放射線感應組合物、疊層體及其制造方法以及電子部件技術

本發明專利技術提供電特性優異、溶解穩定性優良，沒有涂布不均，安全性高的放射線感應組合物，在基板上形成使用該放射線感應組合物形成的樹脂膜的疊層體、以及該疊層體的制造方法。本發明專利技術的放射線感應組合物含有具有質子性極性基的環狀烯烴類聚合物、放射線感應化合物、交聯劑以及溶劑，其特征在于，該溶劑含有在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二亞烷基二醇二烷基醚。本發明專利技術的疊層體包括基板、和在其上使用上述放射線感應組合物形成的樹脂膜。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及放射線感應組合物以及在基板上具有由該放射線感應組合物得到的樹脂膜的疊層體，更為詳細地，涉及適合制造顯示元件、集成電路元件、固體攝像元件等電子部件的放射線感應組合物、在基板上具有由該反射線感應組合物得到的樹脂膜的疊層體、其制造方法以及含有該疊層體的電子部件。
技術介紹
在顯示元件、集成電路元件、固體攝像元件、濾色器、黑矩陣等電子部件中，設置了用于防止其劣化或損傷的保護膜、用于使元件表面或布線平坦化的平坦化膜、用于保持電絕緣性的電絕緣膜等各種樹脂膜。另外，薄膜晶體管型液晶顯示元件或集成電路元件等元件中，為了使層狀配置的布線之間絕緣，設置了作為層間絕緣膜的樹脂膜。這樣的樹脂膜要求絕緣性、耐熱性、透明性、耐吸水性、耐藥性等各種特性。最近，正在尋求在這樣的電子部件中，用于進行多層布線保持各層間高度的絕緣性，并且形成具有充分的平坦性的樹脂膜的材料。因此，提出了含有具有酯基的堿可溶性環狀烯烴樹脂、和醌二疊氮化合物、以及羥甲基蜜胺等交聯劑的放射線感應樹脂組合物(專利文獻1)。但是，已知使用該放射線感應組合物得到的樹脂膜雖然低介電常數、耐熱性、平坦性、透明性以及耐溶劑性這些作為絕緣膜的性質是優異的，但是考慮基板全體時，形成的樹脂膜的厚度未必均勻，另外，存在保存中有聚合物析出等保存穩定性上的問題。專利文獻2公開了一種放射線感應組合物，該組合物包括具有脂環式骨架并通過酸的作用成為堿可溶性的樹脂、放射線感應酸發生劑以及特定的溶劑。該專利技術通過組合特定的樹脂和特定的溶劑，可以以均勻的厚度形成靈敏度、析像度、顯影性等特性優異，并且對放射線的透明性等特別優異的抗蝕膜。另外，專利文獻3中提供了一種放射線感應樹脂組合物，該組合物包括脂環式烯烴樹脂、產酸劑、交聯劑以及溶劑，其中，該溶劑至少含有特定的二醇類化合物。但是，這些放射線感應樹脂組合物不能充分應對隨著近年來元件的小型化·薄型化以及高性能化而對放射線感應樹脂組合物要求的更高的性能，具體是指影響樹脂膜的均勻性的溶解穩定性或降低影響光干涉的涂布不均等。另外，與此同時，從考慮環境方面來看，需要使用更為安全的化合物。特別是，對于放射線感應樹脂組合物中大量含有的溶劑，要求使用毒性更低的溶劑。專利文獻1特開平10-307388號公報專利文獻2特開平10-254139號公報專利文獻3特開2003-156838號公報
技術實現思路
專利技術所要解決的問題本專利技術就是為了應對近年來元件的小型·薄型化以及安全性的提高而進行的，本專利技術的課題在于，提供電特性優異，溶解穩定性良好，不會發生涂布不均，并且安全性高的實用的放射線感應組合物、在基板上形成了使用該放射線感應組合物得到的樹脂膜的疊層體、以及該疊層體的制造方法。解決課題的方法本專利技術人等為了解決上述課題反復深入研究的結果發現，在包含含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物、放射線感應化合物、交聯劑和溶劑的放射線感應組合物中，作為溶劑使用2-庚酮、環己酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、二甘醇單乙基醚或二甘醇二甲基醚等以往已知的溶劑時，發現溶解穩定性不穩定、涂布不均，以及，作為溶劑使用二甘醇乙基甲基醚時，發現溶解穩定性高度良好、不存在涂布不均，并且可以得到安全性高的放射線感應組合物，基于這些發現完成了本專利技術。即，按照本專利技術，提供一種放射線感應組合物，該組合物含有含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物、放射線感應化合物、交聯劑以及溶劑，該溶劑含有在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二甘醇二烷基醚。在本專利技術的放射線感應組合物中，在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二亞烷基二醇二烷基醚優選在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二甘醇二烷基醚。在本專利技術的放射線感應組合物中，在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二乙二醇二烷基醚特別優選二甘醇乙基甲基醚。另外，按照本專利技術，提供一種疊層體，該疊層體包括基板、和使用上述放射線感應組合物在其上形成的樹脂膜。該疊層體可以通過使用上述放射線感應組合物在基板上形成樹脂膜，接著視需要使樹脂交聯而得到。在本專利技術的疊層體中，樹脂膜可以是圖案化樹脂膜。按照本專利技術，提供一種疊層體的制造方法，所述疊層體包括基板和在其上形成的圖案化的樹脂膜，該制造方法包括使用放射線感應組合物在基板上形成樹脂膜，對該樹脂膜照射活性放射線，在樹脂膜中形成潛像圖案，接著，使樹脂膜接觸顯影液，使潛像圖案明顯化，在基板上形成圖案化樹脂膜。在本專利技術的疊層體的制造方法中，在基板上形成圖案化樹脂膜后，進行樹脂的交聯反應。另外，按照本專利技術，可以提供一種電子部件，該電子部件包括上述疊層體。專利技術效果按照本專利技術，可以得到能夠獲得溶解穩定性優異，并且涂布不均極少的樹脂膜的放射線感應組合物。使用該放射線感應組合物在基板上形成樹脂膜的疊層體由于樹脂膜的電特性優異，涂布不均極少，因此，適合作為例如顯示元件、集成電路元件、固體攝像元件、濾色器、黑矩陣等元件的保護膜、用于使用元件表面或布線平坦化的平坦化膜、用于保持電絕緣性的絕緣膜(包括作為薄型晶體管型液晶顯示元件或集成電路元件的電子絕緣膜的層間絕緣膜或焊錫抗蝕劑膜等)、微透鏡、隔板等電子部件用材料。具體實施例方式本專利技術的放射線感應組合物含有包含質子極性基團的環狀烯烴類聚合物、放射線感應化合物、交聯劑以及溶劑，其中，使用特定的化合物作為溶劑。在本專利技術中使用的含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合中，質子性極性基團是雜原子，優選周期表第15族以及第16族的原子，更為優選周期表第15族以及第16族第1及第2周期的原子，特別優選氧原子直接結合了氫原子的原子團。作為質子性極性基的具體例子，可以舉出，羧基、磺酸基、磷酸基、羥基等具有氧原子的極性基團；伯氨基、仲氨基、伯酰胺基、仲酰胺基(酰亞胺基)等具有氮原子的極性基團；硫代基等具有硫原子的極性基等。這些之中，優選具有氧原子的基團，更為優選羧基。在本專利技術中，含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物包含的質子性極性基團，其數目并不特別限定，另外，還可以含有種類不同的質子性極性基團。在本專利技術中，含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物所含有的質子性極性基團可以結合在環狀烯烴單體單元上，也可以結合在環狀烯烴單體以外的單體單元上，但優選結合在環狀單體單元上。在本專利技術中，構成含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物的質子性極性基團以外的部分(以下，有時稱為“基體部分”)的環狀烯烴類聚合物可以是環狀烯烴的均聚物和共聚物、環狀烯烴和其他單體的共聚物中的任意一種，另外，也可以是它們的加氫物。含有這些的質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物可以使用單獨的聚合物或組合使用2種以上的組成等不同的聚合物。在本專利技術中使用的含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物可以是僅由從含有質子性極性基團的環狀烯烴單體(a)衍生的單體單元構成的聚合物，也可以是包括以下單體單元的共聚物由含有質子性極性基團的環狀烯烴單體(a)衍生的單體單元、和由可以與含有質子性極性基團的環狀烯烴單體(a)共聚的其他單體衍生的單體單元。在本專利技術中使用的含有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物中，含有質子性極性基團的單體單元和除此以外的單體單元的比例(含有質子性極性基團的單體單元/除此以外的單體單元)以重量比計通常按照100/0～10/90，優選90/10～20/80，更為優選80/20～30/70的范圍本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種放射線感應組合物，其含有具有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物、放射線感應化合物、交聯劑以及溶劑，其特征在于，該溶劑含有在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二亞烷基二醇二烷基醚。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】JP 2004-3-31 104226/20041.一種放射線感應組合物，其含有具有質子性極性基團的環狀烯烴類聚合物、放射線感應化合物、交聯劑以及溶劑，其特征在于，該溶劑含有在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二亞烷基二醇二烷基醚。2.權利要求1所述的放射線感應組合物，其中，在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二亞烷基二醇二烷基醚是在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二甘醇二烷基醚。3.權利要求2所述的放射線感應組合物，其中，在同一分子內具有互不相同的兩個烷基的二亞烷基二醇二烷基醚是二甘醇乙基甲基醚。4.一種疊層體，其包括基板、和在其上使用權利要求1～3中任何一項所述的放射線感應組合物形成的樹脂膜。5.權利要求4所述的疊層體...

【專利技術屬性】
技術研發人員：東廣和，寺田和代，木內孝司，
申請(專利權)人：日本瑞翁株式會社，
類型：發明
國別省市：JP[日本]