【技術實現步驟摘要】
一種具有回收結構的晶圓片清洗機
[0001]本專利技術屬于晶圓片清洗領域，具體是涉及一種具有回收結構的晶圓片清洗機。
技術介紹
[0002]硅晶片又稱晶圓片，是由硅錠加工而成的，通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數以百萬計的晶體管，被廣泛應用于集成電路的制造，元素硅是一種灰色、易碎、四價的非金屬化學元素。地殼成分中27.8％是硅元素構成的，僅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比較富的元素。在石英、瑪瑙、燧石和普通的灘石中就可以發現硅元素。硅晶片又稱晶圓片，是由硅錠加工而成的，通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數以百萬計的晶體管，被廣泛應用于集成電路的制造，拋光后，晶圓片要通過一系列清洗槽的清洗，這一過程是為去除表面顆粒、金屬劃痕和殘留物，一般的清洗機對于清洗劑的使用浪費嚴重，導致成本增加。
技術實現思路
[0003]本專利技術的目的就在于提供一種具有回收結構的晶圓片清洗機。
[0004]本專利技術所采用的技術方案如下：
[0005]一種具有回收結構的晶圓片清洗機，包括機殼、清洗機構、液體回收機構、抓取機構，所述機殼上方設置有所述液體回收機構，所述液體回收機構上方設置有所述清洗機構，所述清洗機構上方設置有所述抓取機構；所述機殼包括支撐柱、連接板、底部支架、下箱體、倉門、把手、支撐板、上殼，所述支撐柱上方設置有所述連接板,所述支撐柱一側設置有所述底部支架，所述底部支架上方設置有所述下箱體，所述下箱體前部設置有所述倉門、所述倉門一側設置有所述把手，所述下箱體上方設置有所述支撐板，所述支撐板...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種具有回收結構的晶圓片清洗機，其特征在于：包括機殼(1)、清洗機構(2)、液體回收機構(3)、抓取機構(4)，所述機殼(1)上方設置有所述液體回收機構(3)，所述液體回收機構(3)上方設置有所述清洗機構(2)，所述清洗機構(2)上方設置有所述抓取機構(4)；所述機殼(1)包括支撐柱(101)、連接板(102)、底部支架(103)、下箱體(104)、倉門(105)、把手(106)、支撐板(107)、上殼(108)，所述支撐柱(101)上方設置有所述連接板(102),所述支撐柱(101)一側設置有所述底部支架(103)，所述底部支架(103)上方設置有所述下箱體(104)，所述下箱體(104)前部設置有所述倉門(105)、所述倉門(105)一側設置有所述把手(106)，所述下箱體(104)上方設置有所述支撐板(107)，所述支撐板(107)上方設置有所述上殼(108)；所述清洗機構(2)包括散熱架(201)、驅動電機(202)、變速箱(203)、旋轉盤(204)、定位塊(205)、液體防濺盤(206)、收集倉(207)、收集軟管(208)、放置盤(209)、步進電機(210)、旋轉柱(211)、連接頭(212)、支撐臂(213)、噴頭(214)，所述底部支架(103)上方設置有所述散熱架(201)，所述散熱架(201)上方設置有所述驅動電機(202)，所述驅動電機(202)上方設置有所述變速箱(203)，所述變速箱(203)上方設置有所述旋轉盤(204)，所述旋轉盤(204)上方設置有所述定位塊(205)，所述旋轉盤(204)外部設置有所述液體防濺盤(206)，所述液體防濺盤(206)下方設置有所述收集倉(207)，所述收集倉(207)下方設置有所述收集軟管(208)，所述液體防濺盤(206)一側設置有所述放置盤(209)，所述液體防濺盤(206)前部設置有所述旋轉柱(211)，所述旋轉柱(211)下方設置有所述步進電機(210)，所述旋轉柱(211)上方設置有所述連接頭(212)，所述連接頭(212)后部設置有所述支撐臂(213)，所述支撐臂(213)下方設置有所述噴頭(214)；所述液體回收機構(3)包括過濾箱(301)、過濾網(302)、排泄閥(303)、第一泵體(304)、第一抽取管道(305)、密閉蒸餾倉(306)、冷凝管(307)、純凈液體儲藏箱(308)、第二泵體(309)、第二抽取管道(310)、加熱絲(311)，所述底部支架(103)上方設置有所述過濾箱(301)，所述過濾箱(301)內部設置有所述第一泵體(304)和所述過濾網(302)，所述過濾箱(301)一側設置有所述排泄閥(303)，所述第一泵體(304)上方設置有所述第一抽取管道(305),所述第一抽取管道(305)一側設置有所述密閉蒸餾倉(306)，所述密閉蒸餾倉(306)內部設置有所述加熱絲(311)，所述密閉蒸餾倉(306)一側設置有所述冷凝管(307)，所述冷凝管(307)下方設置有所述純凈液體儲藏箱(308)，所述純凈液體儲藏箱(308)內部設置有所述第二泵體(309)，所述第二泵體(309)上方設置有所述第二抽取管道(310)。2.根據權利要求1所述的一種具有回收結構的晶圓片清洗機，其特征在于：所述抓取機構(4)包括第一伺服電機(401)、第一滾珠絲桿(402)、第一光軸(403)、底座(404)、氣推桿(405)、抓取頭(406)，所述上殼(108)內部并位于上方設置有所述第一滾珠絲桿(402)，所述第一滾珠絲桿(402)一側設置有所述第一伺服電機(401)，所述第一滾珠絲桿(402)后部設置有所述第一光軸(403)，所述第一光軸(403)和所述第一滾珠絲桿(402)外部設置有所述底座(404)，所述底座(404)下方設置有所述氣推桿(405)，所述氣推桿(405)下方設置有所述抓取頭(406)。3.根據權利要求1所述的一種具有回收結構的晶圓片清洗機，其特征在于：所述抓取機構(4)包括第一伺服電機(401)、第一滾珠絲桿(402)、第一光軸(403)、底座(404)、抓取頭(406)、移動座(407)、第二伺服電機(408)、第二滾珠絲桿(409)、第二光軸(410)，所述上殼
(108)內部并位于上方設置有所述第一滾珠絲桿(402)，所述第一滾珠絲桿(402)一側設置有所述第一伺服電機(401)，所述第一滾珠絲桿(402)后部設置有所述第一光軸(403)，所述第...
【專利技術屬性】
技術研發人員：錢誠，李剛，童建，
申請(專利權)人：無錫亞電智能裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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