通氣口上，濾袋的另一端開口連接在濾件支架上，濾袋內(nèi)部構(gòu)成氣道；所述驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端作用于濾件支架，使濾件支架及其上的濾袋沿氣道方向做間歇運(yùn)動(dòng)。該過濾機(jī)構(gòu)間歇性控制各組濾袋做簡諧運(yùn)動(dòng)，濾袋表面產(chǎn)生的張力足以振落附著在濾袋表面的累積雜質(zhì)；從而延長過濾組件的使用壽命，提升過濾效率。提升過濾效率。提升過濾效率。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種過濾機(jī)構(gòu)及氣體過濾器
[0001]本技術(shù)使用在粉末冶金真空溶解行業(yè)，涉及工業(yè)生產(chǎn)中粉塵過濾
，屬于單晶硅、多晶硅工業(yè)生產(chǎn)中工藝粉塵處理的阻隔除塵技術(shù)。尤其涉及一種空氣中除硅粉的方法及該方法所采用的空氣過濾器。
技術(shù)介紹
[0002]單晶硅、多晶硅工業(yè)生產(chǎn)中會(huì)產(chǎn)生混合雜質(zhì)氣體(雜質(zhì)主要為硅粉塵)，該混合雜質(zhì)氣體需經(jīng)過除塵工序，參見公開號(hào)為“CN102583281A”的中國專利技術(shù)專利公開文本。目前現(xiàn)有的工業(yè)除塵器按除塵作用力原理可分為“干式”和“濕式”兩種類型。干式除塵以工作原理分：重力式、慣性式、離心式、袋式振動(dòng)、靜電式等；濕式除塵是通過噴淋液體進(jìn)行除塵。
[0003]考慮到現(xiàn)有過濾器所使用工況，未冷卻的硅粉塵極其細(xì)小，質(zhì)量極輕，容易漂浮在空間中增大空間內(nèi)的粉塵密度，且氬氣流量每分鐘僅100ml，流速極小，除塵器選型受物理?xiàng)l件過多，且還會(huì)因粉塵的比電阻等性質(zhì)影響除塵效率，使用濕式除塵可能會(huì)引起水汽進(jìn)入真空泵而影響真空泵的使用壽命，袋式除塵器雖可捕集細(xì)小、干燥的粉塵，除塵效率高，但隨著有限的容器空間中，粉塵密度的持續(xù)增加，濾孔容易堵塞，導(dǎo)致單晶爐出氣流量降低。
[0004]本技術(shù)基于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，對(duì)現(xiàn)有袋式氣體過濾器進(jìn)行改進(jìn)，過濾面積更大，除塵過程更穩(wěn)定，可保護(hù)真空系統(tǒng)或真空泵不受粉塵和固體顆粒物的污染和損壞，保護(hù)真空閥門不被阻塞，避免閥板關(guān)閉不嚴(yán)造成漏氣，保護(hù)測量壓力的真空規(guī)管不受污損，防止真空泵受損而工作失常等，以期得到適用于單晶硅、多晶硅工業(yè)生產(chǎn)中進(jìn)行除塵的過濾器。
專利
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0005]為了解決上述問題，本技術(shù)的第一目的在于提供一種過濾機(jī)構(gòu)，該過濾機(jī)構(gòu)間歇性控制各組濾袋做簡諧運(yùn)動(dòng)，濾袋表面產(chǎn)生的張力足以振落附著在濾袋表面的累積雜質(zhì)；從而延長過濾組件的使用壽命，提升過濾效率。本技術(shù)的第二目的在于提供一種氣體過濾器，該氣體過濾器采用上述過濾機(jī)構(gòu)有利保證了單晶爐在連續(xù)作業(yè)時(shí)，不純物混合氣體的穩(wěn)定排出，極大的的提高了產(chǎn)品純度與質(zhì)量。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本技術(shù)采用了以下的技術(shù)方案：
[0007]一種過濾機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括基板，以及設(shè)置在基板上的過濾組件，以及驅(qū)動(dòng)所述過濾組件運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；所述過濾組件包括濾件支架和濾袋，基板上設(shè)有通氣口；所述濾件支架活動(dòng)連接在基板上，濾袋的一端開口連接在通氣口上，濾袋的另一端開口連接在濾件支架上，濾袋內(nèi)部構(gòu)成氣道；所述驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端作用于濾件支架，使濾件支架及其上的濾袋沿氣道方向做間歇運(yùn)動(dòng)。
[0008]作為優(yōu)選，所述濾件支架包括處于基板下方的支架主體，以及連接在支架主體上的滑桿；所述濾袋的上端開口連接在通氣口上，濾袋的下端開口連接在濾件支架上；所述滑
桿縱向穿設(shè)于基板上，滑桿上套設(shè)有壓力彈簧，壓力彈簧對(duì)于濾件支架的作用下朝下。
[0009]作為優(yōu)選，所述基板上端面上固定有限位支架，滑桿穿過所述限位支架定位；所述壓力彈簧套設(shè)在基板與限位支架之間的滑桿上，壓力彈簧的上端部與限位支架相抵，壓力彈簧的下端部與固定在滑桿上的壓塊相抵。
[0010]作為優(yōu)選，所述基板上設(shè)置有多組過濾組件。
[0011]作為優(yōu)選，所述過濾組件的濾件支架上設(shè)有多條濾袋，多條濾袋沿矩陣狀排布有若干排。
[0012]一種氣體過濾器，包括殼體，以及設(shè)置在殼體內(nèi)部的過濾機(jī)構(gòu)；其特征在于：所述過濾機(jī)構(gòu)如上述的過濾機(jī)構(gòu)。
[0013]作為優(yōu)選，所述殼體包括底座，以及設(shè)置在底座上的筒體，以及設(shè)置在筒體上的頂蓋；所述底座上設(shè)有進(jìn)氣口，頂蓋上設(shè)有出氣口，筒體內(nèi)部連通進(jìn)氣口和出氣口的濾腔。
[0014]本技術(shù)采用上述技術(shù)方案，該技術(shù)方案涉及一種過濾機(jī)構(gòu)，該過濾機(jī)構(gòu)中的過濾組件包括濾件支架和濾袋，濾件支架活動(dòng)連接在基板上，濾袋兩端分別連接在濾件支架和基板的通氣口上；而所述的驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端作用于濾件支架，使濾件支架及其上的濾袋沿氣道方向做間歇運(yùn)動(dòng)。如此，該濾袋做簡諧運(yùn)動(dòng)中，濾袋表面產(chǎn)生的張力足以振落附著在濾袋表面的累積雜質(zhì)；從而延長過濾組件的使用壽命，提升過濾效率。進(jìn)一步地，上述技術(shù)方案涉及一種氣體過濾器，該氣體過濾器采用上述過濾機(jī)構(gòu)，有利保證了單晶爐在連續(xù)作業(yè)時(shí)，不純物混合氣體的穩(wěn)定排出，極大的的提高了產(chǎn)品純度與質(zhì)量，減少了其對(duì)真空油的污染，極大的延長了真空油的更換周期及真空泵的使用壽命，延長濾袋更換周期長，工作過程噪音低，且維修安裝方便，降低了設(shè)備、時(shí)間、人工、原料成本。
附圖說明
[0015]圖1為本技術(shù)的高純氣體真空過濾器的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為本技術(shù)的高純氣體真空過濾器的正面結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0017]圖3為本技術(shù)的高純氣體真空過濾器的立體結(jié)構(gòu)爆炸圖。
[0018]圖4為滾動(dòng)部件經(jīng)過凸輪的第一凸輪段示意圖。
[0019]圖5為滾動(dòng)部件經(jīng)過凸輪的第一凸輪段末端的示意圖。
[0020]圖6為滾動(dòng)部件經(jīng)過凸輪的第一凸輪段始端的示意圖。
[0021]圖7為驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖8為勢能隨凸輪運(yùn)動(dòng)的能量積累圖。
具體實(shí)施方式
[0023]下面將結(jié)合本技術(shù)實(shí)施例中的附圖，對(duì)本技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本技術(shù)一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。
[0024]在本技術(shù)的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本技術(shù)和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本技術(shù)的限制。
[0025]如圖1～8所示的一種高純氣體真空過濾器，包括殼體，以及設(shè)置在殼體內(nèi)部的過濾機(jī)構(gòu)。所述殼體包括底座11，以及設(shè)置在底座11上的筒體12，以及設(shè)置在筒體12上的頂蓋13。所述底座11的內(nèi)部設(shè)有濁氣室14，底座11上設(shè)有與所述濁氣室14相通的進(jìn)氣口15和清灰口16。所述頂蓋13上設(shè)有出氣口17和真空接頭18，以及用于檢測氣道內(nèi)部氣壓的真空計(jì)量表19。所述的筒體12內(nèi)部連通進(jìn)氣口15和出氣口17的濾腔10，筒體12的側(cè)壁上設(shè)有觀察口101。所述過濾機(jī)構(gòu)包括基板21，以及設(shè)置在基板21上的過濾組件22，以及驅(qū)動(dòng)所述過濾組件22運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
[0026]所述過濾組件22包括濾件支架23和濾袋24，基板21上設(shè)有通氣口25。所述濾件支架 23活動(dòng)連接在基板21上，濾袋24的一端開口連接在通氣口25上，濾袋24的另一端開口連接在濾件支架23上，濾袋24內(nèi)部構(gòu)成氣道。具體地，所述濾件支架23包括處于基板21下方的支架主體26，以及連接在支架主體26上的滑桿27。所述濾袋24的上端開口連接在通氣口25上，濾袋24的下端開口連接在濾件支架23上。所述滑桿27縱向穿設(shè)于基板21上，滑桿27上套設(shè)有壓力彈簧29，壓力彈簧29對(duì)于濾件支架23本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種過濾機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括基板，以及設(shè)置在基板上的過濾組件，以及驅(qū)動(dòng)所述過濾組件運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；所述過濾組件包括濾件支架和濾袋，基板上設(shè)有通氣口；所述濾件支架活動(dòng)連接在基板上，濾袋的一端開口連接在通氣口上，濾袋的另一端開口連接在濾件支架上，濾袋內(nèi)部構(gòu)成氣道；所述驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端作用于濾件支架，使濾件支架及其上的濾袋沿氣道方向做間歇運(yùn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種過濾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述濾件支架包括處于基板下方的支架主體，以及連接在支架主體上的滑桿；所述濾袋的上端開口連接在通氣口上，濾袋的下端開口連接在濾件支架上；所述滑桿縱向穿設(shè)于基板上，滑桿上套設(shè)有壓力彈簧，壓力彈簧對(duì)于濾件支架的作用下朝下。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種過濾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述基板上端面上固定有限位...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳華峰，薛逸峰，周超，朱云輝，施毅鋒，梁正元，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：杭州大精機(jī)械制造有限公司，
類型：新型
國別省市：
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